工业洁净室洁净度标准.docx

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1、工业洁净室洁净度标准国家标准一空气洁净度等级空气洁净度等级（N）大于或等于表中粒径的最大浓度限值（pc/m3）O.lum0.2um0.3um0.5umlum5um1102210024104310002371023584（十级）1000023701020352835 （百级）10000023700102003520832296（千级）10000002370001020003520083202937（万级）3520008320029308（十万级）3520000832000293009（一百万级）352000008320000293000国际标准一空气洁净度等级划分空气洁净度等 级（N）大于或等于

2、所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米）O.lum0.2um0.3um0.5uml.Oum5.0umISO Classi102ISO Class210024104ISO Class31,000237102358ISO Class410,0002,3701,02035283ISO Class5100,00 023,70010,2003,52083229ISO Class61,000,000237,000102,00035,2008z320293ISO Class7352,00083,2002,930ISO Class83,520, 000832,00029z300ISO Class93

3、5,200,0008,320,000293,000注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平无尘车间(洁净室)等级说明首先是等级定义的模式如下：Class X (at Y pm )其中X是无尘室的等级，例如100或10000等等，Y是粒径如0.2pm , 0.5pm等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量,在这些粒 径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子：Classi (0.1pm, 0.2pm , 0.5pm)Class 100(0.2pm , 0.5|jm )Class 100(0.l|jm, 0.2|jm , 0.5pm )在

4、 Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100 , 1000 , 10000.), 一般看一个粒径即可。在 Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10 , 1.), 一般要看多几个粒径。第二个是规定无尘室的状态，例如：Class X (at Y pm ) , At-rest供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。第三个是自订微粒浓度上限，一般在As-built时无尘室都很干净，微粒 控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低，例如：Class 10000 (0.3 pm = 10000) , As-builtClass 10000 (0.5 pm = 1000) , As-built这样做的目的是确保无尘室在Operational状态时,依然有足够的微粒控制 能力。