ESH管理目标介绍资料中文版.doc

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1、员工安全、卫生与环保手册员工安全、卫生与环保手册Semiconductor Manufacturing International CorporationSafety, Hygiene and Environment Hand Book著者著者： ESH收集收集： ESH日期日期：2007 年年 8 月月目目 录录第一章第一章 安全、卫生及环境政安全、卫生及环境政策策-4 4第二章第二章 安全、卫生及环保管理以及各级之职责安全、卫生及环保管理以及各级之职责-5 52.1 安全、卫生及环保管理单位权责 -52.2 安全、卫生及环保委员会： -52.3 各部门管理人员之安全、卫生及环保职责 -62

2、.4 全体员工之安全、卫生及环保职责： -7第三章第三章 员工作业场所危害员工作业场所危害认认知知-9 93.1 危害物质认知渠道 -93.2 作业场所危害认知及其防护措施 -9 3.2.1 电气安全 -9 3.2.2 机械安全 -9 3.2.3 辐射安全 -10 3.2.4 噪音安全 -10 3.2.5 职业危害因素告知 -10第四章第四章 消消防防安安全全-12124.1 燃烧原理、火灾分类及灭火方法 -124.2 灭火器种类及使用方法介绍 -124.3 消防栓使用方法介绍 -134.4 火场逃生要点 -13第五章第五章 员员工安全、卫生及环保相关规定工安全、卫生及环保相关规定-14145

3、.1. 安全、卫生与环保事故预防 -14 5.1.1 MOC 程序-14 5.1.2 高危险性作业申请许可程序 -14 5.1.3 危害性物质储存、运输、使用、处理规范 -14 5.1.4 两人作业规定 -145.2 个人防护用具（PPE）规定 -175.3 个人健康卫生要求 -185.4 职业体检管理办法 -185.5 部分付薪病假请假办法 -195.6 工伤定义及处理流程 -205.7 生活垃圾分类及处置 -20 5.8 危险废弃物分类与处置规定 -215.9 废气及废水说明： -22 5.9.1 废气说明 -22 5.9.2 废水说明-225.10 清洁生产 -22第六章第六章 紧紧急应

4、变急应变-24246.1 术语解释 -246.2 事故种类及分级 -256.3 紧急事故应变组织图 -25第七章第七章 紧急应变紧急应变中中心（心（ERCERC）与健康中心（）与健康中心（HealthHealth CenterCenter）简介）简介-26267.1 紧急应变中心（ERC）介绍 -267.2 健康中心（Health center）介绍 -27第八章第八章 安全、卫生及环保训练安全、卫生及环保训练-28288.1 新进及转职员工 -288.2 一般在职员工 -28第九章第九章 急救急救常常识介绍识介绍-29299.1 急救基本知识 -299.2 烫（灼）伤的急救 -299.3 出

5、血的急救 -309.4 有毒气体泄漏现场自救 -309.5 晕厥的现场急救 -319.6 触电的急救 -31第十章第十章 ISO14001ISO14001 OHSAS18001OHSAS18001 介绍介绍-323210.1 什么是 ISO14001&OHSAS18001?-3210.2 为什么要推行 ISO14001&OHSAS18001?-3210.3 与各单位相关的工作 -32第十一章第十一章 罚则罚则-3333第一章第一章 安全、卫生及环境政策安全、卫生及环境政策本公司成立于公元 2005 年，主要业务是为顾客提供高质量的芯片制造服务，我们不仅注重产品的研发创新与质量管理，并将预防环境

6、污染、节约资源能源、保护人力资源、防范资产损失视为员工福祉及企业责任最重要的一环，期望通过持续改善的活动，激发员工环保及安全卫生的意识，朝向绿色标竿企业迈进，以强化公司的营运风险管理，确保公司的可持续发展。为达成此目标，本公司承诺做到：1.增进环境质量及员工安全健康为各主管的首要责任。2.落实现场的安全卫生环保自发性管理。3.强化安全卫生环保的教育训练与沟通渠道。4.研究与创新回收、减量、重复使用及循环再利用技术。5.遵守安全卫生环保法规、国际公约与顾客要求。6.加强新设备、新物料的稽核与变更管理。7.执行供应商及承揽商的安全卫生环保沟通与管理。8.提升对意外事故的预防措施与应变能力。 返回首

7、页第二章第二章 安全、卫生及环保管理以及各级之职责安全、卫生及环保管理以及各级之职责本公司依中华人民共和国安全生产法第十九条规定实施安全生产管理，设置生产安全组织人员。依安全生产法第二章规定设置管理单位及权责，依安全生产法第三章规定制定安全卫生人员权责。2.1 安全、卫生及环保管理单位权责安全、卫生及环保管理单位权责依安全生产法组织管理及自动检查相关规定，本公司安全、卫生及环保单位负责统筹管理全公司的安全、卫生及环保事务之推动，协调各厂之安全卫生作业，并依法律规定办理以下事项：1.组织制定本公司安全生产规章制度和操作规程，以及环保政策的制定、公布、保存、修订等，并指导有关部门实施。2.保证本公

8、司安全生产投入的有效实施。3.制定企业年度环保工作计划、目标、指标。4.督促、检查本公司的安全生产工作，及时消除生产安全事故隐患。5.组织制定并实施本公司的生产安全事故应急救援预案。6.及时、如实统计和通报本公司职业灾害及生产安全事故。7.规划、实施员工安全、卫生环保教育训练。8.规划、实施员工健康检查，并实施健康管理。9.向上级提供有关员工安全、卫生及环保管理资料及建议。10. 维护 ISO14001、OHSAS18001 管理体系正常运行。11. 组织实施各项环保监测。12. 负责与外部客户就环保事务沟通，保持相关记录。13. 按照政府和公司要求，组织相关训练、演习。14. 协助相关部门发

9、起、制定环境管理方案并追踪执行。15. 监督、稽核各部门污染防治工作，对不符合项开列 CIP 并进行改善追踪。16. 对供应商进行环保稽核监督，确保符合和法规要求。17. 实施环保检查，对不符合项及时纠正，降低环保事故风险。18. 参与重大环保事故的紧急应变、事故复原合原因调查调查等。19. 其他有关员工安全、卫生管理事项。2.2 安全、卫生及环保委员会：安全、卫生及环保委员会：本公司安全、卫生及环保委员会依据公司管理规定，研议、讨论、规划与解决公司安全卫生环保相关议题，以预防厂区内所使用之原物料、机械设备及任何危害因子对厂内作业人员或任何利害相关者安全健康之影响与环境之冲击。委员会设主任委员

10、一人，由各厂厂长担任、委员会委员及劳工代表，委员会每月召开一次，研议下列安全、卫生及环保相关事项：1.研议安全、卫生及环保有关规定。2.研议安全、卫生及环保教育实施计划。3.研议防止机械、设备或原料、材料之危害。4.研议作业环境测定结果应采取之对策。5.研议健康管理事项。6.意外事故与虚惊事故之调查分析。7.安全、卫生及环保工作现况报告。8.安全、卫生及环保缺失、异常情况报告与改善成效追踪。9.其他上级交付之员工安全卫生管理事项。2.3 各部门管理人员之安全、卫生及环保职责各部门管理人员之安全、卫生及环保职责多数职业灾害事故都是由于管理的疏忽和违规的操作，因此，优良的管理是有效防止意外发生的必

11、要条件，本公司全体主管及各阶层管理人员都应该负起责任，将安全卫生之管理成为作为自己部门管理的一部分，以备有效的防范意外事故的发生。为保证各部门员工在安全卫生的环境下工作，各级主管应该执行与其有关之下列员工安全、卫生和环保事项：1.视“安全第一”为最重要且最优先的工作。2.执行职业灾害防止计划事项。3.提供环境管理改善方案。4.针对所属作业场所，制定标准作业程序（OI） ，并将各作业之安全卫生工作守则或安全措施纳入 OI 中，确实教导及监督部属严格遵守安全卫生守则及安全作程序。5.负责检查本身管理部门之安全、卫生状况，随时提出或纠正各种不合乎安全、卫生及环保之行为。6.应熟悉有关安全卫生规范，安

12、全工作要领及安全知识，以身作则，督导所属，彻底遵行安全守则。7.定期检查、重点检查及其他有关检查督导事项，共同防止意外事故的发生。8.定期或不定期实施巡视。9.拟定安全作业标准。10. 教导及督导所属依安全作业标准方法实施；对新近人员或其他部门转职人员，应详细解释该部门之特别危险事项及防范方法，以确保安全。11. 任何意外事故发生，应立即就地采取紧急措施，并与安全卫生人员密切配合，使事故减至最低。12. 密切注意部属之身心情况、工作方式、工作环境，以便采取行动，消减事故之因素。13. 上级交办之其他相关安全卫生管理事项。2.4 全体员工之安全、卫生及环保职责：全体员工之安全、卫生及环保职责：安

13、全是每一个人的责任，全体员工必修主动自觉地全力合作，齐心协力从事安全活动，保证安全工作的确实有效。因为意外的发生关系每个人以及公司的生命财产损失，给个人和公司带来巨大的不幸和灾难。因此每一位员工应注意自己周围安全状况和环境因素，发掘潜在危害因素及随时提醒其他同事危险情况，使人人都能在良好的，安全、卫生的环境内工作。1.在任何工作开始之前，必须先了解工作方法、机器性能及周围环境，如有不明白处，应立即向主管询问。对于危险标志及安全项目，需要透彻了解，专注并绝对遵行。2.所有员工应当接受安全生产教育和培训，掌握本职工作所需的安全生产知识，提高安全生产技能，增强事故预防和应急处理能力。3.了解、应用安

14、全卫生规章及知识，并遵循良好之安全行为。4.发现不安全行为及不安全状况，或者作业中的环保事故风险，应向所属主管报告。5.若工作中受伤，不论受伤之严重性与否均应向主管及安全管理人员报告。6.发现对任何人的生命活健康有迫切危害的事，任何人均有责任及权利去停止任何操作或关掉设备，在状况环境允许下，此行为应与熟悉该设备、设施之该区负责人会同处理。7.依照规定之工作程序或上级指示之工作方法工作，不得擅自改变，不明白处，应立即询问主管。8.必须穿戴合适之防护器具，以保护全身之安全。9.严格现场作业控制、监督，防止发生污染。10. 工作时必须集中精神，不得漫不经心， “急促”与“草率”是发生意外之原因。11

15、. 不得在工作场所内奔跑、嬉戏、恶作剧，使他人分心或有妨碍他人工作之行为。12. 非本人负责操作之机器设备，不得擅自操作。13. 各种机器与设备应经常检查及按规定保养与记录。14. 发现器具、设备、设施故障，应立即报告主管，非指定人员，不得擅自检修。15. 场内工作地区，场外特定区，安装有烟感探测器处及有“严禁烟火”处，严禁吸烟。本厂有规划吸烟区，有吸烟习惯同仁请至吸烟区吸烟。16. 不要乱丢果皮、烟蒂、纸屑或其他垃圾，不得随地吐痰及便溺，保持卫生设施之清洁，使用厕所后勿忘冲水。17. 本厂器具、设备、设施等不得随意转借他人或外包商使用，除非经部门主管同意，并开具危害因素告知单及相关安卫注意事

16、项。18. 爱护环境，对环境污染严重事件及时发现，及时报告。19. 严格遵守垃圾分类回收制度，实现垃圾最大限度资源化。20. FAB 内严禁饮食。返回首页第三章第三章 员工作业场所危害认知员工作业场所危害认知3.1 危害物质认知渠道危害物质认知渠道在 内所用到的危害性物质，员工均可从公司因特网（intranet）上的物资安全资料表MSDS（网址：home/企业发展中心/ESH/工业安全与环境保护/物资安全资料表与废弃物分类）查阅其性质。标准的 MSDS 包括以下主要内容： 第一部分化学品及企业标识第二部分成分/组成信息第三部分危险性概述第四部分急救措施第五部分消防措施第六部分泄露应急处理第七部

17、分操作处置与储存第八部分接触控制/个体防护第九部分理化特性第十部分稳定性和反应活性第十一部分毒理学资料第十二部分生态学资料第十三部分废弃处置第十四部分运输信息第十五部分法规信息第十六部分其它信息3.2 作业场所危害认知及其防护措施作业场所危害认知及其防护措施3.2.1 电气安全电气安全制程设备中广泛用到电能控制加热和各种系统，很多机台使用 200V 以上的高电压。由于人只要遭到 24V 以上电击即可能死亡，因此员工应该遵守相关安全规定，确保用电安全：1. 严格遵守用电安全规章，遵守输配法则。2. 严禁用潮湿的手使用任何电气设备，甚至触摸及操作。3. 保险丝应使用检验合格者，严禁任意更换原设计规

18、格。4. 严禁将电线直接插入插座内。5. 电路设计和颜色编码都应依据 NFPA70，79 要求。6. 可能产生电气危害的面板、门和盖子都应有危害标签。7. 涉及电气作业，应先切断电源，并作 Lockout 和 Tagout。3.2.2 机械安全机械安全的设备机台使用大量机械装置，如齿轮传动装置、机械臂等，在进行机械操作或维护时，必须考虑采取下列防护措施：1. 防止人体与机械运动部分直接接触。2. 防止员工在工作中被机械碎片击伤或碰伤。3. 防止机械失效或电器失效时，造成人员伤害。4. 防止操作人员因人为失误造成伤害。5. 进行维护前应确保电力切断，并作 Lockout/Tagout 标识。6.

19、 可能产生机械危害的面板、门盖子和都应有安全连锁装置。 3.2.3 辐射安全辐射安全辐射是一种能量，其能量和生物个体发生作用，会产生一种突破力，如这种破坏力超过一定程度，就会对生物个体造成伤害。辐射既可以是一种自然的现象，如太阳光的辐射；也可以是人工制造，如无线电、雷达的微波。自然界存在着大量的辐射流，所以，人体不可避免地要吸收到各种辐射，其中的大多数是有害的。辐射是指以粒子或者以波的形式进行的能量传递、传播及吸收的活动。包括不同能量的电磁波(例如光线、无线电波及 X 射线等)、超声波，由放射性物质因衰变放出的粒子(例如 粒子及 粒子等)。辐射防护原则有：1.缩短接触污染物的时间。2.防止表面

20、受污染。3.防止吸入带有放射性物质的空气。4.防止进食受放射性物质污染的食物及饮用受污染的食水。3.2.4 噪音安全噪音安全在生产中产生的，为人们不需要的，听起来使人厌烦的声音统称为生产性噪音或称工业噪音。生产性噪音的特点是声级高，多属宽频带，中、高频噪音的比例大，有些作业还可能接触脉冲噪音或强度较大的连续性噪音。当强噪音与振动、不良气象条件、有害物质联合作用于人体时，增加了对健康的危害。影响噪音危害的因素1. 噪音的强度：强度越大，听力损伤出现越早，损伤程度越严重。2. 噪音工龄和每天接触时间：接触噪音时间愈长，听力损伤越重。持续接触比间断接触危害大。3. 噪音的频谱：相同强度的噪声，频率越

21、高，危害越大。4. 噪音类型：脉冲噪音比稳态噪音危害大。5. 个体差异：对噪音敏感的人和患耳病、心血管疾病患者会加重噪音的危害程度。3.2.5 职业危害因素告知职业危害因素告知考虑到在生产过程中因特殊生产工艺的需要而存在或潜在着多种职业危害因素，为保护员工的安全与健康，及充分保障员工对危害作业的知情权，员工可参考以下危害情况说明表：物理性危害：正常生产状况下，辐射机台有屏蔽保护，人员经特别培训后上岗；噪声区都配备耳塞。辐射危害：危害岗位：设备工程师及操作员，危害来源如 FAB1：ATXFR01 及IMPL；FAB2：BTXFR01 及 IMPL；RE：FXS-100.23。噪声：危害岗位：厂务

22、工作人员，危害来源：如 CUB、PS、CW/WT 等区域。化学性危害：正常生产状况下，化学品都保持在密闭环境中；设备维修中可能接触到化学品时，配备足够的个人防护用具。部门危害因素说明 CVD/PVD刺激性气体：如 WF6、SiH4、C2F6、DCS，NH3等。 毒性气体：如 NF3 等。 腐蚀性或毒性液体：如 H2SO4 等。 刺激性液体：如 IPA 等。 ETCH刺激性气体：如 C2F6、Cl2、BCl3 等。 毒性气体：如 CO 等。 腐蚀性或毒性液体：如 HF、HNO3 等。 刺激性液体：如 IPA 等。 PHOTO刺激性或腐蚀性气体：如 F2/Kr/Ne 等。 刺激性液体：如各类显影液

23、、IPA 等。 IMP毒性气体：如 AsH3、BF3。 DIFF刺激性气体：如 SiH4、DCS，NH3 等。 毒性气体：如 AsH3、ClF3 等。 腐蚀性或毒性液体：如 H2SO4 等。 刺激性液体：如 IPA 等。 WET腐蚀性或毒性液体：如 H2SO4、HF 等。 刺激性液体：如 IPA 等。 Chemical Lab腐蚀性或毒性液体：如 H2SO4、HF 等。 刺激性液体：如 IPA 等。 Testing刺激性液体：如 IPA 等。 Maskshop腐蚀性或毒性液体：如 H2SO4、HF、HCl 等。 刺激性液体：如显影液等。 刺激性气体：如 Cl2 等。 FAC刺激性气体：如 WF

24、6、SiH4、C2F6、NH3等。 毒性气体：如 NF3、ClF3 等。 腐蚀性或毒性液体：如 H2SO4 等。 刺激性液体：如 IPA 等。 Ware House刺激性气体：如 WF6、SiH4、C2F6、DCS，NH3等。 毒性气体：如 NF3、ClF3 等。 腐蚀性或毒性液体：如 H2SO4 等。 刺激性液体：如 IPA 等。无论您的工作岗位是否真正存在或潜在中国法律规定的职业危害因素，请您务必定期仔细查阅公司网上的物资安全资料表，噪声和辐射防护检测报告。返回首页返回首页第四章第四章 消防安全消防安全4.1 燃烧原理、火灾分类及灭火方法燃烧原理、火灾分类及灭火方法燃烧是氧化之化学反应与热

25、流动之物理形态，两者结合的复杂现象。物质发生燃烧需要具备一定条件。即可燃物、氧（空气） 、热能及连锁反应四者兼备，称为火灾四要素。四者缺其一，燃烧即无法发生。所以从这四要素出发，我们就能找到相对应的灭火方法。1. 针对于可燃物可以采用（隔离法）：将可燃物移除。2. 针对氧气可以采用（窒息法）：1、CO2灭火器 2、泡沫或干粉灭火器。3. 针对热能可以采取（冷却法）：1、自动洒水 2、水 3、酸碱灭火器。4. 针对连锁反应可以采取（拟制法）：海龙灭火器（因对环境破坏较大，现在被淘汰） 。依国家标准（GB4351） ，火灾被分为以下几类：1. 普通火灾(A 类)：由木材、纸张、棉、布、塑胶等固体物

26、质所引起的火灾。适用于该类火灾的灭火器有：水、干粉、卤代烷等。 2. 油类火灾(B 类)：由引火性液体及固体油脂物质所引起的火灾，如汽油柴油等。适用于该类火灾的灭火器有：CO2、干粉、泡沫等。3. 气体火灾(C 类)：凡是由气体燃烧、爆炸引起的火灾，如煤气、天然气、甲烷气体等。适用于该类火灾的灭火器有：CO2、干粉、卤代烷等。4. 金属火灾(D 类)：凡钾、钠、镁及禁水物质引起的火灾。适用于该类火灾的灭火器有：干沙、特殊灭火器。4.2 灭火器种类及使用方法介绍灭火器种类及使用方法介绍1. 干粉灭火器：适用于 ABC 类火灾，使用方法：a）先将灭火器摇晃几次，b）拔去保险销，c）一只手握住胶管，

27、将喷嘴对准火焰的根部；保持一定的距离，另一只手压下压把即可喷出。药剂有效时效三年。2. CO2 灭火器：适用于 BC 类火灾；使用方法：a）如果是手动开启式(即压把式)的灭火器，使用时先拔去保险销，一手持喷筒把手，一手紧压压把，二氧化碳即自行喷出，不用时将手放松即可关闭。B)如果是螺旋开启式(即手轮式)的二氧化碳灭火器，使用时，先将铅封去掉，翘起喷筒，一手提提把，手将手轮顺时针方向旋转开启，高压气体即自行喷出。使用二氧化碳灭火器灭火时，喷简要从侧面向火源上方往下喷射，喷射的方向要保持一定的角度和距离（约 13 米） ，使二氧化碳能迅速覆盖着火源。3. 泡沫灭火器：适用于 AB 类火灾，分为化学

28、泡沫和机械泡沫两种，其中化学泡沫使用时颠倒使用，现已淘汰，而机械泡沫灭火器使用方法同干粉灭火器操作一样，每四个月检查一次，药剂一年更换。4.3 消防栓使用方法介绍消防栓使用方法介绍基本步骤如下：1. 打开消火栓门板。2. 将水带一头接上消火栓开关阀即太平龙头，另一头接上瞄子。注意：务必保证结合处连接良好。3. 延伸水带；注意：需将水带摆放成弧线形，中间不准有打结或打摺。4. 紧握水带准备；注意：由于后坐力比较大，人员需要握紧水带，并弓步站立，建议2 人以上操作。5. 打开消火栓开关阀；注意点：由于后坐力比较大，所以开阀时需要慢慢开。6. 灭火完毕后关闭消火栓开关阀。4.4 火场逃生要点火场逃生

29、要点1.火灾袭来时要迅速逃生，不能贪恋财物。2.楼内失火可向着火层以下疏散，逃生时不要乘普通电梯。3.必须穿过烟雾逃生时，应尽量用侵湿的衣物披裹身体，捂住口鼻，身体贴近地面顺墙逃向远离烟火的太平门和安全出口，注意，呼吸要小而浅。4.如果房内有防毒面罩，逃生时一定要将其戴在头上。5.身上着火，可就地打滚，或用厚重衣物覆盖压灭火苗。6.当楼梯被烈火，浓烟封闭时，可通过窗户或阳台，逃向相邻建筑物或寻找没着火的房间，或将门窗封闭，防止烟火入侵。7.如果烟味很浓，客房门已经烫手，说明大火已经封门，再不能开门逃生。此时应将门缝塞严，泼水降温，呼救待援。8.在发生火灾时，要利用一切可利用的条件逃生，建筑物内

30、或室内备有救生缓降器，救生滑道及绳索的，要充分利用这些器具逃离火场。返回首页第五章第五章 安全、卫生及环保相关规定安全、卫生及环保相关规定公司制订了安全、卫生及环保相关管理规范。以下列举了部分规范：5.1. 安全、卫生与环保事故预防安全、卫生与环保事故预防5.1.1 MOC 程序程序当涉及到 ESH 相关变更时，需遵守变更管理（MOC）程序；需要申请 MOC 的范围包括：1使用新化学品【含固态、液态及气态】 、改变制程化学品【含固态、液态及气态】之 操作条件（温度、压力及浓度） ，改变后之操作条件（温度、压力及浓度）超过原有 设定操作条件（温度、压力及浓度）之 10%或将既有化学品运用于新制程

31、技术或产 生新的有害事业废弃物 2变更危害性输送管路、废水排放管或废气排放管的设计 3冲身洗眼器的变更 4公共广播系统变更 5气体侦测系统有效性变更 6火灾报警系统(含 VESDA)有效性变更 7火灾或爆炸风险变更 8消防系统有效性变更 9机台设备原始安全装置或安全连锁装置变更 9.电气安全风险变更 10. 本地废气处理系统或中央废气处理系统变更 11. 辐射危害风险变更 12. 新增（气态/液态）或变更化学品供应或排放系统 13. 废水处理系统变更 14. 新机台安装或机台移位5.1.2 高危险性作业申请许可程序高危险性作业申请许可程序 以下高危险性作业需要申请许可证： 1动火作业 2密闭空

32、间作业 3气体侦测器隔离 4火警侦测器隔离 5消防系统中断 6危害性管路裁接作业 7高空作业 8特种设备作业5.1.3 两人作业规定两人作业规定两人必须为了同一个作业而作业。两人可以同时动手作业，也可以由一人单独作业，另外一人做二次确认或担当作业监护。但是，两人之间必须保持良好顺畅的沟通。两人作业范围包括：1.Burn tube PM作业。2.吸附式本地尾气处理设备之除害桶更换作业。3.本地供应系统之气体钢瓶更换作业。4.本地供应系统Drum(50 gallons)更换作业。5.机台CO2灭火系统测试与维护作业。6.手动往机台/工作台加入易燃、毒性或腐蚀性液态化学品的作业(5% IPA除外)。

33、7.Implanter机台PM作业（包括拆卸或组装Implanter机台Lead shield作业） 。8.活线作业（所有可能接触高于30V电压的作业） 。9.针对以下之易燃、毒性或腐蚀性液态化学品非机械搬运或运送作业（5% IPA除外）：10. 密闭空间作业（开口面积小于5%底面积或小于3%总表面积，如桶槽、地下水道、EXH 风管等） 。11. 气体钢瓶更换作业、气瓶柜PM或Troubleshooting作业（新系统除外） 。12. 化学品桶更换作业、化学品输送系统（CDS）PM或Troubleshooting作业（新系统除外） 。13. HPM气体管路查漏作业。14. 化学品管路查漏作业。

34、15. 高处作业（作业高度大于 2 m） 。16. 动火作业。17. 消防系统中断作业。18. 气体侦测系统PM或更换。19. 起重机械作业。20. 危害性制程材料（HPM）管路变更作业。21. 第一时间现场处理紧急事件 (包括Abnormal与Accident事件)。22. 在17：30至次日8：30之时段进入Sub-Fab内进行所有的Troubleshooting或PM作业。5.1.4 危害性物质储存、运输、使用、处理规范危害性物质储存、运输、使用、处理规范 S.T.U.D 是指危险性化学品生命周期里的 4 个状态，是 Storage， Transfer， Use， 和Disposal 的

35、首字母缩写。A. 储存室安全设施储存室安全设施-S1 化学品定置存放。2 不相容化学品应分类存放。3 化学品储罐二级承漏系统，防漏量为储存量的 1.1 倍。4 化学品储罐的液位侦测器，低于最低液位时能自动切断供应系统并报警。5 化学品储罐有侦漏孔，储罐为双层结构，内层泄漏会从侦漏孔流出。6 化学品储罐底部设泄漏侦测器。7 化学品储存、使用区域设紧急冲身洗眼器。8 气瓶存放区设置气体侦测器、火警侦测器。9 气瓶存放区安全间距符合。S.T.U.D 在的流程注：红线表示手推车运送；黑线表示管道输送B. 的化学品安全保护设施的化学品安全保护设施-T1 腐蚀性化学品的运输管道采用双套管以防泄漏。2 不相

36、容化学品分开运送。3 化学品运输小车有承漏装置（承漏量为装载的最大容器的 1.1 倍） 。4 输送易燃化学品管道必须具备相应的消防系统。5 挥发性化学品倒装在密闭或通风柜内进行，以防异味发生(IPA)。C. 化学品的安全使用化学品的安全使用-U1 化学品分配机台设置 Exhaust Pot 和自动排液装置。2 化学品分配机台设泄漏侦测器，当侦测到泄漏时，机台会自动 Shut Down，Tank 会自 动泄压。3 化学品房换桶时使用条形码确认仪器，防止错误。槽车Tank化学品供应房洁 净 室货车化学品仓库废物桶废液收集罐废水处理系统危险废弃物仓库化学品空桶4 易燃化学品房的机台使用不可燃材料（不

37、锈钢） ；机台内有温度探测器、CO2 灭火系统。5 IPA 的机台设气体侦测系统。6 易燃化学品房的 CDA 与 N2 压力表都采用防爆型。7 VMB 设泄漏侦测器。8 VMB 设排风系统。9 化学品分配机台液位报警、压力报警、Exhaust 报警等会在操作面板直接显示。D. 废弃物安全处置废弃物安全处置-D1 废酸、IPA、重金属废液等厂商回收再利用。2 EKC 等有机溶剂：厂商回收处理。3 其它废液：由 CWWT 处理。4 废汞灯、电池：转交有资质厂商处理。5 其余固废：厂商回收再利用。5.2 个人防护用具（个人防护用具（PPE）规定）规定个人防护具个人防护具可防止接触到的物质可防止接触到的