一、重编实验教学大纲的目的.pdf

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1、 1 电子信息材料专业方向大型实验教学大纲（综合实践类）综合实践名称：电子信息材料专业方向大型实验 英文名称：Electronic Information Material Open Experiments 课程编号：1200405 面向专业：材料科学与工程 电子信息材料方向 课程总学时 3 周 课程学分：3 本大纲主撰人：董岩，邵起越 （Tel：52090634，Email：）一、综合实践作用和具体目标 本综合实践环节是电子信息材料专业方向的必修环节，旨在训练学生的实验技能和实验思路。通过专业实验，使学生逐步掌握电子信息材料制备、性能测试的基本原理，了解制备与测试相关设备或仪器的工作原理和使

2、用方法，同时对电子信息材料专业方向所学相关课程的知识进行巩固，提高学生的专业综合素质。二、实践内容，学时分配与组织 1、实验名称及实验时间(共三周)序号 实践项目 实验内容 实验类型 实验时间 每组人数 备注 1 粉体材料制备及性能测试 高温固相反应法制备荧光粉材料 基本型 1.5 天 1 必做 激光粒度仪法检测粉体材料粒度性能 基本型 0.5 天 3 必做 电阻法检测粉体材料粒度性能 提高型 0.5 天 3 必做 粉体材料比表面积测试 提高型 1 天 3 必做 粉体材料综合性能测试（松装密度，振实密度，安息角等）提高型 0.5 天 1 必做 粉体材料电泳性能测试 提高型 0.5 天 3 必做

3、 长余辉荧光粉发光性能测试 基本型 1 天 1 必做 荧光粉温度猝灭性能测试 研究创新型 1 天 1 选做 发光材料激发光谱和发射光谱测试 研究创新型 1 天 1 选做 2 薄膜材料制及性能测试 直流磁控溅射法制备薄膜材料 基本型 1 天 10 必做 射频磁控溅射法制备薄膜材料 基本型 1 天 10 必做 薄膜结合力性能测试 提高型 0.5 天 3 必做 薄膜摩擦性能测试 提高型 0.5 天 3 必做 原子力显微镜观察薄膜表面形貌 研究创新型 0.5 天 3 必做 溶胶凝胶法制备薄膜材料 提高型 1 天 3 必做 3 半导体工艺实验 半导体衬底清洗工艺 基本型 0.5 天 1 必做 四探针法测

4、量电阻率 基本型 0.5 天 1 必做 半导体霍尔效应实验 基本型 1 天 3 必做 热氧化法制备 SiO2薄膜 提高型 1 天 3 必做 椭偏法测量 SiO2薄膜折射率与厚度 研究创新型 0.5 天 3 必做 光刻技术与工艺 基本型 1.5 天 3 必做 半导体变温霍尔效应 研究创新型 1 天 1 选做 4 总结 完成实验报告，PPT 答辩 1 天 2 2、综合实践项目一“粉体材料制备及性能检测”的安排 选用材料 高纯碳酸锶、高纯氧化铝、高纯氧化铕等 工艺路线 备料配料(0.5 天)高温灼烧及还原(2 天)后处理(0.5 天)各种性能测试(4 天)讨论(1 天)3、综合实践项目二“薄膜材料制

5、备及性能检测”的安排 选用材料 单晶硅片，高纯 Ti、Al 靶，高纯氮气，高纯氩气等 工艺路线 备料直流磁控溅射法(1天)射频磁控溅射法(1天)薄膜性能测试(12天)溶胶凝胶法制备薄膜材料(1 天)讨论(1 天)4、综合实践项目三“半导体工艺实验”的安排 选用材料 单晶硅片（锗片），高纯氮气，氧气等 工艺路线 备料半导体衬底清洗工艺(0.5天)半导体性能测试(12 天)SiO2薄膜制备及性能测试(12 天)光刻技术与工艺（12 天）讨论(1 天)三、教学管理模式与注意事项 1、电子信息材料专业方向学生需完成全部“必做实验”。根据综合实践项目的内容和难易程度，学生自由组合分组，每组人数 13 人

6、，并由指导教师认可。根据自己能力强弱和兴趣爱好，自主选择完成“选做实验”，选做实验在课余时间或双休日进行，需事先与指导教师预约。2、学生在实验前必须认真预习，明确实验原理和目的，熟悉实验步骤及工艺参数。3、实验室在三周中对实验学生重点支持，实行开放的管理模式，双休日也可安排进行试验。高温炉、大型设备、高精设备由专人负责操作，并填写使用记录。4、学生须严格遵守实验室管理条例和安全规范，开始实验前进行一次集中安全教育。四、设备与器材配置 1、可供选择的仪器设备 各类小型制样设备，各类化学药品等耗材（高纯原料，单晶硅片，光刻胶等）大型制样设备（磁控溅射仪，高温烧结炉，光刻机等）各类检测分析仪器（粒度

7、仪，比表面仪，电泳仪，亮度仪，原子力显微镜，微磨损仪，薄膜结合力分析仪，椭偏仪，四探针仪，霍尔效应仪，体视显微镜等）2、实验耗材 常规化学药品（酒精，硝酸，盐酸，氨水等）高纯或昂贵原料（荧光级高纯粉体原料，单晶硅片及锗片，光刻胶，高纯 Ti、Al 靶高纯氮气，高纯氩气，液氮等）五、考核与成绩评定 按实验考勤、实验预习情况、实验动手能力的强弱、实验报告成绩、综合设计实验多媒体报告等方面综合考评，本综合实践最终成绩以优、良、中、及格、不及格（对应百分制：90 及以上、8089、7079、6069、小于 60）五档评定。选做实验视难度和完成情况由指导老师综合评定，加分不超过 10 分。六、教材与参考资料 1、董岩，邵起越等，电子信息材料专业方向大型实验，东南大学讲义，2007.3 3