特种气体系统工程计划设计标准规范.doc

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1、#*特种气体系统工程技术规范特种气体系统工程技术规范2011-04-07 08:31:54| 分类： 默认分类 | 标签：气体 特种 管道 气瓶 阀门 |字号 订阅 1 总 则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保 护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。制定 本规范。 1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。 1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。 1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家

2、现行有关标准的规定。 2 术 语2.0.1 特种气体 specialily gas 用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使 用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。 2.0.2 特种气体系统 speciality gas system 特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。 2.0.3 特种气体间 speciality gas room 是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道 向用气设备输送特种气体的房间。 2.

3、0.4 硅烷站 silane station 是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y 钢瓶、长管拖车或 ISO 标准储罐）、硅烷气化装置及 尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。 2.0.5 明火地点 open flame site 室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。 2.0.6 散发火花地点 sparking site散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。 2.0.7 空瓶 empty cylinder 留有残余压力的气体钢瓶。 2.0.8 实瓶 full cylinder 存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一

4、般水容积为 40L、47、48L 等各种容积。 2.0.9 气瓶集装格 the bundle of gas cylinders 用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。气瓶的个数分别 为 9 个、12 个、16 个不等，单个气瓶的水容积通常为 4050L。 2.0.10 气瓶柜 gas cabinet (GC) 特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、紧急切断阀、过 流开关、风压事故报警、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜 有手动、半自动、全自动三类。 2.0.11 气瓶架 gas rack (GR

5、) 特种气体使用的开放式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、吹扫装置、气体终端过滤器、紧 急切断阀、压力监测及报警等安全设施。气瓶架有手动、半自动、全自动三类。 2.0.12 阀门箱 valve manifold box (VMB) 特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配部件，VMB 在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管可 配置手动阀、压力表、过滤器等组件，除 SiH2Cl2、WF6 等低蒸汽压力气体外，VMB 各支管可根据 需要设置调压阀。VMB 需设置泄漏气体排气管接口和风压事故报警。 2.0.13 阀门盘 valve manifold panel (VMP) 特种气体在输送过程中使

6、用的开放式管道分配部件，VMP 在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管应#*配置手动阀、压力表、过滤器等组件，VMP 各支管可根据需要设置调压阀。 2.0.14 低蒸汽压力气体 low vapor pressure gas 在室温下的饱和蒸气压小于 0.2MPa 的气体。 2.0.15 尾气处理装置 local scrubber 用于处理易燃、易爆、有毒、有腐蚀性等气体的排气与吹扫气体的装置，处理后的尾气达到规定排放 浓度，并排入用气车间的排气管道。 2.0.16 气体探测系统 gas detector system(GDS) 设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘、及其它特种气体输送设备与管

7、道所覆盖区域，通过检 测本质气体或关联气体在空气中的含量来判断本质气体的泄漏，从而发出声光报警信号、提供应急处 理数据的系统。 2.0.17 气体管理系统 gas management system(GMS) 包含特种气体探测系统、应急处理系统、工作管理系统、监视系统、数据输送与处理系统的气体管理 与控制系统的统称。 2.0.18 最高允许浓度值 threshold limit value(TLV) 工作环境空气中有害物质的最高允许浓度值。 2.0.19 爆炸浓度下限值 low explosion limit(LEL) 可燃气体在空气或氧化气体中发生爆炸的浓度下限值。 2.0.20 卧式气瓶

8、y-cylinder/t-cylinder 用于储存较多特种气体的气瓶。一般水容积为 500L，1000L。 2.0.21 自燃气体 pyrophoric gas 在空气中会发生自动燃烧的气体。 2.0.22 可燃气体 flammable gas 指与空气（或氧气）能够形成一定浓度的混合气态，并遇到火源会发生燃烧或爆炸的气体。 2.0.23 毒性气体 toxic gas LC50 超过 200ppm 但不超过 2000ppm 的气体。 2.0.24 腐蚀性气体 corrosive gas 是指在一定条件下，对材料或人体组织接触产生化学反应引起可见破坏或不可逆反应的气体。 2.0.25 氧化性气

9、体 oxygenize gas 是指在一定条件下，与材料接触会产生较为剧烈的失去电子的化学反应的气体。 2.0.26 惰性气体 inert gas 在一般情况下与其它物质不会产生化学反应的气体。 2.0.27 限流孔板 restrict flow orifice(RFO) 限定系统最大流量的一种装置。 2.0.28 过流开关 excess flow switch(EFS) 流量超出设定值时，给出开关信号。 2.0.29 AP 管 annealed and pickled pipe 经过酸洗或钝化、去除表面残存颗粒的钝化无缝不锈钢管。 2.0.30 BA 管 bright annealing p

10、ipe 经加氢或真空状态高温热处理，消除内部应力并在管道表面形成一层钝化膜的光亮无缝不锈钢管。 2.0.31 EP 管 electro-polished pipe 经电化学抛光，使表层实际面积得到最大程度的减少,表面产生一层较厚的封闭的氧化铬膜的电化学抛 光无缝不锈钢管。 2.0.32 吹扫 purge 用氮气和氩气对特种气体系统内的其它气体进行置换的过程。 2.0.33 排气 vent 特种气体设备与系统中排出的本质气体。#*2.0.34 数据采集与监视控制系统 supervisory control and data acquisition（SCADA）是以计算机为基础的生产过程控制与调度

11、自动化系统。它可以对现场的运行设备进行监视和控制， 以实现数据采集、设备控制、测量、参数调节以及各类信号报警等各项功能。 2.0.35 工厂设备管理控制系统 facility management control system（FMCS） 用于管理工厂动力设备的管理控制系统，一般只具有监视功能，不具有控制功能。 2.0.36 大宗硅烷系统 bulk silane system 是指容器水容积超过 250L 的硅烷系统，包括钢瓶集装格、Y 钢瓶、长管拖车(T/T)、ISO 标准储罐， 以及数量超过 7 个的独立小钢瓶系统。 2.0.37 气体面板 gas panel 集成切断阀门、调压阀、过滤器

12、、压力计等零部件并安装在气瓶柜内的专用设施。 2.0.38 开敞式建筑 open area 立柱和墙面遮挡部分小于周长的 25%的建筑。 2.0.39 内向检漏 inboard he leak test 又称喷氦法测试. 采用内部抽真空，外部喷氦气的方法，测试管路系统的泄漏率。 2.0.40 阀座检漏 cross seat he leak test 采用阀门上游充氦气，下游抽真空，检测泄漏率的方法。 2.0.41 外向检漏 outboard he leak test 又称吸枪法测试，采用管路内部充氦气或氦氮混合气，外部用吸枪检查漏点泄漏率的方法。 2.0.42 不相容性 incompatibl

13、e 不同气体混合后即发生化学反应，释放出能量并对环境产生危害作用的特性。 2.0.43 ISO 标准储罐 ISO module 按国际标准组织（ISO）要求，允许安装在架子上的多个水容积不超过 1218L 的储罐或长管气瓶的总 称。 2.0.44 大宗特气输送系统 应用：1）集束钢瓶（容积小于 50L 钢瓶数量超过 12 个以上）；2）Y 型钢瓶；3）T 型钢瓶；4）长 管拖车；5）ISO 槽罐等进行特种气体储存和送气作业的系统。 3 特种气体站房3.1 一般规定 3.1.1 特种气体站房包括布置在单独建构筑物或区域内的特种气体站和布置在生产厂房内的特种气体 间。 3.1.2 布置在生产厂房内

14、的特种气体间，可采用气瓶柜、气瓶架、卧式气瓶、气瓶集装格向生产线供 应特种气体。 3.1.3 在生产厂房内的特种气体间内的最大允许储存量见表 3.1.5，当生产厂房内的气体储量超过规定 数量时，应设计独立的特种气体站。 表 3.1.3 生产厂房内最大允许储存量序号气体种类气体总量1立方米1可燃气体562毒性气体923剧毒性气体1.14自燃气体2.85氧化性气体1706腐蚀性气体92 说明: 1 标准状态下的气体体积量. 3.1.4 集合工艺设备的布置情况，生产厂房内的特种气体间应集中布置在生产厂房一楼靠外墙的区域。#*3.1.5 低蒸汽压力特种气体供应设施应尽可能靠近工艺设备。 3.1.6 布

15、置在单独建构筑物或区域内的特种气体站，可采用气瓶集装格、卧式气瓶、槽车、长管拖车 向生产线供应特种气体。 3.2 气体站房分类 3.2.1 特种气体依其物性及安全特性，将其分为可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性气体。 3.2.2 布置在生产厂房内的特种气体间根据气体性质宜分为可燃性气体间、毒性气体间/腐蚀性气体间、 惰性气体间。 3.2.3 独立布置的特种气体站有硅烷站、氨气站等。 3.3 特种气体设备的布置 3.3.1 不相容的特种气体的气瓶架应布置在不同房间里，如果布置在同一房间，气瓶柜架之间的距离 应大于 6 米。 3.3.2 同时具有可燃性和毒性气体应放在可燃性气体间 3.3.3 特种

16、气体房间内的气瓶柜、气瓶架、就地尾气处理装置、气瓶集装格宜靠墙布置，具有相同或 相近气体性质的设备应布置在一起。 3.3.4 特种气体间的中间通道宽度不得小于 2 米，特气柜与墙体之间的距离宜大于 0.1m，特气柜之间 的距离宜大于 0.1m,气瓶集装格宜靠墙布置。布置应考虑维修与运转空间。 3.4.5 硅烷站内长钢瓶拖车宜放置在硅烷站的室外空旷地坪。 3.4.6 特种气体系统的电气控制盘、仪表控制盘的布置，应符合下列规定： 1 应布置在与特种气体供应设备室相邻的控制室内，隔墙上可以设置防爆密闭观查窗。 2 控制室应以耐火极限不小于 2h 的隔墙和不低于 1.5h 的楼板与特种设备间隔开，穿越

17、隔墙的管道应 以防火材料填堵。4 特种气体工艺系统4.1 一般规定 4.1.1 电子工厂的特种气体工艺系统应设置下列装置： 1. 储存与送气的气瓶柜、气瓶架、集装格； 2. 气体输送与分配用阀门箱或阀门盘； 3. 辅助氮气吹扫系统； 4. 尾气排放处置系统。 4.1.2 特种气体工艺系统的设计应满足电子产品生产工艺对特种气体使用的安全操作、工艺参数、污 染控制的要求。 4.1.3 不相容的特种气体的排气管道不应接入同一排气系统。 4.1.4 不相容的特种气体的排风管道不应接入同一排风系统。 4.2 特种气体输送系统 4.2.1 特种气体系统的气瓶柜与气瓶架的设置应符合下列规定 1 自燃、可燃、

18、毒性、腐蚀性气体的气瓶柜用气瓶容积不得大于 50L； 2 氧化性和惰性气体的气瓶架用气瓶容积不得大于 50L； 3 气瓶柜与气瓶架可采用单工艺气瓶外置吹扫氮气（源）瓶（单瓶式）、双工艺气瓶外置吹扫氮气 （源）瓶（双瓶式）、双工艺气瓶内置吹扫氮气（源）瓶（三瓶式）等多种结构配置； 4 不相容气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中； 5 气瓶柜与气瓶架应设有分配、作业用气体面板，气体面板的要求详见 4.2.2 条； 6 系统的供应能力必须经过相应的热力学和流体力学计算核实； 7 气瓶柜闭门时应保持不低于 100Pa 负压，其排风换气次数不得低于 300 次/小时；#*8 自燃、可燃、毒性、腐蚀性气瓶

19、柜应在排风出口设置气体泄漏探测器； 9 气瓶柜柜体外壳钢板厚度不应小于 2.5mm，并有防腐蚀涂层。 10 气瓶柜门应具备自动关闭功能，并配备防爆玻璃观察窗； 11 气瓶柜、气瓶架应设置清晰明确的安全标示牌； 12 气瓶柜地脚螺栓的设计要满足当地地震烈度的要求。 13 当气瓶柜放置在有爆炸和火灾危险环境时，其设计应符合现行国家标准爆炸和火灾危险环境电 力装置设计规范GB50058 的规定。 4.2.2 特种气体气瓶柜与气瓶架的气体面板设置应符合下列规定： 1 自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体面板应设有紧急关断阀门，并应为常闭气动阀门，位置尽量靠近气 瓶端； 2 气瓶压力大于 0.1MPa 的自燃、

20、可燃、毒性、腐蚀性气体面板应设有过流开关； 3 自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体面板应设有惰性气体吹扫系统； 4 自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体面板应设有辅助抽真空装置，该管路必须设置止回阀； 5 各种特种气体面板均应设置工艺气体排气口； 4.2.3 可燃特种气体气瓶柜的设置应符合下列要求 1. 硅烷气瓶柜的排风换气次数不得低于 1200 次小时。气瓶柜的负压应持续监控； 2. 自燃性气瓶柜应设置紫外红外火焰探测器； 3. 可燃与自燃性气瓶柜应设置水喷淋系统，但是 ClF3 气瓶柜不应设置水喷淋系统； 4. 自燃性气体气瓶柜应在气瓶之间设置隔离钢板。 4.2.4 大宗特种气体输送系统应设置下列装置

21、1 独立设置的气（液）瓶、储罐或长管拖车及其压力指示或钢瓶称重装置、连接回型管、气流控制的 气体面板、吹扫氮气单元、电气控制柜； 2 大宗特种气体输送系统的其它功能配备应符合第 4.2.1 条的规定； 3 大宗特种气体输送系统的供应能力必须经过相应的热力学和流体力学计算核实； 4 大宗特种气体输送系统宜单独建站，或置于单独的气体房，并考虑消防间距和物流通道等； 5 液化气体瓶的大宗特种气体系统应设计合适的钢瓶加热与保温装置。 6 大宗特种气体应考虑在减压前对气体进行预热。 4.2.5 液态特种气体输送系统 1 液态特种气体系统包括独立放置的液体槽罐、液体输送柜、连接回型管、推动气体单元、载气单

22、元、 吹扫氮气单元、电气控制柜与温度控制装置。 2 液态特种气体输送系统利用推动气体的静压力或者采用泵，将液体化学品从大包装槽罐里输送至液 体输送柜里的小包装液罐，或者将小包装液罐里的液体直接推动输送至用液点。用液点设置鼓泡器或 蒸发器，将液体化学品鼓泡或直接蒸发，以汽化形式输送至工艺反应设备。 3 液态特种气体输送柜必需的其他功能配备应符合第 4.2.1 条的规定。 4.2.6 特种气体系统的阀门箱和阀门盘的设置应符合下列规定 1 自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体系统的阀门箱应设有： 1）进气管路隔离阀门及压力指示单元； 2）各分支路独立的压力控制调节、过滤器、过流开关单元； 3）各分支路独立的

23、进出口隔离阀门； 4）各分支路独立的吹扫氮气或惰性气体单元； 5）各分支路独立的辅助抽真空单元等 2 惰性及氧化性气体系统的阀门盘应设有： 1）进气管路隔离阀及压力指示单元； 2）各分支路独立的压力控制调节阀、过滤器； 3）各分支路独立进出口隔离阀门。 4.3 吹扫和排气系统#*4.3.1 特种气体系统吹扫氮气的设置，应符合下列要求： 1 自燃、可燃、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫氮气应与独立的氮气源连接，不得与公用氮气或工 艺氮气系统相连； 2 不相容性特种气体系统的吹扫氮气不得共用同一氮气源； 3 吹扫氮气管线必须设置止回阀。 4.3.2 吹扫氮气的气体面板设置包括下列部件： 1）压力调节

24、阀； 2）排气管； 3）高低压截止阀； 4）高低压压力指示； 5）安全阀 4.3.3 特种气体系统的辅助抽真空设置应符合下列要求： 1 真空发生器宜采用氮气实现抽真空功能； 2 抽真空用氮气可由公用普通氮气提供； 4.3.4 工艺排气与废气处理 1 特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫，防止空气倒流造成污染和腐蚀。 2 不相容性气体的排气不得连接进入同一排气主管。 3 自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体的排气浓度超过燃烧下限 20%或最大允许浓度 10%时，必须经过尾 气处理装置处理后排入厂房排气系统。 4 合适的废气处理装置包括但不限于：1）干式处理；2）水洗式处理；3）加热分解处理；4）

25、燃烧处 理；5）等离子分解处理；6）稀释处理；以及以上几种处理方式的结合。5 硅烷站5.1 硅烷工艺系统 5.1.1 硅烷站工艺系统应根据下列因素确定 1 硅烷的危险性质 2 硅烷站的规模 3 用户对硅烷纯度及压力要求 4 用户对硅烷负荷变化情况的要求 5.1.2 硅烷站应根据工艺要求、当地气候状况、硅烷设备状况选择采用封闭式、开敞式或露天形式进 行布置。 5.1.3 硅烷输送工艺系统应包括硅烷容器、气体面板、阀门箱以及相应的连接管道。 5.1.4 典型的硅烷气体面板应包括减压过滤、吹扫/排气、安全控制等功能。 5.1.5 硅烷应采用独立的惰性气体钢瓶进行吹扫，不得采用公用管道氮气吹扫。 5.

26、1.6 阀门箱应配置惰性气体吹扫系统、泄漏侦测和火焰侦测。 5.1.7 硅烷的放空不得排入局部排风系统，应直接排到大气，或燃烧式尾气处理器。放空管道应使用 氮气连续吹扫。放空管道吹扫氮气流速不应低于 0.3m/s。 5.1.8 钢瓶出口应设置常闭式紧急切断阀。硅烷站的各安全出口应设置手动紧急切断按钮，至少有一 个手动紧急切断按钮与输送系统的距离应大于 4.6 米。 5.1.9 硅烷输送系统应采用金属膜片的波纹管阀、隔膜阀、调压阀。气源应配置直径小于 3.175mm 的限流孔板。输送系统应配置过流开关。 5.2 硅烷站的布置 5.2.1 硅烷站的布置，应按下列要求综合比较确定： 1 应布置在工厂

27、常年最小频率风向的上风侧，并应远离有明火或散发火花的地点； 2 不应布置在人员密集地段和主要交通要道邻近处； 3 硅烷站应采用单层钢筋混凝土或钢框架、排架结构。钢框架、排架结构应采用防火保护措施。 4 硅烷站应设置不燃烧体的围墙，其高度不应小于 2.5m；#*5 大宗硅烷站必须布置为独立的开敞式建筑物或空旷区域，不得有地下室。当采用开敞式建筑结构形 式时，硅烷站墙面遮挡部分面积不大于建筑外围面积的 25%。如果有障碍物，距离应保证大于障碍物 高度的 2 倍。 6 硅烷站的选址应方便运输和消防车辆的进出。 5.2.2 硅烷站与工厂建筑物、构筑物的防火间距，不应小于表 5.2.2 的规定。 表 5

28、.2.2 硅烷站与其他建筑物、构筑物、道路的防火间距（m）硅烷站储量（t）名称55 重要公共建筑50 甲类仓库20 民用建筑、明火或散发火花地点3040其他建筑一、二级耐火建筑1520三级耐火建筑2025四级耐火建筑2530 电力系统电压为 35 500kV 且每台变压器容量在 10MVA 以上的室外变、配电站工业企业的变压器总油量 大于 5t 的室外降压变电站3040厂外铁路线中心线40 厂内铁路线中心线30 厂外道路路边20 厂内道路路边主要10次要5注：1 防火间距应按相邻建筑物、构筑物的外墙、凸出部分外缘、气瓶集装格外缘的最近距离计算。 2 固定容积的硅烷气罐，总容积按其水容量（m3）

29、和工作压力（绝对压力）的乘积计算。 3 与高层厂房的防火间距，应按本表相应增加 3m。 5.2.3 硅烷站的建筑设计应符合现行国家标准建筑设计防火规范GB50016 的规定。 5.2.4 硅烷站可采用有坡度的屋顶，屋顶最低点宜大于 4.5 米。硅烷站的面积大于 19m2 时，必须有 两个安全出口。 5.2.5 站内任何地点到最近安全出口的距离不得大于 23m。 5.2.6 硅烷站应采用快开式推杆锁，不得采用其它形式的锁具，疏散门应采用平开门，朝向为疏散方 向。 5.2.7 露天布置的硅烷站内大宗容器之间以及容器与工艺面板之间应距离 9 米，当距离不到 9 米时， 应采用 2 小时防火隔断。防火

30、隔断的设置不应影响自然通风。 5.3 安全技术措施 5.3.1 硅烷站的电气控制室应设置在单独的房间内，并用无门窗洞口的防爆墙与硅烷气瓶库隔开。供 硅烷站专用的 10kV 及以下变配电所，不应设置在硅烷站厂房内或贴邻建造。 5.3.2 硅烷大宗钢瓶应进行防静电接地。 5.3.3 对于抽风管道的泄漏探测器，设定值不应小于 0.34%（V/V）(25% LEL)，报警并自动关闭输送 系统。环境监测点设定值不应小于 5ppm，报警但不需要切断输送系统。 5.3.4 开放式输送系统大宗钢瓶区域必须设置紫外/红外火焰探测器。封闭式输送系统应采用高温探测 器。火焰或感温探测器应与报警系统和紧急切断系统联动

31、。 5.4 采暖通风与空气调节#*5.4.1 采用开放式布置的硅烷站，应采取有效的措施，保证自然通风，防止硅烷气体积聚。若不能满 足开放式的条件时，应设置强制通风系统。 5.4.2 封闭式硅烷站严禁采用循环空气调节系统。 5.4.3 封闭式的硅烷站室内温度、湿度设计参数应满足气柜的要求。当气柜无具体要求时，室内设计 参数宜满足 253。 5.4.4 封闭的硅烷站应设置独立的连续排风系统。 5.4.5 气柜排风量应按照硅烷的最大储存压力下限流孔板（RFO）的硅烷连续流量计算气柜内的硅烷 浓度，应保证气柜内的硅烷体积浓度小于 0.4%，并保证流经气瓶颈部和管道机械连接处的气流速度不 小于 1m/s

32、 来确定。 5.4.6 气瓶组直接安装在封闭的硅烷站内，房间排风量应按照硅烷的最大储存压力下限流孔板 （RFO）的硅烷连续流量计算房间内的硅烷浓度，应保证气柜内的硅烷体积浓度小于 0.4%来确定。 5.4.7 硅烷阀门箱的排风量应按照硅烷的最大储存压力下限流孔板（RFO）的硅烷连续流量计算气柜 内的硅烷浓度，应保证气柜内的硅烷体积浓度小于 0.4%来确定。 5.4.8 封闭的硅烷站应设置事故通风，事故通风量根据事故泄漏量计算确定，但换气次数不应小于每 小时 12 次。硅烷站外应设置紧急按钮。 5.4.9 硅烷站排风系统应设置备用机组。 5.4.10 硅烷站空调系统应采用适当措施保证在空调机组维

33、护或故障时，硅烷站能取得足够的补风。 5.4.11 硅烷站排风系统、空调系统电源应设置应急电源。 5.4.12 空调系统、排风系统风管应采用不燃材料制作。排风风管应采用刚性风管，不得使用柔性风管。 空调系统风管保温应采用不燃或难燃保温材料。 5.4.13 排风管路严禁穿越防火分区防火墙。排风管路上不应设置溶片式防火阀。 5.4.14 排风系统不应与火灾报警系统连动控制，严禁关闭排风系统。 5.5 消防系统 5.5.1 硅烷站的消防应符合下列规定 1在发生硅烷火灾时，在没有关闭泄漏钢瓶之前，严禁扑灭硅烷火焰。 2在发生火灾时，硅烷钢瓶和使用到硅烷的相关的设备，应有冷却措施。 3 硅烷站严禁使用“

34、哈龙”灭火器。 4 硅烷站的消火栓系统设计应符合建筑设计防火规范GB50016-2006 中的有关规定。 5.5.2 室外硅烷站的消防应符合下列规定 1设置在室外的硅烷站，应设置雨淋系统来冷却硅烷的输送系统。保护部位包括硅烷钢瓶、大宗硅烷 储罐及相关的工艺气柜。 2雨淋系统的设计喷水强度不小于 12L/min.m2，火灾持续时间不小于 2 小时。 3消防系统的管道应采用金属管材，接口采用丝扣、焊接管件。在站内 15m 范围内的管道不应采用 以橡胶为密封材料的沟槽式连接方式。 4 雨淋系统启动时，应同时切断硅烷的供应。 5 当室外硅烷站设有屋顶等防雨措施时，在此处可以设置湿式自动喷水灭火系统。设

35、计喷水强度按照 严重危险系 II 级考虑。设计喷水强度 16L/min.m2，保护面积 260m2。 6 室外硅烷站的附近应设置室外消火栓，室外消火栓应设置在距大宗钢瓶 30m 之外且 46m 之内。 5.5.3 室内硅烷房间的消防应符合下列规定 1存储和使用硅烷的房间应设置自动喷水灭火系统。设计喷水强度不低于严重危险级 I 级，设计喷水 强度 12L/min.m2，保护面积 260m2。 2硅烷气柜应自带冷却用的自动喷水灭火喷头，该喷头为快速反应喷头。6 特种气体管道输送系统6.1 一般规定 6.1.1 特种气体输送系统包括特气管道系统、阀门分配系统、工艺设备和尾气处理系统的管道、管件、 阀

36、门、过滤器、减压装置、卸压装置、压力表（传感器）等所有部件。#*6.1.2 生产厂房内特种气体管道的干管，应敷设在技术夹层或技术夹道内，当与水电管线共架时，当 相对密度小于或等于 0.75 的气体管道宜设在水、电管线下部；相对密度大于 0.75 的特气管道宜设在 水、电管线上部。 6.1.3 生产车间内的可燃和有毒特气体管道应明敷，穿过生产区墙壁与楼板处的管段应设置套管，套 管内的管道不得有焊缝，套管与管道之间应采用密封措施。可燃、毒性、腐蚀性气体管道的机械连接 处，应置于抽风罩内。 6.1.4 可燃特气体与毒性特气体管道不得穿过不使用此类气体的房间，当必须穿过时应设套管或双层 管。特气管道严

37、禁穿过生活间、办公室。 6.1.5 特气管道不得出现不易吹除的盲管等死区，避免 U 型弯。 6.1.6 易燃性特气体与氧化性特气管道，应设置导出静电的接地设施。 6.1.7 室外布置的特种气体管道应架空布置。 6.2 材料选型 6.2.1 工艺和吹扫气体的管道和管件应采用奥氏体不锈钢无缝钢管，内表面应进行洁净和钝化处理。 6.2.2 腐蚀性气体管道，宜采用二次真空电弧熔炼的奥氏体不锈钢或镍基合金材料的无缝钢管。内表 面应进行洁净和钝化处理。 6.2.3 用于接触工艺气体的阀门的密封座，应尽量减少塑料材质的使用量和表面接触面积，且材质应 与气体性质匹配。 6.2.4 双层管的外层管道宜选择经过退

38、火处理和酸洗处理的不锈钢管道。 6.2.5 排气和尾气真空管道宜采用不锈钢管道，并经过严格的脱脂处理。 6.2.6 氧化性气体应采用专用禁油阀门、附件和管材，所有管件按规定进行脱脂处理。 6.3 管道设计 6.3.1 管道的压力等级应根据工艺气体的输送压力确定。管道设计应符合现行国家标准工业金属管 道设计规范GB50316 的要求。 6.3.2 管道设计应充分考虑用气设备对流量和压力的要求。应参照现行国家标准工艺系统工程设计 技术规定HG/T20570.7 进行计算。 6.3.3 管材的壁厚应符合现行国家标准流体输送用不锈钢无缝钢管GB/T14976 的规定，小尺寸管 道管壁厚度应满足下述要求

39、: 表 6.3.3 小尺寸轨道壁厚要求管道外径壁厚要求6mm(1/4“)-10mm(3/8“)0.89mm(0.035“)15mm (1/2“)1.24mm（0.049“）20mm(3/4“)25mm (1”)1.65mm（0.065“）6.3.4 液态特气水平管道应有不小于 0.3%的坡度，坡向供液设备或收集器。 6.3.5 对于强腐蚀性、自燃性和剧毒性危险性气体，宜采用双套管设计，内管走工艺气体。套管间可 采用封闭或开放形式。 6.3.6 对于输送低蒸汽压气体，需要对管道设置伴热和保温措施。加热温度不宜超过 50。 6.3.7 特气管道应采用全自动轨道焊接。阀件或管件处应采用面密封连接，不

40、应采用螺纹或法兰连接。6.3.8 特气阀门应采用隔膜阀或波纹管阀，不应采用球阀、旋塞阀等阀门。 6.3.9 特气管道连接用密封垫片宜选用不锈钢垫片，垫片与特气的性质必须相容。 6.3.10 产生颗粒的阀件下游宜安装过滤器。 6.3.11 特气管道系统安装完成后，应根据工艺的要求进行压力测试、密封性测试和不纯物测试。详见 特种气体系统验收章节。#*6.4 管道标签 6.4.1 特种气体管道必须进行管道标示，标示方法应按本节规定或企业内部管道标示执行。 6.4.2 特种气体管路标识应包括气体名称、主要危险特性和流向箭头，并通过各种颜色来表示管道内 介质的危险特性。 表 6.4.1 特种气体管路标示

41、颜色底色意义物质 特性物质 种类举例字体 颜色箭头 颜色红色危险极易燃易爆、强毒 性气、液体等AsH3，SiH4, CH2F2，PH3，WF6，ClF3 ， CO，CCl4 等白色白色黄色警告腐蚀性，对人体有 危害气、液体等HBr，HCl，HF 等黑色黑色蓝色安全危害性较小或无危 害惰性气体、 无毒性物质SF6，Kr/Ne，Xe 等白色白色注：1 红色危险色，表示内容物易燃易爆、且有强毒性。 2 黄色警告色，表示内容物有腐蚀性、毒性，或对人体有危害性。 3 蓝色/绿色安全色，表示内容物危险性很小，或根本没有危险。 6.4.3 标示应有该物质名称描述，顺序可根据实际情况进行调整。文字描述不仅包括

42、管内物质名称 （化学物质包含分子式），还应包括特性（判定顺序：易燃性、腐蚀性、毒性等其他性质，其中特性 的描述以最主要的性质为依据）。中、英文及数字式样如下所示： 中文（黑体粗体字形） 英文分子式和数字（Arial 粗体字形） 图 6.4.2 管道标示SiH4 硅烷易燃易爆气体箭头记号表示管内物质的流动方向，颜色和字体颜色相同，尺寸与标示大小相匹配。 6.4.4 标示的尺寸依管径内径变化。如管路名称比较长，可根据实际情况增加标签的长度。 表 6.6.3 标示参数与管径的对照管径标示长度标示高度箭头长度字体高度6mm(1/4”)150mm（6“）15mm（1/2“）30mm（1.2“）8mm（1

43、/4“）10mm(3/8“)150mm（6“）15mm（1/2“）30mm（1.2“）8mm（1/4“）15mm(1/2“)150mm（6“）15mm（1/2“）30mm（1.2“）8mm（1/4“）20mm(3/4“)200mm（8“）20mm（3/4“）40mm（1.6“）15mm（1/2“）25mm(1“)-50mm(2“)200mm（8“）25mm（1“）40mm（1.6“）20mm（3/4“）50mm(2“)以上300mm（12“）40mm（1.5“）60mm（2.4“）30mm（1.25“）6.4.5 管路上粘贴标签应符合下列规定： 1 水平直管部分：管路直径 100mm(4“)（

44、含）以下，每隔 3m 粘贴一张，其中以主要走道上方为基准 方位；管路直径 100mm(4“)（不含）以上，每隔 6m 粘贴一张，其中以主要走道上方为基准方位。 2 垂直直管部分：管路内径 100mm(4“)（含）以下，每隔 2m 粘贴一张，并以地面向上 150cm 处为 基准位置粘贴一张；管路内径 100mm(4“)（不含）以上，每隔 4m 粘贴一张，并以地面向上 150cm 处 为基准位置粘贴一张。 3 管路的连接处（如阀件、弯头），机台与管路的接管处，和穿墙两侧部分都必须粘贴一张。标示的 粘贴要遵循整齐的原则垂直管路上的标示上边缘对齐。标示粘贴的角度要易于识别，使操作人员在操 作或紧急突发

45、情况下能迅速辨识。#*-箭头标示如下： 图 6.6.4 粘贴标示2/15L 箭头长度 1/5L 标签长度 L1/3H 1/6H7 建筑结构7.0.1 布置于生产厂房的特种气体间的耐火等级不应低于二级。其结构构件的耐火极限应该符合现行 国家标准建筑设计防火规范GB50016 的规定。 7.0.2 有爆炸危险的特种气体间的承重结构宜采用钢筋混凝土或钢框架、排架结构，房间应沿建筑外 墙布置。 7.0.3 有爆炸危险的特种气体应符合现行国家标准建筑设计防火规范GB50016 的规定设置泄压设 施。 7.0.4 有爆炸危险的特种气体间的安全出口不应少于 2 个，且宜分散布置，相邻 2 个安全出口最近边

46、缘之间的水平距离不应小于 5m，其中 1 个应直通室外，通向疏散走道的门需要满足防火及防爆要求。 当爆炸危险房间的面积小于等于 100m2，且同一时间的生产人数不超过 5 人时，可设置一个直接通往 室外的出口。 7.0.5 惰性气体间的安全出口不应少于 2 个，且宜分散布置，相邻 2 个安全出口最近边缘之间的水平 距离不应小于 5m，其中 1 个应直通室外，通向疏散走道的门应为乙级防火门。当惰性气体房间的面 积小于等于 150m2，且同一时间的生产人数不超过 5 人时，可设置一个直接通往室外的出口。 7.0.6 有爆炸危险的特种气体间与无爆炸危险房间之间，应采用耐火极限不低于 4h 的不燃烧体

47、防爆墙 隔开，防爆墙上不应开设门窗洞口，当设置双门斗相通时，门应错位布置，门的耐火极限不应低于 1.2h。 7.0.7 有爆炸危险的特种气体间的控制室应与该气体房间及相邻其他房间应采用耐火极限不低于 3.00h 的不燃烧体墙体分隔开。 7.0.8 特种气体房间的门应向疏散方向开启，有爆炸危险房间的门窗应采用撞击时不产生火花的材料 制作。 7.0.9 当相对密度小于或等于 0.75 时，散发较空气轻的可燃性特种气体间，顶棚应平整、避免死角， 特种气体间上部应通风良好。 7.0.10 当相对密度大于 0.75 时，散发较空气重的可燃特种气体间，应采用不发火花的地面，并应平 整、耐磨、防滑。采用绝缘

48、材料作整体面层时，应采取防静电措施。顶棚表面应平整，避免死角，特 种气体房间不应设计地沟，必须设置时，其盖板应严密，防止特种气体的积聚。 7.0.11 特气间的高度应满足工艺设备与管道布置的要求，并结合生产厂房的高度统一考虑，不宜低于 4.5 米。 7.0.12 特种气体房间内的装修材料应符合现行国家标准建筑内部装修设计防火规范GB50222 的 规定。8 电气与防雷8.1 配电与照明#*8.1.1 特种气体站和特种气体间的电力负荷分级不宜低于二级负荷；可燃、自燃、毒性与腐蚀性气体 设备应为一级负荷；气体管理与气体泄漏探测系统为一级负荷中特别重要的负荷，必须配置不间断电 源。 8.1.2 有爆炸危险特种气体站和特种气体间的爆炸性气体环境内的电力装置应为 1 区设防，并应符合 现行国家标准爆炸和火灾环境电力装置设计规范GB50058 的规定。 8.1.3 特种气体站房的照明灯具宜安装在操作与维修通道处，不宜安装在设备正上方，并应设置备用 照明。 8.2 防雷与接地 8.2.1 特种气体间与硅烷站的防雷分类应划分为第二类防雷建筑，应采取防直击雷、防雷电感应和防 雷电波侵入的措施。 8.