精密和超精密加工现状与发展趋势13130.docx

《精密和超精密加工现状与发展趋势13130.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《精密和超精密加工现状与发展趋势13130.docx（15页珍藏版）》请在得力文库 - 分享文档赚钱的网站上搜索。

1、精密和超精密加工现状与发展趋势核心提示：当前精密和超精密加工精度从微米到亚微米，乃至纳米，在汽车、家电、IT电子信息高技术领域和军用、民用工业有广泛应用。同时，精密和超精密加工技术的发展也促进了机械、模具、液压、电子、半导体、光学、传感器和测量技术及金属加工工业的发展。一、精密和超精密加工的概念与范畴通常，按按加工精精度划分分，机械械加工可可分为一一般加工工、精密密加工、超超精密加加工三个个阶段。目目前，精精密加工工是指加加工精度度为10.11m，表表面粗糙糙度为RRa0.100.011m的加加工技术术，但这这个界限限是随着着加工技技术的进进步不断断变化的的，今天天的精密密加工可可能就是是明天

2、的的一般加加工。精精密加工工所要解解决的问问题，一一是加工工精度，包包括形位位公差、尺尺寸精度度及表面面状况；二是加加工效率率，有些些加工可可以取得得较好的的加工精精度，却却难以取取得高的的加工效效率。精精密加工工包括微微细加工工和超微微细加工工、光整整加工等等加工技技术。传传统的精精密加工工方法有有砂带磨磨削、精精密切削削、珩磨磨、精密密研磨与与抛光等等。a. 砂砂带磨削削是用粘粘有磨料料的混纺纺布为磨磨具对工工件进行行加工，属属于涂附附磨具磨磨削加工工的范畴畴，有生生产率高高、表面面质量好好、使用用范围广广等特点点。b. 精精密切削削，也称称金刚石石刀具切切削(SSPDTT)，用用高精密密

3、的机床床和单晶晶金刚石石刀具进进行切削削加工，主主要用于于铜、铝铝等不宜宜磨削加加工的软软金属的的精密加加工，如如计算机机用的磁磁鼓、磁磁盘及大大功率激激光用的的金属反反光镜等等，比一一般切削削加工精精度要高高122个等级级。c. 珩珩磨,用用油石砂砂条组成成的珩磨磨头，在在一定压压力下沿沿工件表表面往复复运动，加加工后的的表面粗粗糙度可可达Raa0.440.1m，最最好可到到Ra00.0225m，主主要用来来 加工工铸铁及及钢，不不宜用来来加工硬硬度小、韧韧性好的的有色金金属。d. 精精密研磨磨与抛光光 通过过介于工工件和工工具间的的磨料及及加工液液，工件件及研具具作相互互机械摩摩擦，使使工

4、件达达到所要要求的尺尺寸与精精度的加加工方法法。精密密研磨与与抛光对对于金属属和非金金属工件件都可以以达到其其他加工工方法所所不能达达到的精精度和表表面粗糙糙度，被被研磨表表面的粗粗糙度RRa00.0225m加工工变质层层很小，表表面质量量高，精精密研磨磨的设备备简单，主主要用于于平面、圆圆柱面、齿齿轮齿面面及有密密封要求求的配偶偶件的加加工，也也可用于于量规、量量块、喷喷油嘴、阀阀体与阀阀芯的光光整加工工。e. 抛抛光 是是利用机机械、化化学、电电化学的的方法对对工件表表面进行行的一种种微细加加工，主主要用来来降低工工件表面面粗糙度度，常用用的方法法有：手手工或机机械抛光光、超声声波抛光光、

5、化学学抛光、电电化学抛抛光及电电化学机机械复合合加工等等。手工工或机械械抛光加加工后工工件表面面粗糙度度Ra0.005m，可可用于平平面、柱柱面、曲曲面及模模具型腔腔的抛光光加工。超超声波抛抛光加工工精度 0.00100.022m，表表面粗糙糙度Raa0.11m。化化学抛光光加工的的表面粗粗糙度一一般为RRa00.2m。电电化学抛抛光可提提高到RRa0.100. 08m。超精密密加工就就是在超超精密机机床设备备上，利利用零件件与刀具具之间产产生的具具有严格格约束的的相对运运动 ，对对材料进进行微量量切削，以以获得极极高形状状精度和和表面光光洁度的的加工过过程。当当前的超超精密加加工是指指被加工

6、工零件的的尺寸精精度高于于0.11m，表表面粗糙糙度Raa小于00.0225mm，以及及所用机机床定位位精度的的分辨率率和重复复性高于于0.001mm的加工工技术，亦亦称之为为亚微米米级加工工技术，且且正在向向纳米级级加工技技术发展展。超精密密加工包包括微细细加工、超超微细加加工、光光整加工工、精整整加工等等加工技技术。微微细加工工技术是是指制造造微小尺尺寸零件件的加工工技术；超微细细加工技技术是指指制造超超微小尺尺寸零件件的加工工技术，它它们是针针对集成成电路的的制造要要求而提提出的，由由于尺寸寸微小，其其精度是是用切除除尺寸的的绝对值值来表示示，而不不是用所所加工尺尺寸与尺尺寸误差差的比值

7、值来表示示。光整整加工一一般是指指降低表表面粗糙糙度和提提高表面面层力学学机械性性质的加加工方法法，不着着重于提提高加工工精度，其其典型加加工方法法有珩磨磨、研磨磨、超精精加工及及无屑加加工等。实实际上，这这些加工工方法不不仅能提提高表面面质量，而而且可以以提高加加工精度度。精整整加工是是近年来来提出的的一个新新的名词词术语，它它与光整整加工是是对应的的，是指指既要降降低表面面粗糙度度和提高高表面层层力学机机械性质质，又要要提高加加工精度度(包括括尺寸、形形状、位位置精度度)的加加工方法法。二、精精密加工工的发展展现状与与应用1.精精密成型型加工的的发展现现状与应应用精密铸铸造成形形、精密密模

8、压成成形、塑塑性加工工、薄板板精密成成形技术术在工业业发达国国家受到到高度重重视，并并投入大大量资金金优先发发展。770年代代美国空空军主持持制订“锻锻造工艺艺现代化化计划”，目目的是使使锻造这这一重要要工艺实实现现代代化，更更多地使使用CAADCCAM，使使新锻件件的制造造周期减减少755%。119922年，美美国国防防部提出出了“军军用关键键技术清清单”，其其中包含含了等压压成型工工艺、数数控计算算机控制制旋压、塑塑变和剪剪切成形形机械、超超塑成型型扩散散连接工工艺、液液压延伸伸成型工工艺等精精密塑性性成型工工艺。国国外近年年来还发发展了以以航空航航天产品品为应用用对象的的“大型型模锻件件

9、的锻造造及叶片片精锻工工艺”、“快快速凝固固粉末层层压工艺艺”、“大大型复杂杂结构件件强力旋旋压成型型工艺”、“难难变形材材料超塑塑成形工工艺”、“先先进材料料(如金金属基复复合材料料、陶瓷瓷基复合合材料等等)成形形工艺”等等。我国国的超塑塑成形技技术在航航天航空空及机械械行业也也有应用用，如航航天工业业中的卫卫星部件件、导弹弹和火箭箭气瓶等等，采用用超塑成成形法制制造侦察察卫星的的钦合金金回收舱舱。与此此同时，还还基本上上掌握了了锌、铜铜、铝、钦钦合金的的超塑成成形工艺艺，最小小成形厚厚度可达达033mm，形形状也较较复杂。此此外，国国外已广广泛应用用精密模模压成形形技术制制造武器器。常用用

10、的精密密模压成成形技术术，如闭闭塞式锻锻造、采采用分流流原理的的精密成成形及等等温成形形等国外外已用于于军工生生产。目目前，精精密模压压技术在在我国应应用还较较少，精精度也较较差，国国外精度度为00.0550.10mmm，我我国为0.110.25mmm。2.孔孔加工技技术的发发展现状状及应用用近年来来，汽车车、模具具零部件件、金属属加工大大都采用用以CNNC机床床为中心心的生产产形态，进进行孔加加工时，也也大都采采用加工工中心、CCNC电电加工机机床等先先进设备备，高速速、高精精度钻削削加工已已提上议议事日程程。无论论哪个领领域的孔孔加工，实实现高精精度和高高速化都都是取得得用户订订单的重重要

11、竞争争手段。近年来来，随着着高速铣铣削的出出现，以以铣削刀刀具为中中心的切切削加工工正在进进入高速速高精度度化的加加工时期期。在孔孔加工作作业中，目目前仍大大量使用用高速钢钢麻花钻钻，但各各企业之之间在孔孔加工精精度和加加工效率率方面已已逐渐拉拉开了差差距。高高速切削削钻头的的材料以以陶瓷涂涂层硬质质合金为为主，如如MAZZAK公公司和森森精机制制作所在在加工铸铸铁时，即即采用了了陶瓷涂涂层钻头头。在加加工铝合合金等有有色材料料时，可可采用金金刚石涂涂层硬质质合金钻钻头、DDLC涂涂层硬质质合金钻钻头或带带金刚石石烧结体体刀齿的的钻头。高高速高精精度孔加加工除采采用CNNC切削削方式对对孔进行

12、行精密加加工外，还还可采用用镗削和和铰削等等方式对对孔进行行高精度度加工。随随着加工工中心主主轴的高高速化，已已可采用用镗削工工具对孔孔进行高高速精密密加工。随着IIT相关关产业的的发展，近近年来，光光学和电电子工业业所用装装置的零零部件产产品的需需求急速速增长，这这种增长长刺激了了微细形形状及高高精度加加工技术术的迅速速发展。其其中，微微细孔加加工技术术的开发发应用尤尤其引人人注目。微微细孔加加工早已已在印刷刷电路板板等加工工中加以以应用，包包括钢材材在内的的多种被被加工材材料，均均可用钻钻头进行行小直径径加工。目目前，小小直径孔孔加工中中，利用用钻头切切削的直直径最小小可至50m左右右。小

13、于于500m的的孔则多多采用电电加工来来完成。为为了抑制制毛刺的的产生，许许多研究究者提出出可采用用超声波波振动切切削的方方式。目目前，正正在探索索一种应应用范围围广而且且工艺合合理的超超声波振振动切削削模式，其其中包括括研究机机床的适适应特性性等内容容。随着着这些问问题的顺顺利解决决，今后后可望更更好地实实现直径径更小的的微小深深孔加工工，加工工精度会会更高。3.特特种热处处理的发发展现状状与应用用特种热热处理工工艺是国国防工业业系统关关键制造造技术之之一。真真空热处处理以其其特有的的无污梁梁、无氧氧化、工工件变形形小和适适用范围围广等优优点，广广泛用于于航空航航天结构构件处理理，如齿齿轮结

14、构构件表面面渗碳或或渗氮，导导弹和航航天器各各种合金金或钢件件的去应应力、增增强或增增韧处理理等。典典型结构构如：仪仪表零件件、传动动结构、燃燃料贮箱箱、发动动机壳体体等；美美国热处处理炉约约有500%以上上为真空空热处理理炉。真真空热处处理炉已已广泛采采用了计计算机控控制,目目前已发发展到真真空化学学热处理理和真空空气淬热热处理，包包括高压压真空气气淬、高高流率真真空气淬淬和高压压高流率率真空气气淬技术术等。另另外，激激光热处处理技术术在国外外已广泛泛用于航航空、航航天、电电子、仪仪表等领领域，如如各种复复杂表面面件、微微型构件件、需局局部强化化处理构构件、微微型电子子器件、大大规模集集成电

15、路路的生产产和修补补、精密密光学元元件、精精密测量量元件等等。4.数数控电火火花加工工新工艺艺的应用用a.标标准化夹夹具数控电电火花加加工为保保证极高高的重复复定位精精度且不不降低加加工效率率，采用用快速装装夹的标标准化夹夹具。标标准化夹夹具，是是一种快快速精密密定位的的工艺方方法，它它的使用用大大减减少了数数控电火火花加工工过程中中的装夹夹定位时时间，有有效地提提升了企企业的竞竞争力。目目前有瑞瑞士的EEROWWA和瑞瑞典的33R装置置可实现现快速精精密定位位。b.混混粉加工工方法在放电电加工液液内混入入粉末添添加剂，以以高速获获得光泽泽面的加加工方法法称之为为混粉加加工。该该方法主主要应用

16、用于复杂杂模具型型腔，尤尤其是不不便于进进行抛光光作业的的复杂曲曲面的精精密加工工。可降降低零件件表面粗粗糙度值值，省去去手工抛抛光工序序，提高高零件的的使用性性能（如如寿命、耐耐磨性、耐耐腐蚀性性、脱模模性等）。混混粉加工工技术的的发展，使使精密型型腔模具具镜面加加工成为为现实。c.摇摇动加工工方法电火花花加工复复杂型腔腔时，可可根据被被加工部部位的摇摇动图形形、摇动动量的形形状及精精度的要要求,选选用电极极不断摇摇动的方方法,获获得侧面面与底面面更均匀匀的表面面粗糙度度，更容容易控制制加工尺尺寸,实实现小间间隙放电电条件下下的稳定定加工。d.多多轴联动动加工方方法近年来来，随着着模具工工业

17、和IIT技术术的发展展，多轴轴联动电电火花加加工技术术取得了了长足的的进步。模模具企业业采用多多轴联动动的方法法来提高高加工性性能，如如清角部部位在加加工可行行的情况况下采用用X、YY、Z三三轴联动动的方法法，即斜斜向加工工，避免免了因加加工部位位面积小小而发生生放电不不稳定的的现象。模模具潜伏伏式胶口口的加工工通过对对电极斜斜度装夹夹定位的的设计，也也可进行行斜向多多轴联动动加工。采采用多轴轴回转系系统与多多种直线线运动协协调组合合成多种种复合运运动方式式，可适适应不同同种类工工件的加加工要求求，扩大大数控电电火花加加工的加加工范围围，提高高其在精精密加工工方面的的比较优优势和技技术效益益。

18、5.精精密加工工技术的的发展趋趋势面向221世纪纪的精密密加工技技术的发发展趋势势体现在在以下几几个方面面：a.精精密化精密加加工的核核心主要要体现在在对尺寸寸精度、仿仿形精度度、表面面质量的的要求。当当前精密密电火花花加工的的精度已已有全面面提高，尺尺寸加工工要求可可达22-3m、底底面拐角角R值可可小于00.033mm，最最佳加工工表面粗粗糙度可可低于RRa0.3mm。通过过采用一一系列先先进加工工技术和和工艺方方法，可可达到镜镜面加工工效果且且能够成成功地完完成微型型接插件件、ICC塑封、手手机、CCD盒等等高精密密模具部部位的电电火花加加工。b.智智能化智能化化是而向向21世世纪制造造

19、技术的的发展趋趋势之一一。智能能制造技技术(IIMT)是将人人工智能能融入制制造过程程的各个个环节，通通过模拟拟人类专专家的智智能活动动，取代代或延伸伸制造系系统中的的部分脑脑力劳动动，在制制造过程程中系统统能自动动监测其其运行状状态，在在受到外外界干扰扰或内部部激励能能自动调调整其参参数，以以达到最最佳状态态和具备备自组织织能力。新新型数控控电火花花机床采采用了模模糊控制制技术和和专家系系统智能能控制技技术。模模糊控制制技术是是由计算算机监测测来判定定电火花花加工间间隙的状状态，在在保持稳稳定电弧弧的范围围内自动动选择使使加工效效率达到到最高的的加工条条件；自自动监控控加工过过程，实实现最稳

20、稳定的加加工过程程的控制制技术。采采用人机机对话方方式的专专家系统统，根据据加工的的条件、要要求，合合理输入入设定值值后便能能自动创创建加工工程序，选选用最佳佳加工条条件组合合来进行行加工。在在线自动动监测、调调整加工工过程，实实现加工工过程的的最优化化控制。专专家系统统在检测测加工条条件时，只只要输入入加工形形状、电电极与工工件材质质、加工工位置、目目标粗糙糙度值、电电极缩放放量、摇摇动方式式、锥度度值等指指标，就就可自动动推算并并配置最最佳加工工条件。专专家系统统智能技技术的应应用使机机床操作作更容易易，对操操作人员员的技术术水平要要求更低低。c.自自动化自动化化技术的的成功应应用，不不但

21、提高高了效率率，保证证了产品品质量，还还可以代代替人去去完成危危险场合合的工作作。对于于批量较较大的生生产自动动化，可可通过机机床自动动化改装装、应用用自动机机床、专专用组合合机床、自自动生产产线来完完成。小小批量生生产自动动化可通通过NCC，MCC，CAAM，FFMS，CCIM，IIMS等等来完成成。在末末来的自自动化技技术实施施过程中中，将更更加重视视人在自自动化系系统中的的作用。同同时自动动化开始始面向中中小型企企业，以以经济实实用为出出发点，满满足不断断发展的的产品多多样化和和个性化化需要。数数控电火火花机床床具备的的自动测测量找正正、自动动定位、多多工件的的连续加加工等功功能已较较好

22、地发发挥了它它的自动动化性能能。自动动操作过过程不需需人工干干预，可可以提高高加工精精度、效效率。目目前最先先进的数数控电火火花机床床在配有有电极库库和标准准电极夹夹具的情情况下，只只要在加加工前将将电极装装入刀库库，编制制好加工工程序，整整个电火火花加工工过程便便能日以以赴继地地自动运运转，几几乎无需需人工操操作。机机床的自自动化运运转降低低了操作作人员的的劳动强强度、提提高生产产效率。d.高高效化现代加加工的要要求为数数控电火火花加工工技术提提供了最最佳的加加工模式式，即要要求在保保证加工工精度的的前提下下大幅提提高粗、精精加工效效率。如如手机外外壳、家家电制品品、电器器用品、电电子仪表表

23、等领域域，都要要求减少少辅助时时间(如如编程时时间、电电极与工工件定位位时间等等),同同时又要要降低粗粗糙度,从原来来的Raa0.88m改改进到RRa0.25m，使使放电后后不必再再进行手手工抛光光处理。这这不但缩缩短了加加工时间间且省却却后处理理的麻烦烦，同时时提升了了模具品品质，使使用粉末末加工设设备可达达到要求求。这就就需要增增强机床床的自动动编程功功能，配配置电极极与工件件定位的的夹具、装装置。若若在大工工件的粗粗加工中中选用石石墨电极极材料也也是提高高加工效效率的好好方法。e.信信息化信息、物物质和能能源是制制造系统统的三要要素。随随着计算算机、自自动化与与通讯网网络技术术红制造造系

24、统中中的应用用，信息息的作用用越来越越重要。产产品制造造过程中中的信息息投入，己己成为决决定产品品成本的的主要因因素。制制造过程程的实质质是对制制造过程程中各种种信息资资源的采采集、输输入、加加工和处处理过程程，最终终形成的的产品可可看作是是信息的的物质表表现，因因此可以以把信息息看作是是一种产产业，包包括在制制造之中中。为此此一些企企业开始始利用网网络技术术、计算算机联网网、信息息高速公公路、卫卫星传递递数据等等实现异异地生产产。使生生产分散散网络化化，以适适应211世纪高高柔性生生产的需需要。f.柔柔性化随着科科学技术术的飞速速发展和和人民生生活水平平不断提提高，促促使产品品更新换换代的速

25、速度不断断加快，这这就要求求现代企企业必须须具备一一定的生生产柔性性来满足足市场多多变的需需要。所所谓柔性性，是指指一个制制造系统统适应各各种生产产条件变变化的能能力，它它与系统统方案、人人员和设设备有关关。系统统方案的的柔性是是指加工工不同零零件的自自由度。人人员柔性性是指操操作人员员能保证证加工任任务，完完成数量量和时间间要求的的适应能能力。设设备柔性性是指机机床能在在短期内内适应新新零件的的加工能能力。柔柔性制造造自动化化的形式式很多，如如美国提提出的敏敏捷制造造(AMM)其主主线就是是高柔性性生产。上上海同济济大学张张曙教授授提出的的独立制制造岛(AMII)也是是高柔性性生产模模式。g

26、.集集成化集成的的作用是是将原来来独立运运行的多多个单元元系统集集成一个个能协调调工作的的和功能能更强的的新系统统。集成成不是简简单的连连接，是是经过统统一规划划设计，分分析原单单元系统统的作用用和相互互关系并并进行优优化重组组而实现现的。集集成化的的目的是是实现制制造企业业的功能能集成，功功能集成成要借助助现代管管理技术术、计算算机技术术、自动动化技术术和信息息技术实实现技术术集成，同同时还要要强调人人的集成成，由于于系统中中不可能能没有人人，系统统运行的的效果与与企业经经营思想想、运行行机制、管管理模式式都与人人有关，在在技术上上集成的的同时，还还应强调调管理与与人的集集成。集集成化生生产

27、将成成为面向向21世世纪占主主导的生生产方式式。三、超超精密加加工的技技术应用用与发展展趋势超精密密加工是是指亚微微米级(尺寸误误差为00.30.003?mm，表面面粗糙度度为Raa0.00300.0005?mm)和纳纳米级(精度误误差为00.033?m，表表面粗糙糙度小于于 Raa0.0005?m) 精度的的加工。实实现这些些加工所所采取的的工艺方方法和技技术措施施，则称称为超精精加工技技术。加加之测量量技术、环环境保障障和材料料等问题题，人们们把这种种技术总总称为超超精工程程。超精精密加工工主要包包括三个个领域：超精密密切削加加工如金金刚石刀刀具的超超精密切切削，可可加工各各种镜面面。它已

28、已成功地地解决了了用于激激光核聚聚变系统统和天体体望远镜镜的大型型抛物面面镜的加加工。 超精密密磨削和和研磨加加工如高高密度硬硬磁盘的的涂层表表面加工工和大规规模集成成电路基基片的加加工。超超精密特特种加工工如大规规模集成成电路芯芯片上的的图形是是用电子子束、离离子束刻刻蚀的方方法加工工，线宽宽可达00.1?m。如如用扫描描隧道电电子显微微镜(SSTM)加工，线线宽可达达255nm。a.超超精密切切削超精密密切削以以SPDDT技术术开始，该该技术以以空气轴轴承主轴轴、气动动滑板、高高刚性、高高精度工工具、反反馈控制制和环境境温度控控制为支支撑，可可获得纳纳米级表表面粗糙糙度。多多采用金金刚石刀

29、刀具铣削削，广泛泛用于铜铜的平面面和非球球面光学学元件、有有机玻璃璃、塑料料制品(如照相相机的塑塑料镜片片、隐形形眼镜镜镜片等)、陶瓷瓷及复合合材料的的加工等等。未来来的发展展趋势是是利用镀镀膜技术术来改善善金刚石石刀具在在加工硬硬化钢材材时的磨磨耗。此此外，MMEMSS组件等等微小零零件的加加工需要要微小刀刀具，目目前微小小刀具的的尺寸约约可达5501100 m，但但如果加加工几何何特征在在亚微米米甚至纳纳米级，刀刀具直径径必须再再缩小，其其发展趋趋势是利利用纳米米材料如如纳米碳碳管来制制作超小小刀径的的车刀或或铣刀。b.超超精密磨磨削超精密密磨削是是在一般般精密磨磨削基础础上发展展起来的的

30、一种镜镜面磨削削方法,其关键键技术是是金刚石石砂轮的的修整,使磨粒粒具有微微刃性和和等高性性。超精精密磨削削的加工工对象主主要是脆脆硬的金金属材料料、半导导体材料料、陶瓷瓷、玻璃璃等。磨磨削后,被加工工表面留留下大量量极微细细的磨削削痕迹,残留高高度极小小,加上上微刃的的滑挤、摩摩擦、抛抛光作用用,可获获得高精精度和低低表面粗粗糙度的的加工表表面，当当前超精精密磨削削能加工工出圆度度0.001mm、尺寸寸精度00.1m和表表面粗糙糙度为RRa0.0055m的的圆柱形形零件。c.超超精密研研磨超精密密研磨包包括机械械研磨、化化学机械械研磨、浮浮动研磨磨、弹性性发射加加工以及及磁力研研磨等加加工方

31、法法。超精精密研磨磨的关键键条件是是几乎无无振动的的研磨运运动、精精密的温温度控制制、洁净净的环境境以及细细小而均均匀的研研磨剂。超超精密研研磨加工工出的球球面度达达0.0025m,表表面粗糙糙度Raa达0.0033m。d.超超精密特特种加工工超精密密特种加加工主要要包括激激光束加加工、电电子束加加工、离离子束加加工、微微细电火火花加工工、精细细电解加加工及电电解研磨磨、超声声电解加加工、超超声电解解研磨、超超声电火火花等复复合加工工。激光光、电子子束加工工可实现现打孔、精精密切割割、成形形切割、刻刻蚀、光光刻曝光光、加工工激光防防伪标志志；离子子束加工工可实现现原子、分分子级的的切削加加工；

32、利利用微细细放电加加工可以以实现极极微细的的金属材材料的去去除,可可加工微微细轴、孔孔、窄缝缝平面及及曲面；精细电电解加工工可实现现纳米级级精度,且表面面不会产产生加工工应力,常用于于镜面抛抛光、镜镜面减薄薄以及一一些需要要无应力力加工的的场合。超精密密加工技技术在国国际上处处于领先先地位的的国家有有美国、英英国和日日本。这这些国家家的超精精密加工工技术不不仅总体体成套水水平高，而而且商品品化的程程度也非非常高。美美国500年代未未发展了了金刚石石刀具的的超精密密切削技技术，称称为“SSPDTT技术”（SSinggle Poiint Diaa-moond Turrninng）或或“微英英寸技术

33、术”（11微英寸寸0.0255m），并并发展了了相应的的空气轴轴承主轴轴的超精精密机床床，用于于加工激激光核聚聚变反射射镜、战战术导弹弹及载人人飞船用用球面、非非球面大大型零件件等。英英国克兰兰菲尔德德技术学学院所属属的克兰兰菲尔德德精密工工程研究究所（简简称CUUPE）是是英国超超精密加加工技术术水平的的独特代代表。如如CUPPE生产产的Naanoccenttre（纳纳米加工工中心）既既可进行行超精密密车削，又又带有磨磨头，也也可进行行超精密密磨削，加加工工件件的形状状精度可可达0.1mm，表面面粗糙度度Ra10 nm。日日本对超超精密加加工技术术的研究究相对于于美、英英来说起起步较晚晚，但

34、是是当今世世界上超超精密加加工技术术发展最最快的国国家。北北京机床床研究所所是国内内进行超超精密加加工技术术研究的的主要单单位之一一，研制制出了多多种不同同类型的的超精密密机床、部部件和相相关的高高精度测测试仪器器等，如如精度达达0.0025m的精精密轴承承、JCCS0027超超精密车车床、JJCS0311超精密密铣床、JJCS0355超精密密车床、超超精密车车床数控控系统、复复印机感感光鼓加加工机床床、红外外大功率率激光反反射镜、超超精密振振动位位移测微微仪等，达达到了国国内领先先、国际际先进水水平。哈哈尔滨工工业大学学在金刚刚石超精精密切削削、金刚刚石刀具具晶体定定向和刃刃磨、金金刚石微微粉砂轮轮电解在在线修整整技术等等方面进进行了卓卓有成效效的研究究。清华华大学在在集成电电路超精精密加工工设备、磁磁盘加工工及检测测设备、微微位移工工作台、超超精密砂砂带磨削削和研抛抛、金刚刚石微粉粉砂轮超超精密磨磨削、非非圆截面面超精密密切削等等方面进进行了深深入研究究，并有有相应产产品问世世。我国国超精密密加工技技术与美美日相比比，还有有不小差差距，特特别是在在大型光光学和非非金属材材料的超超精加工工方面，在在超精加加工的效效率和自自动化技技术方面面差距尤尤为明显显。