单晶炉拉棒操作步骤.docx

《单晶炉拉棒操作步骤.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《单晶炉拉棒操作步骤.docx（45页珍藏版）》请在得力文库 - 分享文档赚钱的网站上搜索。

1、单晶炉拉棒的具体操作步骤利用区熔单晶炉进展以下操作：1.清炉、装炉；2.抽空、充气、预热； 3.化料、引晶；4.生长细颈；5.扩肩及氮气的充入；6. 转肩、保持及夹持器释放；7.收尾、停炉1. 清炉、装炉：清洗整个炉室内壁及加热线圈、反射器、晶体夹持器、上轴、下轴，调整加热线圈和反射器的水平及与上轴、下轴的对中；将多晶料夹具固定到多晶料尾部的刻槽处，然后将其安装到上轴末端，进展多晶料的对中；将籽晶装入籽晶夹头上，然后将其安装到下轴顶端；关闭各个炉门，拧紧各紧固螺栓；2. 抽空、充气，预热：翻开真空泵及抽气管道阀门，对炉室进展抽真空，真空度到达所要求值时，关闭抽气管道阀门及真空泵，向炉膛内快速充

2、入氩气；当充气压力到达相对压力 1bar-6bar 时， 停顿快速充气，改用慢速充气，同时翻开排气阀门进展流氩；充气完毕后，对多晶硅棒料进展预热，预热使用石墨预热环，使用电流档，预热设定点 25-40，预热时间为 10-20 分钟；3. 化料、引晶：预热完毕后，进展化料，化料时转入电压档，发生器设定点在 40-60；多晶料熔化后，将籽晶与熔硅进展熔接， 熔接后对熔区进展整形，引晶；4. 生长细颈：引晶完毕后，进展细颈的生长，细颈的直径在 2-6mm， 长度在 30-60mm；5. 扩肩及氮气的充入：细颈生长完毕后，进展扩肩，缓慢削减下速至 32mm/min，同时随着扩肩直径的增大不断削减下转至

3、 8-可编辑修改-4rpm，另外还要缓慢减小上转至 10.5rpm；为了防止高压电离， 在氩气保护气氛中充入肯定比例的氮气，氮气的掺入比例相对于氩气的 0.01-5；6. 转肩、保持及夹持器释放：在扩肩直径与单晶保持直径相差3-20mm 时，扩肩的速度要放慢一些，进展转肩，直至到达所需直径，单晶保持，等径保持直径在75mm-220mm，单晶生长速度1mm/分-5mm/分，在扩肩过程中，当单晶的肩部单晶夹持器的销子的距离小于 2mm 时释放夹持器，将单晶夹住；7. 收尾、停炉：当单晶拉至尾部，开头进展收尾，收尾到单晶的直径到达10-80mm，将熔区拉开，这时使下轴连续向下运动，上轴改向上运动，同

4、时功率保持在 4010，对晶体进展缓慢降温。一种直拉单晶生长装置，属于半导体生长设备技术领域。它包括液压伺服系统调整坩埚杆；在加热掌握单元中，三相平衡变压器、滤波电容器、电抗器和电阻器组合连接而成，与谐波源并联；它还具有变频充气装置。本制造抑制现有的坩埚轴升降驱动装置不能有效的保证生产操控稳定性及准确度不够准确缺乏，抑制现有的加热掌握单元不能消退谐波的缺乏，同时也抑制现有的坩埚轴升降驱动装置不能有效的保证生产操控稳定性及准确度不够准确缺乏。1、目的为正确、标准地操作单晶炉，确保生产作业正常，特制订本标准。2、适用范围适用于 TDR-70A/B 和JRDL-800 型单晶炉的操作。3、单晶炉操作

5、工艺流程作业预备热态检漏取单晶和籽晶石墨件取出冷却真空过滤器清洗真空泵油检查更换石墨件清洗单晶炉室清洗石墨件安装石英坩埚安装硅料安装籽晶安装抽空、检漏充氩气、升功率、熔料二次加料、再熔料引晶、缩颈、放肩、转肩等径生长收尾降功率、停炉冷却4、主要内容A. 作业预备a. 进入单晶车间须穿戴好干净工作服、鞋。b. 开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无误前方能开炉。c. 预备好一次性干净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。d. 预备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。e. 取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车，并处理干净。f.

6、用毛巾将炉体从上到下擦一遍，擦洗时留意不要将全部掌握接线及开关碰断或碰坏，并把炉子四周清扫干净。B. 热态检漏a. 检查上一炉功率关闭时间，在确认单晶冷却时间到达 5.0 小时以上后，关闭氩气总阀门先翻开主、副室流量计调整阀并分别调整到30L/Min，再关闭氩气进气总阀门，主、副室流量计调整阀仍旧保持翻开状态，开头抽高真空，并作时间记录。b. 待炉内压力到达极限要求到达Pa 以下后，先关闭主室抽空球阀而后关闭主真空泵电源进展检漏，并作相应时间记录，假设0.5 小时内抽不到3Pa 以下时， 交有关修理人员处理，在此期间须协作有关修理人员进展装拆炉，并作相关记录。c. 检漏要求 3 分钟以上，漏气

7、率0.34Pa/min 为正常，同时作好漏气率记录，假设漏气率0.34Pa/min 时，交有关修理人员处理，在此期间须协作有关修理人员进展装拆炉，并作相关记录。d. 做好热态检漏时的抽空时间，检漏时间，极限真空，漏气速率等记录。C. 取单晶和籽晶a. 热态检漏后，充氩气至常压，关闭氩气，翻开副室小门在此之前须先拧松副室小门的螺丝。b. 提升单晶至副室提升单晶时留意单晶通过副室炉径处不得有碰撞，从副室小门内确认单晶升至所需高度，假设无特别，翻开液压泵，升起副室。c. 把安全接盘移到炉筒口处晶体下方假设晶体过长，则需连同炉盖一起同步转动，缓慢转动副室至侧面。d. 把取单晶的架子放在副室炉筒正下方，

8、预备接单晶。e. 稳定单晶，移开安全接盘，按下籽晶快降，将单晶降入架子内。f. 确认单晶完全入架子内后，按住籽晶，用钳子将籽晶从细径处钳断，钳断籽晶后，应稳定重锤，防止重锤快速转动，损坏钢丝绳。g. 将籽晶从重锤上取下，放在指定场所，再将重锤升至副室内适当位置。h. 将单晶移到中转区，准时、准确的将单晶编号写在单晶上，并观看晶体的颜色及籽晶是否积渣等，做好相应的记录。待自然冷却后对单晶进展各项参数检测并作好记录。D. 石墨件取出冷却a. 石墨小件取出1) 翻开液压泵电源，按炉盖升按钮上升炉盖。炉盖上升到位后，再旋转炉盖到侧面。2) 戴好耐高温手套按挨次取出导流筒及保温盖放在装石墨件的不锈钢小车

9、上，留意要拿稳并轻放。3) 在整个拆装炉过程中，严禁赤手接触石墨器件，石墨器件安放必需在清洁好的不锈钢小车或平板上。4) 认真观看炉颈石英坩埚埚口是否积渣及石英坩埚是否变形，导流筒，看导流筒是否有开裂、粘硅现象，并准时做好相应的记录。5) 戴好耐高温手套用钳子夹住石英坩埚的上端局部提起，使其松动，将石英坩埚取出。假设石英坩埚能将埚底料全部带出直接放入不锈钢筒；假设不能则将先取出石英坩埚，剩下的埚底料随三瓣埚一并取出后， 再将埚底料放入不锈钢筒内。假设消灭闷炉等意外状况则用专用工具夹住石墨三瓣埚一起取出或钳子像装料一样一块块取出，直至彻底取出。最终将不锈钢筒移到指定地方，并写上单晶编号，自然冷却

10、。冷却后对埚底料进展重量检测并作好记录。6) 戴好耐高温手套依次取出三瓣埚、埚底放在装石墨件的不锈钢小车上，三瓣埚放上后要留意放稳当。7) 用埚杆板手从埚杆中心孔的位置拧下不锈钢螺丝，取出埚杆板手，再将埚杆连不锈钢螺丝放在不锈钢小车上，留意堆放稳当。8) 认真观看石墨三瓣埚，看是否有埚底部漏硅、开裂，埚杆、加热器，是否有损伤、断裂，电极是否有打火现象，排气管是否有堵塞现象， 并准时做好相应的记录。9) 取出的石墨件一并放在不锈钢小车上，在不锈钢小车边挂上石墨件所属炉号牌，移到指定的位置，自然冷却，移动过程中留意石墨件放置，防止坠落。b. 石墨大件的取出一般 5 炉做一次，须作好大清记录1) 取

11、出上保温罩放在不锈钢小车上。2) 取下热电锥，将其及对应的密封及玻璃放到适当的位置以放损坏丧失。3) 翻开油泵开关，按住炉筒升按纽，升起炉筒至限位，旋转炉筒， 并降至适当位置。4) 取出中保温罩放在不锈钢小车上。5) 先取下加热器螺丝盖，再用专用工具取下加热器螺丝后，取下加热器螺丝和加热器放在不锈钢小车上。6) 依次取出电极护套、电极石英环、埚杆护套、炉底上压片、炉底上压片下小石墨碳毡、排气套管、下保温罩、炉底压片、炉底碳毡、石墨电极等放在不锈钢小车上。在不锈钢小车边挂上石墨件炉号牌，移到指定的位置，自然冷却，移动过程中留意石墨件放置，防止坠落。E. 真空过滤器清洗a. 预备好吸尘刷、吸尘管、

12、酒精、纸巾、扳手，带好手套、防尘口罩。b. 先翻开真空过滤器盖充气阀布满气，再关闭充气阀。c. 用扳手翻开真空过滤器盖螺丝，取出过滤网。d. 用吸尘刷认真清洗过滤网及过滤器内的挥发物。e. 将清洗后的过滤网缓慢放进过滤器内。f. 用吸尘刷清洗过滤器盖，用沾酒精的纸巾擦净密封圈，并检查密封圈是否完全就位，防止消灭脱落或出槽影响抽空。g. 盖好过滤器盖并用扳手上好过滤器盖螺丝。F. 真空泵油检查、更换，真空泵清洗每炉检查真空泵油位，每 5炉更换真空泵油，每 15 炉清洗真空泵a. 确认关闭主泵球阀和真空泵，在放油单晶炉上挂检修牌，将废油桶置于真空泵放油口下方，翻开上下腔放油开关，放完油后关闭上下腔

13、放油阀，废油倒入指定油桶。b. 清洗真空泵，用扳手翻开真空泵侧盖，置于适当位置，用毛巾彻底清理真空泵腔、侧盖和下腔滤油网的油污，清洗完毕后，安装好滤网， 安装好侧盖。侧盖在翻开、安装时留神操作，防止损坏侧盖及油封而漏 油。泵腔内制止遗留纸屑或其它异物，不然会造成油路的堵塞导致真空 泵卡死。清理真空泵的废弃物放入指定垃圾桶。c. 翻开真空泵注油口，将真空泵油注入真空泵注油孔，观看真空泵油位至油位观看窗 1/2 位置，停顿注油，翻开泵侧的油路管道阀门向下腔放油，关闭油口。d. 启动真空泵工作 5min 后关闭泵侧的油路管道阀门，观察油位是否处于油位观看窗 1/3-1/2 位置，关闭真空泵，在放油单

14、晶炉上移去检修牌。假设低于下限重复 c、d 操作。G. 石墨件清洗a. 石墨件清洗1) 石墨件必需在指定的清洗室进展清洗，不得在炉子现场打磨石墨器件，预备好清洗用品(吸尘刷、纸巾、吸尘管、研磨布、除硅粒的专有工具、放石墨件的干净小车等)戴好手套、防尘口罩。清洗好清洗台及四周环境。2) 依次用吸尘刷清洗各类石墨件直至确认无污物，沟槽及接口等吸附挥发物较多的部位要用研磨布认真打磨后再吸尘清洗。3) 清洗时留意检查各石墨件是否有损坏及粘硅，有损坏及粘硅等特别要准时报告班长或主任处理，并准时更换。作好相应记录。4) 操作时要轻拿轻放以免造成石墨件的损坏。5) 清理完毕的石墨件放到事先预备好的干净不锈钢

15、小车上。制止叠加，移动不锈钢小车要稳当。6) 清洗后垃圾放入垃圾指定处，清洗好清洗台及四周环境。b. 石墨大件炉内清洗适用于每炉小清，石墨大件未取出时在炉内清洗。1) 用吸尘刷吸净炉筒、保温罩和加热器上沿拆炉时掉落的残渣。2) 用吸尘刷认真用力清洗保温罩，加热器所能触及到的部位。3) 取出加热器螺丝盖，检查电极螺丝是否松动、胶落或粘硅。有松动须拧紧，有胶落或粘硅须更换。再盖好加热器螺丝盖。4) 假设在拆炉时不留神引起热场移动或转动肯定要检查热场是否对称，测温孔要重校正。假设侧温孔有偏离会影响测光信号，导致欧陆表数值过小，无法对炉内温度进展自动掌握无法成晶。5) 用吸尘刷吸净炉底上压片、炉底波浪

16、管、排气孔内的附尘及残渣。6) 用带有酒精的纸巾清理炉壁上部。H. 单晶炉室清洗a. 副室的清洗安装1) 预备好清洗棒、纸巾、酒精。2) 在清洗棒上缠上沾有酒精的纸巾，清洗副室内部至上部，直至确认无污物。3) 快速降下籽晶夹头，用沾有酒精的纸巾认真擦洗重锤及钼夹头。需要时要将重锤摘下用研磨布认真打磨，并清洗干净。摘下重锤时要慎重作业，防止钢丝绳上弹造成钢丝绳出槽。清洗钢丝绳时要检查其接头部位是否老化或损坏，假设有应截去一截钢丝绳，防止在拉晶过程中单晶掉下。清洗好上升重锤到肯定位置，升重锤时，不要使重锤晃动，防止重锤挂住副室下沿，拉断钢丝绳。b. 小副室的清洗1) 翻开副室小门，用沾有酒精的纸巾

17、擦洗小副室内的附着物。挥发物附着较多时，先用吸尘刷处理。2) 用沾有酒精的纸巾认真擦洗副室抽气口、其它小孔及翻板阀四周及转轴。翻板阀的沟槽部位及焊缝处先用纸巾卷成利于操作的外形再认真擦洗。3) 清洗过的小副室将翻板阀盖住阀口，并关闭副室小门。4) 用干净的纸巾将小副室上口盖住。c. 炉盖清洗1) 先用纸巾擦洗内壁(氧化物过多先用吸尘刷清理)。2) 小孔部位、观看窗部位、伊尔根部位、阀口部位等各处的接口及焊接口等不易清洗的部位要用沾有酒精的纸巾认真擦洗，直至确认无污物。3) 硅粉强力附着时或炉盖局部发黑、发白时要用研磨布认真研磨直至炉盖整个内壁消灭光亮无污物。4) 观看窗、伊尔根窗口要认真清理，

18、全部小孔的位置要把纸巾卷成卷以便伸进气孔内部更简洁清理直至没有污物。d. 炉筒清洗1) 先用纸巾擦洗内壁(氧化物过多先用吸尘刷清理)。2) 取光孔部位要用沾有酒精的纸巾认真擦洗，直至确认无污染。3) 硅粉强力附着时或炉筒局部发黑、发白时要用研磨布认真研磨直至炉筒整个内壁消灭光亮无污物。e. 抽气管道清洗。1) 用扳手翻开抽气管道上的封盖螺丝，取下封盖和密封圈。2) 用一头缠钢丝球的长棒伸入管道抽动，另一头用吸尘刷吸除抽气管道内的挥发物。3) 用沾有酒精的纸巾认真擦洗封盖和密封圈，再安装好。f. 拆炉操作工对拆炉过程中觉察的其它状况进展描述并做好相应的记录。I. 石墨件安装的石墨件更换安装使用时

19、需作空炉煅烧，煅烧时间规定见附录 A。a. 清洗后的石墨大件安装，一般5 炉做一次。1) 清理完毕的石墨大件不锈钢小车移到单晶炉旁边，移动过程要稳当。2) 依次装好石墨电极、炉底碳毡、炉底压片、下保温罩，两侧排气管、炉底上压片下小石墨碳毡，炉底上压片、埚杆护套、电极护套、石英电极环。安装电极时检查接触面是否平坦，上下接触面要放一层石墨纸，防止热场打火。3) 将清洗后的加热器每炉要确认厂家编号和已使用炉次，如到达规定正常使用炉次需作更换，规定正常使用炉次见附录 A装好，拧上石墨螺丝，要拧紧，不然要引起热场打火，并盖上石墨螺丝盖。4) 将清洗后的中保温罩装好，卡口接到位。并校正与加热器的间距， 要

20、均匀全都，否则需调整好。5) 炉筒复位，翻开液压泵，升起炉筒至上限，用沾有酒精的纸巾擦洗下炉筒上部的结合部和炉筒下部的结合部，同时转动炉筒到适当位置。6) 按炉筒降，炉筒降到位后，校对测温孔，防止测光信号过小无法温度自控。7) 安装热电锥，将其及对应的密封及玻璃按原次序装好。8) 将清洗后的上保温罩装好，并卡口接到位。b. 清洗后石墨小件安装。1) 用专用工具装好埚杆。肯定要拧紧埚杆螺丝，防止因松动造成液面晃动。2) 依次装好埚底、三瓣埚每炉要确认厂家编号和已使用炉次，如到达规定正常使用炉次需作更换，规定正常使用炉次见附录A。安装时要确认埚杆、埚底、三瓣埚是否吻合，要认真、细心，防止碰坏保温材

21、料或加热器。3) 装好后要翻开埚转旋转一下，以检验三瓣埚与加热器间距是否全都。假设不全都，需准时调整。J. 石英坩埚安装a. 炉筒、炉盖的外侧及周遍，用沾有酒精的纸巾擦洗干净，炉体四周地面认真清扫。b. 从指定的场所将指定石英坩埚取来。带好防尘口罩、装料用的干净手套。c. 检查石英坩埚包装上标识与设备热系统要求是否全都，如全都先翻开石英坩埚外包装进展称重，并在外包装上作好记录，再翻开石英坩埚内包装，翻开后石英坩埚内外表不得有沾污，手拿取局部的手套必需是干净的，对光确认有无裂纹、污物、气泡。假设有特别准时处理并报告班长或主任。d. 在炉内的石墨三瓣埚内装好石英坩埚，留意四周间隙全都。K. 硅料安

22、装a. 取来装料不锈钢车，硅料及母合金，认真核对配料单的各项内容是否与单晶炉号、配料实物和母合金实物全都，假设有特别准时处理并报告班长或主任。b. 更换装料用的手套，装料用的手套必需保持干净，如有沾污或破损应准时更换，如有母合金先放入石英坩埚。再将碎料、小料平铺在埚底。c. 将大块料放置中心，用中型料放于大料四周上方左右予以固定， 间隙中放入小硅料。如装硅粉须每层要压紧，装料时要慎重作业，轻拿轻放，防止碰撞石英坩埚，也不要使料掉在保温罩的缝隙，以免造成打火。d. 装料时留意不要使料探出石英坩埚，否则会在熔料过程中引起硅液流下，损坏石墨件，甚至焖炉。e. 装料完成后翻开埚转旋转一下，确认四周间隙

23、全都，再快速将埚降至下限。停顿旋转。f. 坩埚上部、加热器上部、保温罩上部再用干净吸尘刷吸净浮尘及硅渣。g. 依次装好保温盖、导流筒对外导流筒每炉要确认厂家编号和已使用炉次，如到达规定正常使用炉次需作更换，规定正常使用炉次见附录 A, 拉制 150/165mm 和 195/200mm 晶体的导流筒规格不同，须留意准时更换。安装保温罩、导流时要相互吻合，安装导流筒时要慎重作业， 假设与硅料发生接触时要调整硅料的摆放，防止在化料过程中发生沾硅。h. 装好保温盖、导流筒后，假设料与导流筒有肯定距离，能翻开埚转则翻开埚转，给定埚转2r/min。L. 籽晶安装a. 用沾有酒精的纸巾擦洗炉盖和炉筒接合部的

24、密封圈，再将炉盖旋转至炉筒上部。b. 翻开液压泵电源，按炉盖降按钮降下炉盖。炉盖降到位后确认炉盖是否合好，防止漏气。c. 用沾有酒精的纸巾擦洗副室下部的接合部和炉盖上部的接合部， 转动副室，降下与炉盖合炉。要缓慢转动副室，防止重锤与副室内壁碰撞。d. 从指定的场所将腐蚀好的籽晶取来，用沾有酒精的纸巾认真擦洗籽晶。留意不要直接用手接触籽晶，防止汗渍污染籽晶。e. 下降籽晶夹头到肯定位置，从副室小门中把籽晶装在夹头上，装好钼销。用力向下拉一下籽晶使其结实，稳定好籽晶后按晶快升使其上升至适当位置。f. 用沾有酒精的纸巾擦洗副室小门的密封圈和接合部，关闭副室小门，拧上副室小门螺丝，翻开翻板阀。g. 等

25、全部的部件清洗安装完毕后做好单晶炉四周环境卫生清理工作，并在单晶炉操作记录上做好以下记录：本炉晶体编号，目标电阻率，目标直径。2) 单晶炉清理炉次的记录大清后为炉次 1。3) 真空泵泵油使用炉次的记录换油后为炉次 1。4) 石墨加热器厂家/编号、使用炉次，石墨三瓣埚身厂家/编号、使用炉次，石墨外导流筒厂家/编号、使用炉次的相应记录，假设石墨件上无厂家/编号刻字，请与仓库、品管部门联系更换后为炉次 1，石墨三瓣埚身拼装的需填写每瓣埚身的厂家/编号、使用炉次。5) 石英坩埚生产厂家，编号和坩埚净重，同时保管好石英坩埚标签号，放入指定地方。6) 实际装入的各种原料名称编号、型号电阻率、重量和掺杂剂型

26、号电阻率、预掺量，装料人员签名，投料量等，假设本炉为吊多晶工程或试验工程的需在操作记录上多晶工程或试验工程下注明工程名称。M. 抽空、检漏a. 先用副泵抽空，先开副泵电源，再开副室球阀，翻开时要缓慢进展，将炉内压力抽到 2700Pa 以下，先关闭副室球阀再关闭副泵电源。b. 先翻开真空泵电源，再翻开主室球阀。c. 抽空后炉内压力到达20Pa 时，先翻开氩气进气总阀门，再翻开主、副室流量计调整阀并分别调整到L/Min，过 5min 后，再关闭氩气进气总阀门，主、副室流量计调整阀仍旧保持翻开状态，再次抽空， 使炉内压力5Pa。如不行，可重复几次翻开氩气进气总阀门 5min, 再关闭氩气进气总阀门的

27、过程。d. 待炉内压力5Pa 后，关闭主室球阀而后关闭真空泵电源之后进行测漏，测漏时只需关闭氩气进气总阀门，主、副室流量计调整阀仍旧保持翻开状态主、副室流量计调整阀分别调整到L/Min，要求炉子漏气速率0.67Pa/min，充气翻开炉子，重擦洗密封圈后， 重复a、b、c、d 步进展抽空检漏，假设仍不合格报告修理人员处理。f. 并作好抽空时间，检漏时间，极限真空，漏气速率等记录，。N. 充氩气、升功率、熔料a. 抽空检漏合格后，翻开真空泵电源。b. 再翻开主室球阀。c. 打 开 氩 气 进 气总阀门， 调整副室氩气流量在 2030L/Min ， 使炉内压力稳定在 10001500Pa。d. 翻开

28、加热开关。e. 依据下表通过欧陆表分步增加功率。一般间隔 0.5 小时增加一次功率，每次加温均作相应记录。对欧陆表的使用应留神操作，防止功率快速增大，瞬时造成变压器负荷过大，或对整个加热回路造成瞬间电流过大而打火或损坏。应严格依据加热挨次进展加热，否则可能会温度突然上升造成石英坩埚裂开、漏硅。时间 功率0min 50KW 30min 70KW 60min 100KWf. 熔料过程中时刻留意观看炉内的状况，防止埚转旋转时有塌料碰撞导流筒，有特别准时上报班长并处理，并将观看到的现象做好记录。假设原未翻开埚转，则当塌料后无特别就可给定埚转 2r/min，塌料后要准时上升适当埚位。并进展相应记录。升埚

29、时留意不要使硅液面触到导流筒下沿。升完埚后通过对埚位标尺确实认埚无动作，方可完成，否则会使导流筒粘硅，发生跳硅。g. 料熔完时，降低加热功率至引晶温度 (与上炉对应)。给定埚转到57r/min，并进展相应记录。假设在熔料时觉察料有大量浮渣时，可不等料全熔提前降温进展初次吊渣操作。h. 欧陆表值降至引晶温度对应的数值时切入自动，将埚升至引晶埚位稳定即导流筒至液面距离为15-25mm 左右。引晶埚位也可在上炉装料根底上依据投料量增加/削减量，来确定本次引晶埚位，具体可参照附录B 引晶位置变化参考表。并进展相应记录。O. 二次加料、再熔料a. 如有二次加料需要，进展二次加料，加料时机可分二种状况：第

30、一种是熔料快熔完前加料、再熔料，其次种是吊出肯定量晶体后必需保证埚内熔硅剩料在10KG 以上进展二次加料、再熔料工艺。b. 第一种状况：初次熔料快熔完前1 小时须作加料预备，开头进展初次二次加料操作，整个过程要保持环境的干净。c. 依据操作指令，取来处理干净的加料专用漏斗、二次加料器、单晶架和加料所用原料原料颗粒要掌握在线径小于 10mm，重量不大于20KG和配套掺杂剂。并核对原料名称编号、型号电阻率、重量和配套掺杂剂型号电阻率、掺杂量。d. 检查二次加料器石英管和底部石英块是否有损伤，底部石英块与中间连杆的螺丝是否结实，将二次加料器放入单晶架，在二次加料器上放置好加料专用漏斗。e. 将加料所

31、用原料和配套掺杂剂。用加料专用漏斗参加二次加料器， 加料过程中要缓慢操作，防止损坏二次加料器。加好后取走加料专用漏斗放在规定地方。吸除二次加料器上的硅屑，拧上二次加料器上的不锈钢籽晶，在上口用干净无尘纸盖隹，整个过程防止外界沾污。f. 再次确认炉内熔化状况，认真观看石英坩埚，假设没有变形、沾边等特别状况，关闭单晶炉翻板阀，调整好主炉室氩气和炉压保持原炉 压。翻开副室炉门螺丝，对副炉室充氩，布满后关闭氩气，开副炉室， 左转到位后下降籽晶夹头到肯定位置。g. 将加好料的二次加料器连同单晶架抬到副炉室下，取下原有籽晶， 换上二次加料器的不锈钢籽晶，移去无尘纸，再提升到副室，这过程中留意二次加料器进入

32、副室炉筒时不要碰撞炉筒，特别是二次加料器上部石英环部位，上升过程中假设二次加料器边上和底部有沾污需用无尘纸沾酒精擦干净，进入副炉筒后再右转到位合炉，转动要缓慢，留意不要碰撞炉筒。h. 关闭副室炉门，拧上螺丝，按下节副泵抽空作业。对副炉室进展抽空充氩三次后翻开单晶炉翻板阀，这过程中防止倒吸发生。i. 下降二次加料器，下降时留意二次加料器不要碰撞炉内物品，当石英管上部石英环部位到炉子颈部不锈钢环限位处时略加停顿，观看石英管下口是否在导流筒中心，预备加料。j. 下降二次加料器同时下降埚位到最低限位，关闭埚转，掌握好熔料功率，不得发生硅跳，下降籽晶进展加料，留意加料器底部不要接触到熔硅面。加完后马上提

33、升二次加料器，不得长时间停留在硅液面四周， 并准时调整功率以熔化所加原料，开启埚转。k. 如加料器一次未加完料时，可上下几次升降二次加料器在限位四周，使料加完。l. 假设还是无法加完，则在提升到副室时要先关闭副室氩气，等上升到翻板阀以上时，快速关上翻板阀，再调整主室和副室氩气，取出二次加料器。m. 加料完毕后上升到副炉室后，关闭单晶炉翻板阀，调整好主炉室氩气和炉压。翻开副室炉门螺丝，对副炉室充氩，布满后关闭氩气，开副炉室，取出二次加料器放入单晶架内，移到规定地方。n. 换上原籽晶，关闭副室炉门，拧上螺丝，按下节副泵抽空作业。对副炉室进展抽空充氩三次后翻开单晶炉翻板阀，这过程中防止倒吸发生。o.

34、 其次种是拉晶后加料，方法同上，只是埚内要留10KG 以上硅料， 熔料温度掌握在引晶功率。p. 整个加料过程要认真观看，并在操作记录上认真记录好加料时间、原料名称编号、型号电阻率、重量、配套掺杂剂电阻率、掺杂量、操作人员，发生特别准时报告治理员并记录好。对每个二次加料器石英管和底部石英块要有刻字编号还要单独做好该石英管和石英块的使用次数记录，以防正常使用中因石英管、块老化而消灭破损、断裂，石英管和石英块的正常使用次数掌握在100 次以内。P. 引晶、缩颈、放肩、转肩a. 初次吊渣无渣直接进入 b 步骤1) 温度切入自动后，按籽晶快降，将籽晶降至从主观看窗刚能看到的位置，并翻开晶转电源，给定晶转

35、1012r/min。2) 降籽晶使之与硅渣接触，并使籽晶与硅渣充分粘接。3) 将硅渣提离液面上升到至副室，盖住翻板阀后增大副室氩气流量，翻开主炉室氩气，调整流量到炉压和原来全都。留意翻板阀上下的压差4) 拧松副室小门螺丝，等副炉室炉压表指示到0 时，翻开副室小门，关闭氩气。5) 缓慢调整晶转为 0 r/min，关晶转。6) 用钳子取出籽晶下硅渣部位，取籽晶时要慎重作业，不行用手直接接触籽晶，防止烫伤。等冷却后去称量或测电阻率型号。7) 等籽晶冷却后用纸巾擦洗干净，关闭副室小门。8) 每次吊渣操作后，都要准时做好相应的记录。b. 测电阻率取样预掺杂准确的直接进入 e 步骤1) 温度切入自动后，按

36、籽晶快降，将籽晶降至从主观看窗刚能看到的位置，并翻开晶转电源，给定晶转1012r/min。2) 降籽晶使之与液面接触，通过欧陆表调整温度开头放肩。3) 将肩放至直径 5060mm 提离液面上升到至副室，盖住翻板阀后增大副室氩气，翻开主炉室氩气，调整流量到炉压和原来全都。4) 拧松副室小门螺丝，等副炉室炉压表指示到0 时，翻开副室小门，关闭氩气。5) 缓慢调整晶转为 0 r/min，关晶转。6) 用钳子取出籽晶下放肩部位，取籽晶时要慎重作业，不行用手直接接触籽晶，防止烫伤。等冷却后去测电阻率型号。7) 等籽晶冷却后用纸巾擦洗干净，关闭副室小门。c. 副泵抽空作业1) 合好副室炉筒或关闭副室小门后

37、翻开副泵电源。2) 渐渐翻开后面的副室抽气球阀，直至全开。3) 副室压力表抽至0.05-0.1Mpa 时翻开副室氩气阀，同时关闭副泵球阀。4) 副室压力表充至 0-0.05Mpa 时关闭副室氩气阀，同时翻开副泵球阀。5) 步骤 3 和步骤4 反复操作三次.6) 最终依据压力表指针确认副室与主室气压到达全都，关闭副室球阀，然后关闭副泵电源。7) 缓慢翻开翻板阀。翻开翻板阀时要缓慢操作，防止损坏或挤出阀口密封圈。8) 调整副室氩气阀至正常流量，关闭主室氩气阀。d. 补掺母合金1) 假设电阻率型号测试结果在目标范围时，可进展下一步预热接触引晶；假设有偏离，须补掺母合金，由班长依据电阻率测试结果和投料

38、量计算出补掺母合金的类型和数量，并去取出称量，进展补掺，作好相应记录。2) 补掺过程同 b 测电阻率取样一样，只是放肩放到 100150mm， 尽量放平肩。3) 翻开副炉室门后，不取下籽晶，而将已称量的母合金放在平肩上。放母合金时要慎重作业，不行用手直接接触籽晶，防止烫伤。4) 再按 c 副泵抽空作业后，适当调整熔硅温度，把籽晶和母合金降到液面中，使其熔化掺入。5) 再重复 b 测电阻率取样，c 副泵抽空作业， d 补掺母合金，直到电阻率测试合格进入下一工序。每次掺杂均做好相应记录。e. 预热接触1) 电阻率合格后按籽晶快降，将籽晶降至从主观看窗刚能看到的位置，并翻开晶转电源，给定晶转1012

39、r/min。2) 20 分钟后，按籽晶快降按钮将籽晶降至距硅液面10mm 处预热20 分钟。作好相应记录。必需预热，不然会由于籽晶由低温区到高温区、由固定到液态转变时，温差太大造成籽晶产生位错。3) 籽晶快速上升或下降的位置必需赐予确定，升降操作方可完成，否则会溶掉籽晶甚至重锤，升至上限时会导致重锤掉下进入溶硅内，造成漏硅或整炉料彻底报废，无法再次利用。4) 降籽晶使之与硅液面接触，浸润20 分钟，熔去籽晶较细的局部， 依据接触光圈的外形，确定引晶温度是否适宜，假设适宜开头引晶；假设不适宜，通过欧陆表调整温度20 分钟后开头引晶，温度不宜偏低。f. 引晶1) 翻开晶升电源，计长归 0。作好相应

40、记录。2) 缓慢提升拉速至 1.5mm/min 左右先提拉籽晶约10 mm 后，再提升拉速让拉速保持在1.5mm/min6mm/min 之间，引晶直径掌握在3mm 左右，长度不低于150mm。3) 引晶过程中假设温度不适可适当进展温度的调整，但不宜过大。引晶开头时，应先引 10mm 左右直径较粗的细颈，可作为下次接触使用， 这样避开籽晶的铺张。4) 引晶过程中假设籽晶熔断，则重进展欧陆表温度的调整，籽晶插入液面，重进展引晶。作好相应记录。g. 放肩1) 引晶到达预定的长度后，缓慢降低拉速直至0.30.5mm/min 进行放肩。作好相应记录。2) 放肩务必要放平肩。3) 放肩时要时刻观看肩的外形

41、，放肩过快过慢时应准时进展适当地温度调整。4) 放肩坏时，则重进展温度的调整，插入液面，熔去放肩和引晶部位，再引晶。5) 假设料较脏时，将肩放至直径 150160mm 提离液面上升到副室， 盖住翻板阀后增大副室氩气，翻开主炉室氩气，调整流量到炉压和原来全都。6) 等副室到达常压后，关闭副室氩气阀。翻开副室小门后，取出不成晶品放到适当位置待其冷却后做好标识并称重，放入指定场所。做好吊渣操作相应的记录。h. 转肩1) 将肩放到接近目标直径时，将拉速缓慢提高 24mm/min，进展转肩。作好相应记录。2) 亲热关注单晶的生长速度，调整拉速。3) 待单晶生长到目标直径时缓慢降低拉速同时适当给定埚跟随动

42、。埚跟随动设定可参照附录 C 埚跟比参考表。4) 转肩过后计长清零，观看单晶生长状况待其生长稳定后，调整伊尔根使其压单晶光圈 1/31/2 之间位置。5) 调整好拉速到 1.21.3mm/min 和直径信号为 500 左右时，将计算机切入自动掌握拉晶状态。6) 肯定要留意单晶生长稳定前方可切入自动，否则会造单晶生长失控。Q. 等径生长a. 正常等径掌握1) 计算机拉制 150/165mm 和 195/200mm 晶体的等径参数有所区分，应在等径操作前预以检查确认。2) 计算机切入自动掌握后依据操作记录要求认真做好各项记录。3) 等径过程中应时常观看炉内单晶生长状况，每隔 10 分钟对炉内巡察

43、1 次，确认有无特别，每隔1 小时对炉内晶体测量一次直径。等径过程中每 1 个小时做 1 次拉晶生长记录。4) 依据状况的不同，等径至硅料液面下降到石英坩埚内径变小处时，应当适当增大埚升随动。b. 等径断棱时回熔1) 在 200mm 以内断棱时，进展回熔处理。作好相应记录。2) 将欧陆表设置为 OP 值，晶转设定为5 转，埚转为2 转。3) 功率调整到熔料功率的 90%。4) 观看炉内状态，渐渐下降晶体进展回熔，晶体过长需要熔化一段后，吊起晶体经确认下部已熔化后，再渐渐下降一段晶体进展回熔，直到全部回熔。.5) 假设觉察原料有杂质时，可熔化一局部后按吊渣料方式吊出，冷却称重后做好吊渣操作相应的

44、记录。6) 回熔或吊渣完成后重开头引晶操作。c. 等径断棱时晶体收尾提出1) 晶体等径在 200mm 以上断棱时，且估量本次晶体提前收尾并提出后还能正常等径200mm 或以上时应将单晶提前收尾并提出。收尾过程见Q 收尾工序。2) 提前收尾要求收尾长度在 5080mm。收尾长度计算是从实际晶体断棱处到收小后晶体提出处的距离。3) 收好尾后先下降坩埚液面 30mm，缓慢调整晶转为5r/min，再给定拉速2.0mm/min上升2.5 小时，作好相应记录。而后上升到副室炉筒内翻板阀上，再等1 小时后翻开主室氩气流量，盖住翻板阀。4) 盖住翻板阀后，增大副室氩气流量，到达常压后关闭副室氩气升起副室炉筒并

45、转到左侧面，取出断棱单晶。作好相应记录。5) 对炉筒及小副室进展清洗。6) 进展二次作业，重开头引晶操作。d. 等径断棱时晶体收尾停炉1) 晶体等径在 200mm 以上断棱时，且估量本次晶体提前收尾并提出后已不能再正常等径 200mm 时，应连续吊料到预定长度依据埚内实际剩料多少计算，可参照附录 C 晶体收尾长度参考表进展正常收尾。收尾过程见Q 收尾工序。2) 收好后转入 R 降功率、停炉冷却工序。R. 收尾a. 当晶体长度到达预定长度依据埚内实际剩料多少计算，可参照附录D 晶体收尾长度参考表时，或断棱需要收尾时，退自控，缓慢停顿埚升进展收尾。并做好相应记录。b. 要常常查看收尾状况，对拉速和

46、温度做适当调整。c. 正常收尾长度应为晶体等径直径的大小，收成尖尾后使单晶脱离液面，转入 R 降功率、停炉冷却工序。S. 降功率、停炉冷却a. 收尾完成或收断后，按下埚快降键，下降 30mm 后确认埚快降停顿。b. 晶升拉速调整到 1.0mm/min, 使单晶自动上升。c. 缓慢调整晶转为 5r/min，缓慢调整埚转为2 r/min。d. 温度掌握退出自动，电压降至 20V，作好操作记录。e. 0.5 小时后电压电流降至0，关闭加热电源。作好操作记录。f. 冷却 5 小时后，缓慢调整晶转、埚转为0，关闭晶转、埚转。转入下一轮拉晶。g. 操作人员对整个操作过程做个简要的表达，并做好相应的记录。5、常见故障及处理A. 停水a. 发生停水时，马上检查自动翻开的或翻开停水炉子的事故水进水阀。1) 关闭加热功率。2) 复位掌握柜面板上单晶生长掌握器，使其处于手动状态。3) 降低埚位到熔料埚位。4) 关闭埚转。b. 停水后水压恢复。1) 冷却水恢复供给时，马上检查自动翻开的或关闭事故水阀门， 监控水压，有特别马上报告治理人员。2) 水压恢复时，