[精选]工艺晶体外延生长技术课件12329.pptx

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Test/SortImplantDiffusionEtchPolishPhotoCompleted waferLocations where thin films are deposited Unpatterned waferWafer startThin FilmsWafer fabrication(front-end)第四单元：薄膜技术第8章：晶体外延生长技术第9章：薄膜物理淀积技术第10章：薄膜化学汽相淀积第8章：晶体外延生长技术 为什么需要外延？1）双极分离器件（如：大功率器件的串联电阻问题）2）双极IC（隔离与埋层问题）3）化合物半导体器件及超晶格的异质结问题 4）MOS 集成电路Chapter 14