位移的纳米测量方法微弱振动的纳米量级监视实验.ppt

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1、位移的纳米测量方法微弱振动的纳米量级监视实验 实验目的：实验目的：建立纳米测量的概念，了解其实现方法利用笔束激光干涉法进行纳米量级的位移测量。了解微弱振动监测的原理进行纳米量级的微弱振动监视。实验原理：实验原理：在CMOS上干涉条纹的位移量xf 式中N为条纹移动数，M为物镜10的放大倍数，f为FT透镜8的焦距，2d为测量光束与参考光束的空间间距，S为被测量镜的位移量。实验光路实验光路 实验步骤实验步骤 不扩束不扩束工作台工作台1616的试件夹中装入直角棱镜，工作台的试件夹中装入直角棱镜，工作台1818的试件夹中的试件夹中装入带装入带PZTPZT的直角棱镜，利用工作台测微螺杆和调平调向的直角棱镜

2、，利用工作台测微螺杆和调平调向螺钉调节直角棱镜，使二反射光束成相距螺钉调节直角棱镜，使二反射光束成相距5 58mm8mm的平行光，的平行光，经透镜经透镜2020会聚于焦点会聚于焦点光阑光阑2222滤波（焦面内移动）滤波（焦面内移动）目镜目镜2121成像，微调，使透镜成像，微调，使透镜2020焦点处的光点放大成像在焦点处的光点放大成像在CMOS23CMOS23上上移动移动CMOS23CMOS23，使条纹清晰，锁定，使条纹清晰，锁定23 23 启动电源箱上启动电源箱上PZTPZT工作开关，运行计算机程序，送直流电工作开关，运行计算机程序，送直流电压，使工作台压，使工作台1818中中PZTPZT轴向平移直角棱镜，观察条纹平移轴向平移直角棱镜，观察条纹平移情况情况运行计算机条纹程序，实现定标与计量运行计算机条纹程序，实现定标与计量实验记录序号PZT驱动位移量S移动条纹数（N）Xf12345