气动原理-真空发生器.ppt

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1、1AUO Proprietary&ConfidentialAUO Proprietary&Confidential气动原理气动原理-真空发生器真空发生器唐海东唐海东唐海东唐海东JUN 2008JUN 20082AUO Proprietary&Confidential当供气口的供气压力高于一定值后,喷管射出超声速射流.由于气体的粘性,高速射流卷吸走负压腔体内的气体,使该腔体形成很低的真空度,在真空口处接上真空吸盘,靠真空压力便可吸起吸吊物.真空发生器真空发生器ZH 10D系列系列 气动控制元件（真空发生器（真空发生器ZH系列系列-原理与结构介绍）原理与结构介绍）3AUO Proprietary&

2、Confidential 气动控制元件（真空发生器（真空发生器ZH系列系列-实际生产领域的应用）实际生产领域的应用）目前我们设备当中有所使用到的机台为目前我们设备当中有所使用到的机台为1 1、ADV AUTO FPC TYPE1 ACF PER-BONDINGADV AUTO FPC TYPE1 ACF PER-BONDING站站,TABLE,TABLE真空真空的产生的产生,由真空发生器产生。由真空发生器产生。2 2、所有、所有UVUV机台机台STAGESTAGE上的真空，都是通过真空发生器而产生上的真空，都是通过真空发生器而产生的。的。4AUO Proprietary&Confidentia

3、l真空发生器常见问题的处理真空发生器常见问题的处理一、无真空产生时一、无真空产生时主要有两种问题产生主要有两种问题产生A、查看有无气流通过、查看有无气流通过 B、确认真空发生器的排气口是否被堵塞、确认真空发生器的排气口是否被堵塞二、产生的真空过小二、产生的真空过小大多数情况小是因气流被调整的过小，如大多数情况小是因气流被调整的过小，如UV机台就在真空发生器进气口前端安机台就在真空发生器进气口前端安装了一截流阀，有的机台上此截流阀调节的非常小，导致机台真空几乎是没有，装了一截流阀，有的机台上此截流阀调节的非常小，导致机台真空几乎是没有，当将截流阀调整到最大限度时真空就会产生并且可以达到当将截流阀调整到最大限度时真空就会产生并且可以达到-7080Kpa5AUO Proprietary&ConfidentialAUO Proprietary&Confidential