真空泵抽取真空的方法.docx

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1、真空泵抽取真空的方法真空泵的工作原理可以分为气体捕集泵和气体传输泵两种类型，真空泵常见抽取真空技术可分为机械法和物理法。一、机械法1、变容真空泵，是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的。这种泵分往复式、旋转式两种。2、动量传输泵，它依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。分子真空泵水蒸汽喷射泵、扩散泵属于这一类。二、物理法气体捕集式真空泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵内表面上的真空泵，有以下几种形式：1、吸附泵。依靠具有大表面积的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。2、吸气剂泵。它是一种利用吸气

2、剂以化学方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。3、吸气剂离子泵。它是使被电离的气体通过电场或电磁场的作用吸附在吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下两种形式。a、蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上， 以实现抽气的一种真空泵。b、溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅散出来的吸气材料上以实现抽气目的的一种真空泵。1. 极限真空不高及其消除（1） 油位太低，有较大排气声，可加入清洁的真空泵油。（2） 泵油为可凝性蒸汽所污染，可开气镇净化或更换新油。（3） 泵口外接管道、容器、测试仪表管道、接头

3、等漏气。大漏时，有大排气声，排气口有气排出，应找出漏气部位，进行消除。（4） 进气咀或气镇阀橡胶密封图装配不当，损坏或老化，应调整或更换。（5） 进油咀油孔堵塞，可拔出进油咀，疏通油孔。（6） 真空系统严重污染，包括容器、管道等，应予清洗。（7） 旋片弹簧折断，应予调换。（8） 旋片、泵身或盖磨损，间隙过大，应进行检查，修整或调换。（9） 泵温过高，应改善通风和冷却。如所抽气体温度太高，应予先冷却后再进入泵内。2. 喷油（1） 油位过高，可入出多余油量。（2） 减雾器中有泵油或杂物，应清除。3.漏油放油螺塞，油箱垫片损坏或装配不当，螺钉拧紧； 油标未拧紧，有机玻璃过热变形；泵身部件与支座的连接挚垫片未垫好； 油封装配不当或磨损；应予调整或更换。4.噪声（1） 旋片弹簧折断，可调换弹簧。（2） 有毛刺、脏物或变形，运转发生障碍，应检查修磨清洗。（3） 轴承磨损，零件磨损。应修整或更换。（4） 电机出毛病，应进行检查。5.返油(1) 止回阀未关好，停泵后，油位很快下降，可再开再停，观察变化或拆开检查。(2) 两泵盖内油封装配不当或磨损，可进行调换。(3) 泵盖或泵身平面不平整，可进行修整。(4) 排气阀片损坏，应进行调换。