精密和超精密加工的支撑环境优秀PPT.ppt

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1、超精密加工的支撑环境及限制要求超精密加工的支撑环境及限制要求支撑支撑环境环境控制要求控制要求支撑环境支撑环境控制要求控制要求空气空气环境环境洁洁净净度度、气气流流速速度度、压压力力、有害气体有害气体声音声音环境环境噪噪声声、频频率率、声声压压热环热环境境温度、湿度、表面辐射温度、湿度、表面辐射光环境光环境照照度度、色色彩彩、眩眩光光振动振动环境环境频频率率、加加速速度度、位位移移、微微振动振动静电静电环境环境静静电电量量、电电磁磁波波、放射线放射线 klcfilter 恒恒温温要要求求：20 0.01，实实现现方方法法：大大、小小恒恒温温间间+局部恒温（恒温罩，恒温油喷淋）。局部恒温（恒温罩，

2、恒温油喷淋）。恒恒湿湿要要求求：相相对对湿湿度度35%35%45%45%，波波动动10%10%1%1%，实现方法：接受空气调整系统，实现方法：接受空气调整系统 。净净化化要要求求尘尘埃埃含含量量，实实现现方方法法：接接受受空空气气过过滤滤器器，送入干净空气。送入干净空气。隔隔振振要要求求：消消退退内内部部、隔隔绝绝外外部部振振动动干干扰扰，实实现现方方法：隔振地基，隔振垫层，空气弹簧隔振器法：隔振地基，隔振垫层，空气弹簧隔振器 。精密与超精密加工环境精密与超精密加工环境 klcfilter 第一节第一节 空气环境和热环境空气环境和热环境p 空气环境空气环境p 空气中含尘量空气中含尘量(干净度、

3、空气过滤干净度、空气过滤)p 气流速度气流速度p 气流压力气流压力p 干净度干净度p 指指空空气气中中含含尘尘埃埃量量多多少少的的程程度度，含含灰灰埃埃浓度越低，空气干净度越高。浓度越低，空气干净度越高。klcfilter ft英尺 klcfilter klcfilter 热热 环环 境境p 温度温度(一般一般20)p 温温度度变变更更影影响响设设备备变变形形和和加加工工精精度度，主主要要限限制制温温度度波波动动，要要求求温温度度波波动动越越小小越越好好，即即：恒温。恒温。p 一般规定一般规定20，与地理位置、季节有关。，与地理位置、季节有关。p 加工精度越高，恒温精度限制越严格。加工精度越高

4、，恒温精度限制越严格。klcfilter p 湿度：湿度：(相对湿度相对湿度35%45%)p 指指空空气气中中水水蒸蒸汽汽分分压压力力和和同同温温度度下下饱饱和和水水蒸蒸汽汽分分压压力力之之比比。它它反反映映了了空空气气中中水水蒸蒸汽汽含含量量接接近饱和的程度。近饱和的程度。p 相相对对湿湿度度小小：表表示示干干燥燥，吸吸取取水水蒸蒸汽汽实实力力强强，设备干燥，易燃。设备干燥，易燃。p 相相对对湿湿度度大大：表表示示潮潮湿湿，吸吸取取水水蒸蒸汽汽实实力力弱弱，设备易生锈，吸附尘埃。设备易生锈，吸附尘埃。klcfilter klcfilter 洁洁 净净 室室p 干干净净室室：是是指指将将室室内

5、内空空气气中中尘尘埃埃颗颗粒粒、温温度度、湿湿度度、空空气气压压力力、流流速速和和气气流流分分布布及其形态等限制在确定范围内的房间。及其形态等限制在确定范围内的房间。klcfilter p 实现空气净化的基本要求实现空气净化的基本要求p 发发尘尘量量要要小小。1 不不产产生生灰灰尘尘；2 不不带带入入灰灰尘尘；3 操操作作人人员员穿穿无无尘尘工工作作服服风风淋淋室室干干净室。净室。p 刚好解除灰尘：产生尘埃，刚好解除。刚好解除灰尘：产生尘埃，刚好解除。p 供供应应干干净净的的空空气气空空气气过过滤滤器器，限限制制气气流流速度。速度。p 正正压压限限制制：为为防防止止外外部部空空气气进进入入，室

6、室内内须须保保持确定的压力，使室内送入风量大于排出风量。持确定的压力，使室内送入风量大于排出风量。klcfilter p 干净室温度和湿度限制干净室温度和湿度限制p 加加工工过过程程产产生生的的热热和和操操作作人人员员人人体体散散发发的的热热是是影响恒温环境的主要内部因素。影响恒温环境的主要内部因素。p 干干净净室室外外的的温温度度与与室室内内温温度度不不一一样样而而产产生生的的热热传递是影响恒温环境的外部因素。传递是影响恒温环境的外部因素。p 干干净净室室的的恒恒温温顺顺恒恒湿湿限限制制要要随随时时进进行行。解解决决方方法法：空空气气调调整整系系统统(包包括括：加加热热设设备备、冷冷却却设设

7、备备、加湿设备、减湿设备等加湿设备、减湿设备等)。klcfilter p 分层次的局部环境分层次的局部环境 一般环境一般环境精密精密环境环境超精密环境超精密环境一般一般环境环境精密精密环境环境超精密超精密环境环境 klcfilter 其次节其次节 振动环境振动环境p 振动干扰的影响振动干扰的影响p 振动影响加工精度和加工表面质量。振动影响加工精度和加工表面质量。p 超超精精密密加加工工精精度度不不仅仅与与振振动动振振幅幅有有关关，还还与与振振动频率有关。动频率有关。p 因因此此，必必需需先先分分析析振振源源及及其其可可能能的的传传播播途途径径，实实行行预预防防与与隔隔离离措措施施，以以消消退退

8、振振动动的的影影响响，保保证证加工精度。加工精度。klcfilter p 振动的来源振动的来源p1 室内振动室内振动p 人员行走产生的振动人员行走产生的振动p 设备振动产生的振动设备振动产生的振动p 物料搬运产生的振动物料搬运产生的振动p 协助设施产生的振动协助设施产生的振动 klcfilter 2 室外振动室外振动 交通运输产生的振动交通运输产生的振动 工厂生产产生的振动工厂生产产生的振动 建设施工产生的振动建设施工产生的振动 协助设备产生的振动协助设备产生的振动3 自然界振动：大风等自然界振动：大风等 klcfilter 振动干扰的消退振动干扰的消退p 内部振动的消退内部振动的消退防振防振

9、p 提提高高设设备备回回转转零零件件的的动动平平衡衡精精度度，如如：主主轴轴、砂轮等砂轮等p 削削减减设设备备传传动动系系统统的的振振动动，如如：轴轴承承、传传动动带带等等p 减小液压系统的干扰减小液压系统的干扰p 提高系统的抗振性能，如：提高系统刚度等提高系统的抗振性能，如：提高系统刚度等 klcfilter 振动干扰的消退振动干扰的消退p 外部振动的消退外部振动的消退隔振隔振p 远离振动源远离振动源p 隔振空气弹簧隔振空气弹簧p 隔振地基、安放隔振元件等隔振地基、安放隔振元件等 klcfilter 隔隔 振振 元元 器器 件件p 隔隔振振垫垫：软软橡橡皮皮、海海绵绵橡橡胶胶、自自然然软软木

10、木、毛毛毡毡、玻璃纤维、泡沫塑料等玻璃纤维、泡沫塑料等p 隔振器隔振器p 弹簧隔振器弹簧隔振器p 橡胶隔振器橡胶隔振器p 弹簧与橡胶组合隔振器弹簧与橡胶组合隔振器p 空气弹簧隔振器空气弹簧隔振器 klcfilter 第三节第三节 噪噪 声声 环环 境境p 噪声及其影响噪声及其影响p 使人苦恼和对工作有防碍的声音，是使人苦恼和对工作有防碍的声音，是各种声音杂乱无章的组合而成的。各种声音杂乱无章的组合而成的。p 70dB以下噪声对工作效率影响较小。以下噪声对工作效率影响较小。p 65dB以下噪声能保证一般通话。以下噪声能保证一般通话。klcfilter klcfilter 噪噪 声声 源源p 空气

11、噪声：风机、送、排风装置、空气压缩机空气噪声：风机、送、排风装置、空气压缩机p 机械噪声：机械加工设备及其协助设备机械噪声：机械加工设备及其协助设备p 电磁噪声：电动机、机电器、电磁铁等电磁噪声：电动机、机电器、电磁铁等 klcfilter 噪噪 声声 控控 制制p 隔声隔声 把噪声源单独放置于隔声间或隔声罩内。把噪声源单独放置于隔声间或隔声罩内。实际隔声结构有：隔声墙壁、门、窗、顶棚等实际隔声结构有：隔声墙壁、门、窗、顶棚等 klcfilter 噪噪 声声 控控 制制p 吸声吸声p 利用吸声材料限制噪声的大小利用吸声材料限制噪声的大小p 常常用用吸吸声声材材料料有有：超超细细玻玻璃璃棉棉、聚聚氨氨脂脂、泡泡沫塑料、微孔吸声砖、木丝板等沫塑料、微孔吸声砖、木丝板等 klcfilter 噪噪 声声 控控 制制p 消声消声p 用消声器来限制噪声的传播。用消声器来限制噪声的传播。klcfilter 第四节第四节 其其 它它 环环 境境p 光环境光环境：照度、炫光：照度、炫光p 静电环境静电环境：klcfilter 第五节第五节 超精密加工的环境设施超精密加工的环境设施p 恒恒温温室室、恒恒温温恒恒湿湿室室、干干净净室室、恒恒温温干干净净室室、恒恒温防振干净室等。温防振干净室等。klcfilter