高纯氖气的五大制配法.docx

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1、谱源气体：高纯气气的五大制配法高纯敏气是指其纯度不低于99.999%,即杂质含量小于10x10”（体积分数）的高纯敏气。工业上提供的出气体其杂质总量一般都小于l（X）xl（）6 （体积分数）。因此为得到高纯笈气， 必须将工业纯就气通过进一步纯化，使杂质脱除到10x10-6 （体积分数）以下。工业纯岚主要杂质除家以外，一般都含有微量氮、氧、氢、水分、一氧化碳、二氧化碳和燃 类等杂质，它们可用以下方法脱除。1：脱除氮脱除氮时，有时伴随着氧的脱除，主要用金属吸气剂经行吸收。常用的金属吸气剂有钙、钛、 铀和错铝16等。用金属钙做吸气剂时，同时吸收氮和氧，反响温度650680度，进I气体的杂质浓度相当于

2、 40x 10-6 （体积分数）空气时，出口杂质小于50x 10-6 （体积分数）用新鲜钙时可降至20x106 体积分数】。金属钙的利用率为50%60%。用海绵状的金属钛或错-铝-16做吸气剂同时吸收氧、氮、氢、水蒸气、一氧化碳、二氧化碳 和烧类等杂质。2：脱除氧脱除氧一般用化学法。常用的脱氧剂有氧化锦或Ag-X分子筛等。氧化镒脱氧剂吸收氧，总 反响式为：6MnO+3O2-*6MnO2在反响温度为150度，空速为1000h-l,可将体积分数为0.1%的氟脱除到2x106在常温下用Ag-X分子筛脱氧。杂质氧含量可由44x10-6降至3x100。氧化钵与Ag-X分子筛 脱氧剂使用后均需用氢气还原，

3、还原后的脱氧剂可重新使用。3:脱氧氢脱除氢用氧化铜或Pd-X分子筛。氧化铜脱氢，反响温度为350400度，空速为200鼠气体 中的氢的体积分数可由1%降至1x106氧化铜吸收氢后需用含氧2%5%的惰性气体再生，以 便重新使用。用Pd-X分子筛时，在常温下可将冢中微量的氢和一氧化碳的体积分数由11x10-6脱除到 0.1x10 64：含碳化合物的脱除含碳化合物主要是碳氧化合物和碳氢化合物，主要为一氧化碳、二氧化碳和甲烷等。如前所 述，采用金属吸气剂（如格-铝-16）可以在脱氮的同时，一次性脱除一氧化碳、二氧化碳和 烧类等杂质，脱除深度均可以到达1x104体积分数。5：低温吸附由于岚相当于氧、氮、一氧化碳、二氧化碳和甲烷等杂质组成而言，沸点很低，因而，可采 用低温吸附法一次性除去所有这些杂质。吸附温度为液氮温度，吸附剂可选用细孔硅胶，氧 化铝或分子筛，脱除深度亦可到达1X104体积分数