JRW设备介绍刘志兵.pptx

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1、一、JRW简介二、JRW Layout三、Piping Layout四、The Outside第1页/共12页JRW system：Jas Rework，即光刻胶重工装置，其目的是剥离需要重工的JAS有机绝缘膜装置。先通过I-UV单元对有机绝缘膜进行曝光，再通过显影单元对曝光后的有机绝缘膜进行显影，最后再进过洗净单元的清洗，从而达到去除JAS有机绝缘膜的目的。1、JRW简介简介 Panel Flow:LD Conv.I-UV DEV UD System Tact:180 sec第2页/共12页2、JRW LayoutLD/ULDSub ArmRotary StageI-UVDeveloper

2、UnitRoller Conveyor Unit剥离基板上曝光后的Jas有机绝缘膜对Jas有机绝缘膜进行曝光17105mm第3页/共12页3、Piping Layout第4页/共12页第5页/共12页4、The OutsideLD/ULDSub ArmRotary StageI-UVDeveloper UnitRoller Conveyor UnitIn stage unitI-UV unitDeveloperDeveloper RinseOut of stage第6页/共12页In stage Unit:3 pin*5=15 pin31 roller.Roller Conveyor Unit

3、：主要包括3段，每段都有38 roller.I-UV Unit:5 pin*5=25 pin第7页/共12页Rotary StageSub Arm：up-hand&down-hand，各4 个arm，各12真空吸盘。Stage Unit:3 pin*5=15 pin26 roller，1个静电消除器；第8页/共12页Dev.1:3钢+32白roller，2个Nozzle，每个Nozzle上均匀分布5个显影液（0.5%）管路和6个CDA管路。Dev.2:39白roller；Dev.3：16白+2钢+12白+4钢=34 roller；第9页/共12页Rinse 1&High Press RinseRinse 2Air Knife：11 roller;Out of stage:3*5=15 pin；29 roller，1个静电消除器。第10页/共12页第11页/共12页感谢您的观看！第12页/共12页