固体激光器原理.ppt

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1、固体激光器原理及应用固体激光器原理及应用n n自第一台红宝石激光器问世，固体激光器就一自第一台红宝石激光器问世，固体激光器就一直占据了激光器发展的主导地位，特别是在直占据了激光器发展的主导地位，特别是在2020世纪世纪8080年代出现的半导体激光器以及在此基础年代出现的半导体激光器以及在此基础上出现的全固化固体激光器更因为体积小、重上出现的全固化固体激光器更因为体积小、重量轻、效率高、性能稳定、可靠性好和寿命长量轻、效率高、性能稳定、可靠性好和寿命长等优点，逐渐成为光电行业中最具发展前途的等优点，逐渐成为光电行业中最具发展前途的领域。目前世界范围内销售的商品固体激光器领域。目前世界范围内销售的

2、商品固体激光器已有已有500500余种，但从余种，但从19981998年开始，固体激光器年开始，固体激光器中的中的Nd:YAGNd:YAG激光器的市场占有率和销售额已激光器的市场占有率和销售额已升为第一位。升为第一位。n n传统的固体传统的固体YAGYAG激光器，通常由掺钕钇铝石榴激光器，通常由掺钕钇铝石榴石晶体棒、泵浦灯、聚光腔、光学谐振腔、电石晶体棒、泵浦灯、聚光腔、光学谐振腔、电源及制冷系统组成，其转换效率为源及制冷系统组成，其转换效率为2%2%到到3%3%。另一方面整个激光器需要庞大的制冷系统，体另一方面整个激光器需要庞大的制冷系统，体积很大。泵浦灯的寿命约为积很大。泵浦灯的寿命约为3

3、00300到到10001000小时，小时，操作人员需花很多时间频繁的换灯，中断系统操作人员需花很多时间频繁的换灯，中断系统工作，使自动化生产线的效率大大降低工作，使自动化生产线的效率大大降低，间接间接提高了生产成本。因此技术上没有大的发展空提高了生产成本。因此技术上没有大的发展空间。现在国际上的激光厂家已经淘汰了中小功间。现在国际上的激光厂家已经淘汰了中小功率灯泵浦固体激光器的生产和研发，将来随着率灯泵浦固体激光器的生产和研发，将来随着大功率的二极管、光纤激光器的研发和应用，大功率的二极管、光纤激光器的研发和应用，成本的下降，灯泵浦固体激光器将会逐步淘汰。成本的下降，灯泵浦固体激光器将会逐步淘

4、汰。这是固体激光器的发展方向。这是固体激光器的发展方向。一、三类固体激光器的特性比较一、三类固体激光器的特性比较特性特性光纤激光器光纤激光器二极管泵浦固体激光器二极管泵浦固体激光器灯泵浦固体激光器灯泵浦固体激光器工作方式连续或脉冲连续或脉冲连续或脉冲辐射波长（纳米）532,1070,1800-2000532,10601060输出功率/能量高达2KW/高达1mJ高达2KW/高达60mJ高达5KW/高100J电光转换效率高达20%高达20%低于6%光束质量基模光斑细基模或多阶模光斑较细基模或多阶模光斑粗功率/能量稳定性 1.5%3%3%冷却方式风冷风冷或水冷水冷可靠性最佳较好较差维护周期无需维护无

5、需维护300 小时使用寿命大于10 万小时大于1.5 万小时大于3百小时系统体积小巧紧凑较小较大光纤传输单模光纤多模光纤多模光纤设备成本较高较高较低运行成本较低一般较高技术最新新旧n n与传统灯泵浦固体激光器比较，全固化固体激与传统灯泵浦固体激光器比较，全固化固体激光器具有以下优点：光器具有以下优点：n n1)1)转换效率高：由于半导体激光的发射波长与转换效率高：由于半导体激光的发射波长与固体激光工作物质的吸收峰相吻合，加之泵浦固体激光工作物质的吸收峰相吻合，加之泵浦光模式可以很好地与激光振荡模式相匹配，从光模式可以很好地与激光振荡模式相匹配，从而光光转换效率很高，已达而光光转换效率很高，已达

6、5050以上以上,光纤达光纤达80%80%，整机效率也可以与二氧化碳激光器相当，整机效率也可以与二氧化碳激光器相当，比灯泵固体激光器高出一个量级，因而全固化比灯泵固体激光器高出一个量级，因而全固化固体激光器可省去笨重的水冷系统，体积小，固体激光器可省去笨重的水冷系统，体积小，重量轻，结构紧凑，易于系统集成，性能价格重量轻，结构紧凑，易于系统集成，性能价格比高。比高。n n2)2)性能可靠、寿命长：激光二极管的寿命大大性能可靠、寿命长：激光二极管的寿命大大长于闪光灯，达长于闪光灯，达1500015000小时以上，而闪光灯的小时以上，而闪光灯的寿命只有寿命只有300-1000 300-1000 小

7、时。激光二极管的泵浦小时。激光二极管的泵浦能量稳定性好，比闪光灯泵浦优一个数量级，能量稳定性好，比闪光灯泵浦优一个数量级，性能可靠，可制成全固化器件。运行寿命长，性能可靠，可制成全固化器件。运行寿命长，成为至今为止唯一无需维护的激光器，尤其适成为至今为止唯一无需维护的激光器，尤其适用于大规模生产线。用于大规模生产线。n n3)3)输出光束质量好：由于二极管泵浦激光的高输出光束质量好：由于二极管泵浦激光的高转换效率，减少了激光工作物质的热透镜效应，转换效率，减少了激光工作物质的热透镜效应，大大改善了激光器的输出光束质量，激光光束大大改善了激光器的输出光束质量，激光光束质量已接近理论极限质量已接近

8、理论极限M2=1M2=1。二、全固化固体激光器结构及特点二、全固化固体激光器结构及特点n n全固化固体激光器可分为两类：二极管泵浦固体激光器和光纤激光器。现将其结构和特点分别叙述如下。1.二极管泵浦固体激光器n n激光二极管泵浦固体激光器的种类很多，可以激光二极管泵浦固体激光器的种类很多，可以是连续的、脉冲的、调是连续的、脉冲的、调Q Q 的，以及加倍频混频的，以及加倍频混频等非线性转换的。工作物质的形状有圆柱和板等非线性转换的。工作物质的形状有圆柱和板条状的。而泵浦的耦合方式又分为直接端面泵条状的。而泵浦的耦合方式又分为直接端面泵浦、光纤耦合端面泵浦和侧面泵浦三种结构。浦、光纤耦合端面泵浦和

9、侧面泵浦三种结构。泵浦所用的激光二极管或激光二极管阵列出射泵浦所用的激光二极管或激光二极管阵列出射的泵浦光，经由会聚光学系统将泵浦光耦合到的泵浦光，经由会聚光学系统将泵浦光耦合到晶体棒上，在晶体棒的泵浦耦合面上为减少耦晶体棒上，在晶体棒的泵浦耦合面上为减少耦合损失而镀有对激光二极管波长的增透膜。同合损失而镀有对激光二极管波长的增透膜。同时，该端面也是固体激光器的谐振腔的全反端，时，该端面也是固体激光器的谐振腔的全反端，因而端面的膜也是输出激光的谐振腔，起振后因而端面的膜也是输出激光的谐振腔，起振后产生的激光束由输出镜耦合输出。产生的激光束由输出镜耦合输出。二极管直接和光纤耦合端面泵浦固体激光器

10、n n与灯泵浦和侧面泵浦两种泵浦方式相对比，端与灯泵浦和侧面泵浦两种泵浦方式相对比，端面泵浦的效率最高。其原因为：在泵浦激光模面泵浦的效率最高。其原因为：在泵浦激光模式不太差的情况下，泵浦光都能由会聚光学系式不太差的情况下，泵浦光都能由会聚光学系统耦合到工作物质中，耦合损失较少；另一方统耦合到工作物质中，耦合损失较少；另一方面，泵浦光的模式也比较好，而产生的振荡光面，泵浦光的模式也比较好，而产生的振荡光的模式与泵浦光模式有密切关系，匹配的效果的模式与泵浦光模式有密切关系，匹配的效果好，因此，工作物质用泵浦光的利用率也相对好，因此，工作物质用泵浦光的利用率也相对高一些。高一些。直接端面泵浦激光器

11、n n然而，端面泵浦虽然效率高，但固体激光的输然而，端面泵浦虽然效率高，但固体激光的输出功率受端面限制，因为端面较小时只能采用出功率受端面限制，因为端面较小时只能采用单元的激光二极管，这就限制了泵浦光的最大单元的激光二极管，这就限制了泵浦光的最大功率。如果采用功率较大的激光二极管阵列作功率。如果采用功率较大的激光二极管阵列作泵浦源，则由于阵列型二极管输出的泵浦光模泵浦源，则由于阵列型二极管输出的泵浦光模式不好，因而不易将泵浦光有效地耦合到工作式不好，因而不易将泵浦光有效地耦合到工作物质中，实际上降低了效率。而且由于泵浦光物质中，实际上降低了效率。而且由于泵浦光的模式较为复杂，泵浦后输出的的模式

12、较为复杂，泵浦后输出的1.061.06m m 激光激光的光束质量也不易保证。的光束质量也不易保证。n n针对这一弱点，人们又进一步发展了光纤耦合针对这一弱点，人们又进一步发展了光纤耦合的端面泵浦和侧面泵浦方式。端面泵浦激光器的端面泵浦和侧面泵浦方式。端面泵浦激光器由激光二极管、两个聚焦系统、耦合光纤、工由激光二极管、两个聚焦系统、耦合光纤、工作物质和输出反射镜组成。与直接端面泵浦不作物质和输出反射镜组成。与直接端面泵浦不同，这种结构首先把激光二极管发射的光束质同，这种结构首先把激光二极管发射的光束质量很差的激光耦合到光纤中，经过一段光纤传量很差的激光耦合到光纤中，经过一段光纤传输后，从光纤中出

13、射的光束变成发散角较小的、输后，从光纤中出射的光束变成发散角较小的、圆对称的、中间部分光强最大的泵浦光束。用圆对称的、中间部分光强最大的泵浦光束。用这一输出的泵浦光去泵浦工作物质，由于它和这一输出的泵浦光去泵浦工作物质，由于它和振荡激光在空间上匹配得很好，因此泵浦效率振荡激光在空间上匹配得很好，因此泵浦效率很高。由于激光二极管或二极管阵列与光纤间很高。由于激光二极管或二极管阵列与光纤间的耦合较与工作物质的耦合容易，从而降低了的耦合较与工作物质的耦合容易，从而降低了对器件调整的要求。而且最重要的是这种耦合对器件调整的要求。而且最重要的是这种耦合方式能使固体激光器输出模式好、效率高。方式能使固体激

14、光器输出模式好、效率高。光纤耦合端面泵浦激光器n n侧面泵浦板条固体激光器要得到更大功率的激光输出，侧面泵浦板条固体激光器要得到更大功率的激光输出，就必然要采用泵浦功率较大的阵列型激光二极管，由就必然要采用泵浦功率较大的阵列型激光二极管，由于阵列二极管的发光面较大，不可能利用端面泵浦，于阵列二极管的发光面较大，不可能利用端面泵浦，因此，大多采用侧泵浦方式。这种结构的特点是，在因此，大多采用侧泵浦方式。这种结构的特点是，在工作板条的一侧用激光二极管阵列，另一侧是全反器，工作板条的一侧用激光二极管阵列，另一侧是全反器，使泵浦光尽量集中到工作物质中。板条状激光器结构使泵浦光尽量集中到工作物质中。板条

15、状激光器结构的特点是，激光通过工作物质介质全内反射传输，这的特点是，激光通过工作物质介质全内反射传输，这样，激光经过工作物质的长度就大于工作物质的外形样，激光经过工作物质的长度就大于工作物质的外形长度，即提供了更长的有效长度。在有效长度内，工长度，即提供了更长的有效长度。在有效长度内，工作物质皆可直接吸收到由激光二极管发射的泵浦光，作物质皆可直接吸收到由激光二极管发射的泵浦光，从而较易获得大功率输出，研究开发的重点就在于发从而较易获得大功率输出，研究开发的重点就在于发展大功率的端面泵浦固体激光器，从激光二极管发出展大功率的端面泵浦固体激光器，从激光二极管发出的光束经光学耦合从侧面泵浦激光晶体，

16、从而获得单的光束经光学耦合从侧面泵浦激光晶体，从而获得单级输出的激光；并可以根据所要得到的输出功率要求级输出的激光；并可以根据所要得到的输出功率要求而改变激光工作物质的长度而改变激光二极管泵浦的而改变激光工作物质的长度而改变激光二极管泵浦的效率和功率。效率和功率。二极管侧面泵浦固体激光器n n半导体激光二极管的基本结构为：垂直于PN结面的一对平行平面构成法布里珀罗谐振腔，它们可以是半导体晶体的解理面，也可以是经过抛光的平面。其余两侧面则相对粗糙，用以消除主方向外其它方向的激光作用。半导体激光二极管的基本结构我公司生产二极管激光器原理2.光纤激光器n n以稀土元素为例，将其离子掺杂于以以稀土元素

17、为例，将其离子掺杂于以SiO2SiO2为基质的光为基质的光纤芯子中，光纤就被纤芯子中，光纤就被“激活激活”，变成有源介质，称有，变成有源介质，称有源光纤源光纤(Activefiber)Activefiber)。当以适当的波长泵浦时，就当以适当的波长泵浦时，就会在确定的波长上产生激光和激光放大。例如，许多会在确定的波长上产生激光和激光放大。例如，许多稀土离子，如元素稀土离子，如元素ErEr，NdNd，SmSm，HoHo，TmTm和和YbYb等都可等都可作为掺杂物制成光纤，并做成掺杂光纤放大器作为掺杂物制成光纤，并做成掺杂光纤放大器(XDFA)XDFA)和光纤激光器和光纤激光器(XDFL)XDFL

18、)，它们能工作在从可见到中红外它们能工作在从可见到中红外的波长范围。其中以掺的波长范围。其中以掺ErEr石英光纤最有意义，因为它石英光纤最有意义，因为它的激光波长恰好处于光纤通信最佳的激光波长恰好处于光纤通信最佳“窗口窗口”。这种。这种EDFAEDFA和和EDFLEDFL在促进现代光纤通信等高技术的迅速发在促进现代光纤通信等高技术的迅速发展中发挥了重大的作用。一种低掺展中发挥了重大的作用。一种低掺ErEr、因而也是低增因而也是低增益光纤，特别是低掺益光纤，特别是低掺ErEr的的DDFDDF是用于孤子传输、压缩是用于孤子传输、压缩和光参量技术的理想波导，因为它既具有较大的非线和光参量技术的理想波

19、导，因为它既具有较大的非线性又有可能恰当地匹配损耗和色散，有人称之为透明性又有可能恰当地匹配损耗和色散，有人称之为透明光纤。一种借元素光纤。一种借元素YbYb起敏化作用的起敏化作用的ErEr、YbYb双掺光纤可双掺光纤可以把泵浦波长下移到以把泵浦波长下移到80080010601060nmnm。近年来，人们还选近年来，人们还选择不同的掺杂质与掺杂量以及不同的基质材料，以获择不同的掺杂质与掺杂量以及不同的基质材料，以获得更大范围应用和更高功率输出的激光，并且已经获得更大范围应用和更高功率输出的激光，并且已经获得了一系列可喜的进展。得了一系列可喜的进展。n n光纤激光器属光波导激光器,以掺稀土元素（

20、Nd，Yb或Er）的光纤为工作物质，并用二极管激光作为泵浦源。可脉冲和连续运转，其性能已明显优于二极管泵浦固体激光器，不仅在光纤通讯领域得到广泛应用，而且由于大功率光纤激光器的成功开发，正向激光打标、焊接、切割等工业激光应用领域迅速发展。谐振腔n n制备合适的光学谐振腔是高功率光纤激光器实用化的又一项关键技术。采用光纤光栅做谐振腔，光纤光栅是透过紫外诱导在光纤纤芯形成折射率周期性变化的低损耗器件,具有非常好的波长选择特性。光纤光栅的采用，简化了激光器的结构窄化了线宽，同时提高了激光器的信噪比和可靠性，进而提高了光束质量。n n光纤激光器基本结构和固体激光器的结构基本相同，由泵浦源（激光二极管和

21、必要的光学耦合系统）、增益介质（掺稀土元素的增益光纤）、谐振腔（可为反射镜、光纤光栅或光纤环）等组成。按泵浦光的入射方式，光纤激光器可分为：端面泵浦光纤激光器、双包层光纤激光器和任意形状光纤激光器。1)端面泵浦光纤激光器n n端面泵浦光纤激光器中的光纤与普通光纤十分端面泵浦光纤激光器中的光纤与普通光纤十分相似，仅在纤芯掺以激光工作物质。与二极管相似，仅在纤芯掺以激光工作物质。与二极管端面泵浦固体激光器的泵浦方式相似，采用光端面泵浦固体激光器的泵浦方式相似，采用光学耦合系统将泵浦光直接耦合到光纤的纤芯端学耦合系统将泵浦光直接耦合到光纤的纤芯端面上。通常情况下，两端面也是激光谐振腔的面上。通常情况

22、下，两端面也是激光谐振腔的全反镜和输出镜。可以看出，这种结构简单，全反镜和输出镜。可以看出，这种结构简单，但其泵浦端面因面积很小，可以注入的泵浦光但其泵浦端面因面积很小，可以注入的泵浦光能量有限，故该类激光器属小功率光纤激光器，能量有限，故该类激光器属小功率光纤激光器，它们大多应用于光通讯中。它们大多应用于光通讯中。端面泵浦光纤激光器2)双包层光纤激光器n n为了克服端面泵浦光纤激光器注入功率小的问为了克服端面泵浦光纤激光器注入功率小的问题，人们发明了双包层光纤激光器。它主要由题，人们发明了双包层光纤激光器。它主要由纤芯、内包层、外包层和保护层组成。纤芯采纤芯、内包层、外包层和保护层组成。纤芯

23、采用了稀土掺杂技术，为激光增益介质，稀土离用了稀土掺杂技术，为激光增益介质，稀土离子吸收泵浦光并辐射单模激光，外包层采用低子吸收泵浦光并辐射单模激光，外包层采用低折射率材料。通常情况下，泵浦光采用斜入射折射率材料。通常情况下，泵浦光采用斜入射方式，使泵浦光在内外包层界面形成全反射，方式，使泵浦光在内外包层界面形成全反射，这样，泵浦光在多次反射后，多次穿过内包层这样，泵浦光在多次反射后，多次穿过内包层和纤芯，使纤芯吸收率大大增加，可达和纤芯，使纤芯吸收率大大增加，可达90%90%以以上。这种泵浦方式与二极管泵浦固体激光器的上。这种泵浦方式与二极管泵浦固体激光器的侧面泵浦方式很相似，注入功率可以大

24、大增加，侧面泵浦方式很相似，注入功率可以大大增加，又提高了泵浦光的利用率。这类光纤激光器的又提高了泵浦光的利用率。这类光纤激光器的输出功率在百瓦量级。输出功率在百瓦量级。双包层光纤激光器图3-2dD形内图包层双包层光纤横剖面纤芯纤芯内包层内包层外包层外包层保护层保护层纤芯内包层外包层外界入射短波光作用纤芯，形成永久性折射率光栅，如同窄带滤光器或反射镜，起到选频.反馈和输出的作用。LDLDLDLDLDLD掺稀土离子光纤LDLDLDLDLDLD光栅1光栅2激光输出3)任意形状光纤激光器n n为了克服双包层光纤激光器输出功率受到限制，进一步提高输出功率，日本学者率先开发出了一种任意形状光纤激光器，有

25、望获得千瓦量级的光纤激光器。其方案是将光纤排放成盘状结构，大大增加了泵浦光的利用面积，其有效利用面积比纤芯端面和包层端面大得多。根据光纤的排放方式不同，这类光纤激光器又可分为盘状、片状、圆柱状、环状和棒状等不同结构的光纤激光器。光纤激光器作为第三代激光技术的代表，具有以下优势：n n（1 1）玻璃光纤制造成本低、技术成熟及其光玻璃光纤制造成本低、技术成熟及其光纤的可饶性所带来的小型化、集约化优势；纤的可饶性所带来的小型化、集约化优势；（2 2）玻璃光纤对入射泵浦光不需要像晶体那）玻璃光纤对入射泵浦光不需要像晶体那样的严格的相位匹配，这是由于玻璃基质样的严格的相位匹配，这是由于玻璃基质Stark

26、Stark分裂引起的非均匀展宽造成吸收带较宽的缘故；分裂引起的非均匀展宽造成吸收带较宽的缘故；（3 3）玻璃材料具有极低的体积面积比，散热）玻璃材料具有极低的体积面积比，散热快、损耗低，所以上转换效率较高，激光阈值快、损耗低，所以上转换效率较高，激光阈值低；低；（4 4）输出激光波长多：这是因为稀土离子能）输出激光波长多：这是因为稀土离子能级非常丰富及其稀土离子种类之多；级非常丰富及其稀土离子种类之多；（5 5）可调谐性：由于稀土离子能级宽和玻璃）可调谐性：由于稀土离子能级宽和玻璃光纤的荧光谱较宽。光纤的荧光谱较宽。（6）由于光纤激光器的諧振腔内无光学鏡片，具有免调节、免维护、高稳定性的优点，这是传统激光器无法 比 拟 的。（7）光纤导出，使得激光器能轻易胜任各种多维任意空 间 加 工 应 用，使 机 械 系 统 的 设 计 变 得 非 常 简 单。（8）胜任恶劣的工作环境，对灰尘、震荡、冲击、湿度、温 度 具 有 很 高 的 容 忍 度。（9）不需热电制冷和水冷，只需简单的风冷。（10）高的电光效率：综合电光效率高达20%以上，大 幅 度 节 约 工 作 时 的 耗 电，节 约 运 行 成 本。（11）高功率,目前商用化的光纤激光器是六千瓦。