矽和化合物半导体.ppt

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矽和化合物半導體矽和化合物半導體 1圖1.1絕緣體、半導體、和導體與電阻係數的範圍 234圖1.2三種立方結晶單元(a)簡單立方，(b)體心立方，(c)面心立方 5圖1.3(a)矽(鑽石晶格)，(b)砷化鎵(閃鋅晶格)的結晶結構 6圖1.4立方晶體中的一些重要平面的米勒指標 7圖1.5矽的蝕刻圖案(a)和(b)長晶方向，以(110)平邊以及適當的切割方向為參考 8圖1.6矽111表面，具鋁合金區域，顯示鑽石晶格的對稱 9圖1.7概略的能帶圖表示法：(a)絕緣體，(b)半導體，(c)導體 10圖1.8矽和砷化鎵的能帶結構。圓圈(。)表示在價電帶的電洞，點()表示在導電帶的電子，(a)間接能隙，矽；(b)直接能隙，砷化鎵 11圖1.9磷砷化鎵的能隙對磷化鎵的莫爾分數變化圖 12圖1.10各種可見光和紅外光發光二極體的發光相對強度對波長的關係圖13圖1.11(a)布氏法，(b)柴氏法，(c)浮區法長晶14(續)圖1.11(a)布氏法，(b)柴氏法，(c)浮區法長晶15圖1.12砷化鎵和磷化鎵的長晶爐 161718圖1.13磨晶棒製程 19圖1.14將矽晶棒標示平邊 20圖1.15以內直徑切片製程的概略圖21圖1.16拋光製程的概略圖 22圖1.17四點針測法的概略圖 23圖1.18電阻值的測量 2425262728