《LCD培训教材》PPT课件.ppt

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1、 LCD 培訓教材(一)LCD基本構造(其斷面如下圖)LCD製程流程圖製程流程圖 導電玻璃材料導電玻璃材料 就是在普通玻璃就是在普通玻璃(不導電不導電)的一個膠面層鍍上透明的一個膠面層鍍上透明導電膜的玻璃導電膜的玻璃.目前常用的導電玻璃是氧化銦目前常用的導電玻璃是氧化銦,氧化氧化錫玻璃錫玻璃,通常簡稱通常簡稱ITO玻璃玻璃,在生產過程中在生產過程中,每片玻每片玻璃都必經過万用電表檢璃都必經過万用電表檢 測測,導電面為導電面為ITO正面正面,不不導電面無導電面無ITO面為背面面為背面.一、一、ITO玻璃的結构玻璃的結构,如圖如圖1二、二、LCD制造用的制造用的ITO導電玻璃規格導電玻璃規格玻璃厚

2、度5玻璃面積:14*16 (或355.6mm*406.4mm)300*350SiO2 阻擋層:200 500A (1 A=10 10米)ITO層厚:250 2000 ASiO2 絕緣層厚:500 1000 A ITO導電玻璃的主要技術透光率8%方塊電阻R R 10、15、30 、80 相對R 越小越好 若R 10/膜厚1000 2000 A R 100-300/膜厚200-300 AITO玻璃的技術要求平整度好,一般要求平整度机械強度与化學抗蝕性能,ITO層對玻璃(SiO2)表面的粘附力要強,不易脫落,抗划傷強.ITO膜能抗強鹼,但易被酸腐蝕.光刻膠性能的主要指標光刻膠性能的主要指標.感光度.

3、光刻膠對光敏感的性能.所以說,對于固定光強的曝光机,光刻膠的感光度越高,則曝光時間越短,反之,則差.分辯率.光刻精度的標志.它不僅与光刻膠本身有關.還与光刻工藝條件和操作技術等因素有關.抗蝕性 只是在針孔密度小,粘附性能良好的情況下,才能有較強的抗酸.鹼能力.接上接上粘附力 光刻膠与ITO面之間沾附的牢固程度也直接影響光刻后的精度,光刻膠的沾附力与光膠本身性質有關.而且与玻璃面有密切關系.平整.清洁.干燥.無油質污染的表面有利于光刻膠的粘附.此外.光刻膠的配比,前烘條件,顯影液配方因素有關.穩定性 光刻膠在常溫和暗房內(黃色光).光刻膠不發生暗反應.針 孔 視其光刻膠膜上針孔形成密度盡可能低,

4、它將直接影響光膠質量.粘度和含固率 光刻膠越濃,粘度就越大,涂膜就越厚,反之.就越薄,因此.我們常采用改變光膠濃度調節粘度,控制膜厚度.例中:光刻細小圖表時,為了提高分辯率,膠層相對薄些故采用濃度較稀的光刻膠.溫度高溫度高.固含率低固含率低.粘度變小粘度變小,膜薄膜薄,反之則厚反之則厚.光刻膠的分類光刻膠的分類負性膠 在襯底表面將得到与光刻掩蓋版遮光圖形完全相反的圖形(不适用LCD制造業).正性膠 這种膠在曝光前對某些溶劑是不可溶的,而曝光后就變成可溶性,能与掩模遮光圖形相同的圖案.接上此膠分辨率高,邊緣整齊,邊緣陡度好,以及反刻時易對准等优點,較易顯影,常被LCD制造業采用.正性膠經強紫外線

5、照射后,發生光合反應,經光照后的生成物能溶解于弱鹼性水溶液中,而顯示出正圖形.主要不良影響：主要不良影響：工位工位缺陷缺陷不良原因不良原因后制程產生不良后制程產生不良PR涂涂布布PR臟點臟點1.玻璃表面臟物玻璃表面臟物2.涂膠輪本身臟涂膠輪本身臟3.環境太環境太差（粒子濃度偏高）差（粒子濃度偏高）4.PR被污染被污染針孔、開路針孔、開路PR空洞空洞1.玻璃表面有水汽和油污玻璃表面有水汽和油污2.涂膠輪上有臟物和凸點涂膠輪上有臟物和凸點針孔、開路針孔、開路亮線亮線1.涂膠輪浸潤不夠涂膠輪浸潤不夠2.玻璃清洗不干凈玻璃清洗不干凈3.水汽未干水汽未干針孔、開路針孔、開路PR不均不均(厚薄厚薄不均不均

6、)1.涂膠輪與勻涂膠輪與勻均膠輪間的間隙不一致均膠輪間的間隙不一致2.玻璃表面局部有水汽玻璃表面局部有水汽、油污）油污）3.膠的粘度大小直接與膠的粘度大小直接與PR膜的厚薄有關膜的厚薄有關開路與短路，對下一開路與短路，對下一工序造成顯影、蝕刻工序造成顯影、蝕刻工位的不足工位的不足、過度、過度膠泡膠泡1.PR中本身有汽泡中本身有汽泡2.攪拌中產生汽泡攪拌中產生汽泡3.涂膠輪上有亮線涂膠輪上有亮線短路、針孔短路、針孔主要不良影響：主要不良影響：工位工位缺陷缺陷不良原因不良原因后制程產生不良后制程產生不良顯顯影影 工工 位位顯影不足A噴淋支數少B蝕刻液溫度低於工藝要求C濃度低於工藝要求D傳送速度太快

7、短路、字體變形顯影過度A、噴淋太支數太多B、蝕度溫度、濃度高出工藝要求C、傳送太慢開路、針孔多餘物A、模板本身多餘物B、模板上有臟物C、環境太差（粒子濃度偏高）字體變形、多點針孔A模板上本身有針孔、臟物B涂膠線臟點、空洞、連線針孔缺口A模板上本身有缺口、臟物B涂膠臟點空洞、連線字體變形、缺口短路A模板刮花、連線、臟物B曝光機內環境太臟C顯影、曝光不足D顯影水洗衝洗不干凈刮花A、模板刮花；B、機臺運行不正常、刮花開路斷線A、模板本身臟物；B、機臺刮花、顯影、曝光過度開路玻璃寸法A、真空不穩定；B、調試不當直接影響PI、絲印定位不準主要不良影響：主要不良影響：工位工位缺陷缺陷不良原因不良原因后制程

8、產生不良后制程產生不良蝕蝕刻刻針孔、缺口、針孔、缺口、斷線、短路、斷線、短路、多餘物多餘物同顯影同顯影同顯影同顯影蝕刻不足蝕刻不足1、噴淋支數太少、噴淋支數太少2、蝕刻溫度、濃度太低、蝕刻溫度、濃度太低3、傳送速度太快、傳送速度太快短路、多餘物短路、多餘物蝕刻過度蝕刻過度1、噴淋支數太多、噴淋支數太多2、蝕刻溫度、濃度太高、蝕刻溫度、濃度太高3、傳送速度太快、傳送速度太快開路開路主要不良影響：主要不良影響：工位工位缺陷缺陷不良原因不良原因后制程產生不良后制程產生不良剝膜剝膜殘留殘留PR1剝膜濃太低剝膜濃太低2傳送太快傳送太快3堅膜溫度過高堅膜溫度過高PI臟點臟點臟物臟物1DI水太臟水太臟2濾芯效果太差濾芯效果太差3機臺內未定期清洗機臺內未定期清洗PI臟點臟點水未干水未干1吹干將置風量太小吹干將置風量太小2烘干溫度太低烘干溫度太低PI空洞、空洞、PI涂覆不干涂覆不干共同共同進步進步