某大厂4寸晶圆生产线部分设备清单.xls

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1、4吋晶圆生产线部分设备清单序号设备名称型号1四探针测试仪SZ-822特气柜3CVDAEC-22004CVD淋水槽WCSB-75CVD设备AEC-22006特气柜7净化层流罩8净化层流罩9腐蚀清洗柜10CVD除尘装置11擦片机SVG8812擦片机SVG8813擦片机SVG880014甩干机AMT-0615甩干机SG-09A16双槽清洗机17甩干机SG-07A18甩干机SG-07A19硅片转换器RAPITRAN-20硅片转换器RAPITRAN-21OAP烘箱HOCHECK22传递窗23风淋室24匀胶机SVG-8825光刻机PLA0501F26光刻机PLA0501F27光刻机PLA50128光刻机P

2、LA501F29光刻机PLA501F30光刻机PLA-501F31光刻机PLA-501F32光刻机PLA-501F33光刻机PLA-501-FA34光刻机PLA-50IF35光刻机PLA-50IF36光刻机PLA-50IF37甩干机SG-07B38涂胶机6000XL39匀胶机SVG8840真空烘箱HOCHECK41SiO2腐蚀机GFQ-142SiO2腐蚀机43铝腐蚀机44甩干机KPDW1255-4SRD45甩干机SG-07B46自动去胶机47扩散炉410448扩散炉430449扩散炉430450扩散炉430451扩散炉E200052炮筒升降机构53硅片转换器RAPITRAN54硅片转换器RAP

3、ITRAN55扩散炉410456扩散炉410457扩散炉410458扩散炉430459扩散炉430460扩散炉430461甩干机AMT-0662涂源机DNUNA7004吋晶圆生产线部分设备清单序号设备名称型号63匀胶机SVG8864匀胶显影机6000XL65甩干机AMT-0666双槽清洗机TAW-3B67双槽清洗机TAW-3B68扩散炉69扩散炉70扩散炉E200071扩散炉E200072扩散炉E200073硅片转换器RAPITRAN74甩干机AMT-0675甩干机SG-07B76甩干机SG-09A77双槽清洗机TAW-378双槽清洗机79激光打标机80层流净化柜81扩散炉82喷砂处理机LH-BT-S83划片机改造TSK-10A84划片机改造TSK-10A85抛光机32SPAW86十二槽清洗机87扩散炉88全自动硅片甩干机KPD120A-4SRD89扩散炉90HMDS烘箱HOCHECK4吋晶圆生产线部分设备清单序号设备名称型号