标准PE设备设计简要说明.pdf

《标准PE设备设计简要说明.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《标准PE设备设计简要说明.pdf（6页珍藏版）》请在得力文库 - 分享文档赚钱的网站上搜索。

1、嘉兴科民电子设备技术有限公司第 1 页 共 6 页标准 PE 设备设计简要说明设计人：审核人：日期：嘉兴科民电子设备技术有限公司第 2 页 共 6 页一设备正面效果图（见图 1 示）：1.机架外面门板喷涂 RAL9010 粉末；（图 1 示）二.设备外形尺寸（见图 2 示）：1.长 X 宽 X 高:789 X 1281 X 1760;2.反应腔中心距离地面高度 1008mm；3.人机操作界面中心距离地面高度 1423mm；（图 2 示）嘉兴科民电子设备技术有限公司第 3 页 共 6 页三开门方式（见图 3 示）：1.设备前端左右两侧柜门采用转轴铰链式设计；2.设备后端左右两侧和后柜门采用插扣式

2、设计，柜门整体可以拆卸下来；（图 3 示）嘉兴科民电子设备技术有限公司第 4 页 共 6 页四内部结构（见图 4 示）：1 框架部分整体采用欧标承重型 40 X 40 铝型材组装而成；其余各件选用铝板加工而成；2.电气柜采用标准 4U 插箱设计，其安装方式做到与射频电源等；部件统一化，方便安装；3.分区布局明确（见图 4 示）；设备前端左侧为非加热源区，右侧为加热源区；中端为电控区，后面为 MFC 控制区；机械泵放置于设备最下端；反应腔置于机架最前端居中位置；（图 4 示）嘉兴科民电子设备技术有限公司第 5 页 共 6 页五此机架适合两种规格的反应腔安装（见图 5 示）；1.10 英寸加热盘-8 英寸硅片；2.6 英寸加热盘-4 英寸硅片；（图 5 示）六配置 6 路源，3 路非加热、3 路加热；每路源独立进气，加热与非加热源各自一路吹扫（见图 6 示）；（图 6 示）七.MFC 配置（见图 7 示）：1.加热源与非加热源吹扫各配置 1 个 MFC，反应腔等离子体配置 4个 MFC；嘉兴科民电子设备技术有限公司第 6 页 共 6 页（图 7 示）八沉积反应模块（见图 8 示）：（图 8 示）