BRUKE AFM教育訓練.ppt

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1、EDGE系統架構系統架構April 20111AFM系統架構電腦電腦真空控制盒真空控制盒主控制器主控制器NanoDrive防震桌防震桌顯微鏡本體顯微鏡本體操作螢幕操作螢幕2掃瞄頭CCD鏡頭真空開關外加功能連接頭掃瞄頭連接頭樣品載台3AFM原理簡介：接觸式（contact mode)4AFM原理簡介 輕敲式 Tapping mode0Tip-sample distanceAmplitude 200mVTip-sample distance 300umTip-sample distance 010nmEngage5開機與開啟軟體1.開電腦 2.開NanoDrive電源3.執行NanoDrive軟體

2、 (DSP code OK,Turn HV on Yes)4.選擇模式：Tapping5.選擇下方的程式如 P GaN loss等6AFM初始化 stage initialNavigator 視窗 進入 SurfaceControl Stage InitialInitail時的動作順序為1.掃瞄頭上升至最高處(為預防撞到任何東西)2.CCD鏡頭退至最後3.樣品載台移動至原點(最右邊內側)完成後軟體會問是否回到initial前之XY座標，請按yes。否則CCD鏡頭會看不到探針跟樣品7基本操作順序儀器設定Detector信號下針掃描主功能視窗IV curve視窗XY信號視窗，少用多點定位功能數位信號電表，少用數位信號示波器，少用基本上功能的流程為從左至右一項一項執行即可完成量測共振頻率離針8Sample放置(單片stage)將試片放置於Chuck紅色圓圈處並確定Wafer平邊朝向兩螺絲洞處。9Sample放置(9片stage)待試片放置妥當後將機台右上方VACUUM Swith撥至ON使試片吸附於Chuck上。10存檔路徑設定存檔路徑存檔路徑檔名檔名打開掃瞄視窗打開掃瞄視窗11讀取自動掃描坐標點選擇自動掃瞄程式（control stage program move)12退出樣品使用Navigate視窗，進入load選項，按下unload sample13