(2.5)--2精密超精密加工2.5超精密加工环境.pdf

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2.5超精密加工环境2.5超精密加工环境27净化的空气环境 1m直径尘埃就会拉伤磁盘表面而不能正确记录信息；100级超精密加工空气洁净度要求：0.5m直径尘埃个数100个/ft3，而办公室百万个/ft3，手术室5万个/ft3恒定的温度环境 100mm长铝合金零件，温度变化1C将产生2.25m的误差；若要求确保0.1m加工精度，环境温度应保持0.05C范围内；稳定的湿度(相对湿度35%45%)2.5超精密加工环境28 消除自身振动干扰防振：阻止外部振动隔振：1隔振空气弹簧 2床身 3工作台较好的抗振动干扰环境美国LLL实验室超精密机床隔振基础谢谢聆听