Macro 资料2.0.ppt

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1、合肥鑫晟光电科技有限公司1 1合肥鑫晟光电科技有限公司Macro 资料2013.11合肥鑫晟光电科技有限公司2 2目录一、基础知识篇作01二、操作规范篇作02三、安全规范篇作03四、常见Mura篇作04合肥鑫晟光电科技有限公司3 3一、基础知识篇1.Macro设备作用：在各种光源照射下，人通过操作机台调整玻璃位置，用肉眼检查玻璃基板上的宏观 缺陷（涂布不均、异物、划伤等）。2.Macro数量：Inline 12台（抽检），Offline 3台，Final 16台（全检）。3.Macro主要结构：Stage，照明单元，Touch Panel，Control PC，Auto Focus PC，La

2、ser Point，KVM等。4.M/H灯颜色：白、橙、黄、绿。通过顶灯的Miracle glass，可以实现Focus和Diffuse两种状态。5.BM层使用M/H 白灯，BGR层使用M/H绿灯，OC层使用NA灯（Diffuse），PS层 使用手持灯检查（灯光从M/H上接过来）。半透找位置，全透做判定。合肥鑫晟光电科技有限公司4 4一、基础知识篇6.Stage轴动可以分为上下（Sliding），前后（Moving），翻转（Rolling和 Pitching）运动。7.背光灯主要用于检查有无巨大缺陷、未涂布部分、未曝光部分，未曝光RGB层基板 颜色分别对应偏黄，偏紫，偏青。8.由于Na灯和M/

3、H灯的开启时间比较长，一般在检查过程中不会关闭，只需要在不 使用时关闭灯箱Shutter即可。9.Touch Panel 上功能键有：基板Map图、Glass 排出键、基板判定键。10.Macro中有3个Na灯箱，2个金属卤素灯灯箱。11.机台Z向移动采用气缸驱动，内外圈转动采用马达转动。12.设备Stage上共有36个真空吸盘，4个辅助基准，4个推进基准，10个Clamp。合肥鑫晟光电科技有限公司5 5一、基础知识篇：为Mura图片显示器。能够选择显示 前工序的Mura图像，以供Macro作 业员参考。：Macro PC显示器。显示Macro软件，供Recipe编写和Glass、Panel判

4、定，Glass交换片操作使用。：VCR显示器。显示VCR读取结果，确 认镜头位置使用。：人机画面及设备状态显示。供手动按 键操作Macro各轴，设定各轴参数，显示设备通信状态及信息。：手持控制器。供Macro使用人员更方 便操作Macro。合肥鑫晟光电科技有限公司6 6二、操作规范篇&三、安全规范篇 注意事项：1.Macro检查时，不建议拉开幕布透气透光；2.人员上爬梯时必须系好安全带；3.注意保护眼睛，不建议长时间盯着基板看，但是要注意设备运行状况，注意不能闭 目休息；4.手持灯、气枪的位置不能随意摆放，不要随意玩弄气枪。安全事项：1.当人员或者设备发生危险情况下，要立刻按下紧急按钮，以避免

5、发生人员或者设备 的损伤；2.Interlock作为连锁装置，是在门窗上使用的。当门窗被打开时，设备会自动停止 运行，与EMO有相同作用；3.光闸作为保护装置，一旦触发，设备就会停止。人员不要伸出手超过光闸部分查看。合肥鑫晟光电科技有限公司7 7四、常见Mura篇 设备名称造成Mura涂布机1.异物Mura2.涂布横线3.Sharp横线4.未涂布5.粒状Mura6.竖线7.涂布前后端不良8.等高线Mura9.Edge PR残留 等显影机1.显影Mura2.显影竖线3.过显影4.显影停滞5.手掌Mura6.显影横线等曝光机1.蝴蝶Mura2.Spot Mura3.Mask共同缺陷4.Miss A

6、lign5.Exp Stage Mura等合肥鑫晟光电科技有限公司8 8四、常见Mura篇BGR颜色混色后的感官效果：B+R-(紫色);B+G-(青色);R+G-(黄色);B+G+R-(白色)Process测定项目BMBM CD OK:Range 0.7umBGR BGR 色度 OK:Rx Range 12/10000 Gy Range 20/10000 By Range 8/10000 涂布前后端色度OK:Rx Range 45/10000 Gy Range 60/10000 By Range 30/10000 膜厚断差OK:G-R 0.2um B-G 0.2um B-R 0.2um R P

7、W 0.5um B PW 0.5um G PW 0.5um ITORS 1000/OCOC Thick Range 0.05um,OKRx Range 12/10000,OKPSPS Height Range 0.05um,OK合肥鑫晟光电科技有限公司9 9四、常见Mura篇种类现象原因方法对策异物Mura有高度的核,常以圆形出现各工程涂布过程中，基板上有异物或前烘工程中，升化物落在基板上发生身体倾斜绿光强光易见,白光暗光也可见通知当线担当对此相应的Coater机进行PR Purge或Film CleaningCT横线从涂布前端到后端贯穿整个基板而形成的一条线Coater 设备中的Nozzle

8、被污染或内部有气泡而引起,PR 的吐出量不一致造成BM/BGR身体倾斜上下晃动头部绿光可见；PS白光，OC Na灯通知当线担当对此相应的Coater机进行PR Purge或Film Cleaning合肥鑫晟光电科技有限公司1010四、常见Mura篇种类现象原因方法对策Sharp线在涂布前端,以又细又短的线型出现Coater设备中,Nozzle先端部被污染的状态中Coating 时发生用绿光强光，头部上下晃动易可见通知当线担当对此相应的Coater机进行PR Purge或Film Cleaning Uncoating看起来有膜厚差,有彩虹色之类三角形的Mura出现涂布时药液不足的现象,Mura部

9、无法形成膜用绿光强光,身体倾斜左右晃动头部,白光暗光也可见。通知Line担当对此相应的Coater机进行PR Purge或Film Cleaning合肥鑫晟光电科技有限公司1111四、常见Mura篇种类现象原因方法对策粒状Mura在涂布前端,以又细又短的线型出现Coater设备中,Nozzle先端部被污染的状态中Coating 时发生用绿光强光正对的基板头部要上下晃动易可见通知Line担当对此相应的Coater机进行PR Purge或Film Cleaning 竖线Mura看起来有膜厚差,有彩虹色之类三角形的Mura出现涂布时药液不足的现象,Mura部无法形成膜用绿光强光,身体倾斜左右晃动头部

10、,白光暗光也可见。CV可见即NG通知Line担当对此相应的Coater机进行PR Purge或Film Cleaning合肥鑫晟光电科技有限公司1212四、常见Mura篇种类现象原因方法对策涂布前后端不良出现在涂布前后端,看上去有膜厚色差BGR或者OC 工程的Slit Coater 设备中,Nozzle不稳定,根据膜段差高或低发生色异常用绿光强光,身体倾斜上下移动Stage,左右晃动头部,可见通知当线担当对此相应的Coater机进行PR Purge等高线Mura以很多条横线出现在基板中,Lot 初期发生的比较多,后期基板出现机率会越来越弱因Lot Change时Nozzle Cleaning里

11、有PGMEA的残留引起用绿光强光,身体倾斜上下移动Stage,会看到很多条横线,根据水准来判别是否NG通知当线担当对此相应的Coater机进行PR Purge合肥鑫晟光电科技有限公司1313四、常见Mura篇种类现象原因方法对策粒状横线CT横线带有粒状,以线型出现在基板中,位置随机Coater 设备中的Nozzle内部有气泡而引起,PR 吐出量不一所致用绿光强光,身体倾斜上下移动Stage,左右晃动头部,可见通知当线担当对此相应的Coater机进行PR Purge或Film Cleaning异物横线通知Line担当对此相应的Coater机进行PR Purge或FilmCleaningCoate

12、r设备中的Nozzle内部带有异物,与其一起Coating而产生的Mura用绿光强光,身体倾斜上下移动Stage,左右晃动头部,可见通知Line担当对此相应的Coater机进行PR Purge合肥鑫晟光电科技有限公司1414四、常见Mura篇种类现象原因方法对策Edge PR一般在BM涂布后端以黑色线型出现在尾端的Bare处Coating时PR过多,在后端会有少量的残留把基板竖起来或平放,用背光灯和白灯检查通知Line担当对此相应的Coater机进行PR Purge或Film CleaningBM小黑点直径23mm 左右的圆形 Mura,位置随机间隔大概5cm 在显影过程中会发生BM 显影液漏

13、液造成前工程用绿光强光,身体倾斜并上下移动Stage 左右晃动头部,即可见通知当线担当对显影机进行Check合肥鑫晟光电科技有限公司1515四、常见Mura篇种类现象原因方法对策蝴蝶Mura看起来,像是蝴蝶的翅膀在飞,形状以上下或左右型的出现因Exp的Stage上有异物,导致曝光点偏移,所产生的Mura用绿光强光,身体倾斜上下移动Stage,上下左右晃动头部 对相应Exp的Stage进行CleaningMask Mura根据曝光Shot出现的原点Mura或是方形MuraMask上有异物而出现的Mura前工程用白光易可见,PS用手持灯检查,水准严重PS用白光即可见对相应的Mask进行Cleani

14、ng合肥鑫晟光电科技有限公司1616四、常见Mura篇种类现象原因方法对策Spot MuraMura的大小在25cm左右,看起来即大又圆的实心圆由于Exp Stage温度差异产生的Mura将基板平放用绿光或白光的暗光检查可见调整Stage温度差异Exp Stage Mura基板中心从里到外有三个四角形,基板两边各有两条竖线由于Exp的Stage温度差导致Pin与基板接触时形成的一个痕迹用绿光强光,身体倾斜上下移动Stage,左右晃动头部即可见,基板竖起来用白光也可见对相应Exp的Stage进行Cleaning合肥鑫晟光电科技有限公司1717四、常见Mura篇种类现象原因方法对策Miss Ali

15、gn基板以透过观察时,曝光 Shot内部部分显青色或红色的,正常产品是显浅灰色BGR工程曝光时,Align不对,使BGR Pattern重叠或开口部产生Leak的现象把基板竖起来用背光灯检查,能看到与正常Shot不同颜色通知当线担当重新对位显影Mura形状不一,横向竖向都有长短不一样的线由于喷头压力不一致导致Glass表面平坦度差异产生把基板平放或竖起来用白光检查,背光灯看到即NG通知当线担当对显影机进行Check合肥鑫晟光电科技有限公司1818四、常见Mura篇种类现象原因方法对策显影竖线Mura在Glass上垂直存在,发生位置随机,大体情况以直线型发生显影机进行中,诱发外观差异基板竖起来,

16、即可见,背光灯看到则NG通知当线担当对显影机进行Check过显影从基板边缘延伸到中心部分看起来山连山的形状,发生形状不固定基板在显影机里停留时间过长所导致前工程用绿光，基板平放可见，PS用白光竖起来或平放都可以看到通知当线担当对显影机进行Check合肥鑫晟光电科技有限公司1919四、常见Mura篇种类现象原因方法对策显影停滞有时是下雨似的成雨滴形状,有时像是显影竖线上半粗下半会减弱设备故障导致基板在显影机内部停留所致基板竖起来用白光即可见,背光灯看到则NG通知当线担当对显影机进行Check显影横线可观察到Pattern中央部有4060mm左右的横线Mura因显影机高压水洗管嘴的输入压力不稳定,诱发BM或BGR的表面产生粗糙差异而发生身体正对着基板,把Stage倾斜并上下晃动,用白光即可见,或基板竖起来用白光也可见,通知当线担当对显影机进行Check