国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》.ppt

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1、国家标准电子工厂洁净厂房设计规范中强制性条文GB 50472-2008陈 霖 新中国电子工程设计院 2009年07月1、电子工厂洁净厂房特点2、章节内容简介3、强制性条文等介绍4、结语1、电子工厂洁净厂房特点电子产品生产发展迅猛 IC特征尺寸0.05m,1216，64G TFT第六代产品对化学污染物的严格要求大面积、大体量、组合式、多层洁净厂房投资大、能量消耗大1、电子工厂洁净厂房特点集成电路对化学污染物的控制指标 电子工厂洁净厂房的特点：微粒控制十分严格、要求控制0.02m甚至更小粒径 ISO1级或更严格。高纯物质，包括高纯水、高纯气体高纯化学品的供应、输 送。对微振控制十分严格、需制定切实

2、可行的规定对防静电、电磁兼容等大体量、多层单向流洁净室，二层/三层布置数万m2。1、电子工厂洁净厂房特点1、电子工厂洁净厂房特点项项项项目目目目位置位置位置位置状况状况状况状况规规规规格格格格（）（）（）（）洁净洁净洁净洁净生生生生产产产产区区区区面面面面积积积积（）（）（）（）建筑建筑建筑建筑高度高度高度高度芯片厂芯片厂1 1大大陆陆生生产产运行运行200200（88）8700870020.020.0芯片厂芯片厂2 2台湾台湾生生产产运行运行300/200300/200（12/812/8）140001400026.826.8芯片厂芯片厂3 3台湾台湾生生产产运行运行300300（1212）9

3、000900029.429.4芯片厂芯片厂4 4台湾台湾生生产产运行运行300300（1212）9000900026.826.8芯片厂芯片厂5 5韩韩国国生生产产运行运行200200（88）100001000031.031.0芯片厂芯片厂6 6韩韩国国生生产产运行运行200200（88）100001000031.031.0芯片厂芯片厂7 7韩韩国国生生产产运行运行200200（88）100001000037.037.0芯片厂芯片厂8 8韩韩国国生生产产运行运行200200（88）100001000037.037.0芯片厂芯片厂9 9爱爱尔尔兰兰生生产产运行运行200200（88）8892889

4、225.425.4芯片厂芯片厂1010美国美国生生产产运行运行200200（88）158101581022.0022.00芯片厂芯片厂1111美国美国生生产产运行运行200200（88）158101581022.0022.00芯片厂芯片厂1212美国美国生生产产运行运行300300（1212）138571385717.0017.00芯片厂芯片厂1313爱爱尔尔兰兰生生产产运行运行300300（1212）121831218317.0017.00芯片厂芯片厂1414磁力磁力生生产产运行运行300300（1212）8740874020.4020.40芯片厂芯片厂1515台湾台湾生生产产运行运行200

5、200（88）7900790050.3050.30芯片厂芯片厂1616法国法国生生产产运行运行200200（88）6500650021.0021.00芯片厂芯片厂1717新加坡新加坡生生产产运行运行200200（88）8000800025.0025.00表1 国内外一些微电子洁净厂房的高度和洁净生产区面积1、电子工厂洁净厂房特点项项项项目目目目位置位置位置位置状况状况状况状况规规规规格格格格（）（）（）（）洁净洁净洁净洁净生生生生产产产产区区区区面面面面积积积积（）（）（）（）建筑建筑建筑建筑高度高度高度高度芯片厂芯片厂1818上海上海生生产产运行运行300300（1212）120001200

6、029.0029.00芯片厂芯片厂1919上海上海生生产产运行运行300300（1212）9400940030.0030.00芯片厂芯片厂2020成都成都生生产产运行运行200200（88）7408.87408.82121芯片厂芯片厂2121上海上海生生产产运行运行200200（88）103211032128.5528.55芯片厂芯片厂2222苏苏州州生生产产运行运行200200（88）120001200024.424.4芯片厂芯片厂2323重重庆庆建建设设中中200200（88）150015002828芯片厂芯片厂2424浙江浙江生生产产运行运行150150（66）516051601919T

7、FT-LCD/1TFT-LCD/1北京北京生生产产运行运行5 5代，代，1100130011001300280002800023.0023.00TFT-LCD/2TFT-LCD/2上海上海生生产产运行运行5 5代，代，11001300110013002200022000140001400020.3020.30TFT-LCD/3TFT-LCD/3昆山昆山试试生生产产5 5代，代，11001300110013003000300026.5026.50TFT-LCD/4TFT-LCD/4深圳深圳正在建正在建设设5 5代，代，1100130011001300330003300026.5026.50TFT

8、-LCD/5TFT-LCD/5台湾台湾生生产产运行运行6 6代，代，150018001500180036000360002727TFT-LCD/6TFT-LCD/6上海上海正筹建正筹建6 6代，代，150018001500180034000340002727TFT-LCD/7TFT-LCD/7北京北京正筹建正筹建6 6代，代，150018001500180036000360002727TFT-LCD/8TFT-LCD/8日本日本生生产产运行运行8 8代，代，2160246021602460900009000030.0030.00表1 国内外一些微电子洁净厂房的高度和洁净生产区面积1、电子工厂洁

9、净厂房特点表22 几类电子产品所需气体品种1、电子工厂洁净厂房特点表 25 集成电路芯片（64M）生产过程部分化学品的质量要求微粒（微粒（PC/CCPC/CC）化学品种类化学品种类0.1m0.1m0.2m0.2m金属离子金属离子H H3 3POPO4 4HClHClH H2 2SOSO4 4H H2 2O O2 2NHNH4 4OHOH40403030202020202020202020201010101010101.0X101.0X10-9-91.0X101.0X10-9-91.0X101.0X10-9-91.0X101.0X10-9-91.0X101.0X10-9-9HNOHNO3 349

10、%HF49%HF5%HF5%HF1%HF1%HF303030303030303020202020202020201.0X101.0X10-9-91.0X101.0X10-9-91.0X101.0X10-9-91.0X10121224242424见见D.3.3D.3.3见见D.3.5D.3.5见见D.3.6D.3.6见见D.3.6D.3.6见见D.3.8D.3.8 见见D.3.7D.3.7见见D.3.10D.3.10见见D.3.11D.3.113、强制性条文等介绍1、GB50472是依据电子工厂洁净厂房特点，参照国际标准，经过国内调研后制定。2、强制性标准中的“强条”必须严格遵守。许多推荐性条文也是行之有效的要求、规定，对电子工业洁净厂房的设计、建造、运行具有指导性。3、规范执行中，不可避免有各种各样问题，欢迎提出建议，加强沟通交流。4 4、结语、结语 谢 谢 大 家！