中国晶圆的静电卡盘产业趋于进一步集中.docx

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1、中国晶圆的静电卡盘产业趋于进一步集中 一、市场规模快速增长，未来进口替代空间大 静电卡盘是半导体设备的核心组件之一，对于控制晶圆的温度（加热及冷却）至关重要。静电卡盘（简称 ESC 或者 E-CHUCK）具有高稳定性、晶圆平坦度高、颗粒污染小、边缘效应小等优势，目前已广泛应用在等离子和真空工艺的半导体工艺过程中。 下游集成电路产业的蓬勃发展及巨大的需求配合积极的国家产业政策与活跃的社会资本，正在全方位、多角度地推动ESC行业进步，为我国ESC厂商创造了机遇。行业需求不断增加，市场规模不断扩大，据统计2014年我国晶圆的静电卡盘市场规模为1197万元，2019年我国晶圆的静电卡盘市场规模增长至5

2、349万元。2014-2019年中国晶圆的静电卡盘市场规模走势 静电卡盘行业具有较高的技术、资金要求，呈现高度的垄断性，基本被国外品牌产品占据。我国晶圆的静电卡盘市场以进口产品为主。2018年，北京华卓精科公司完成PVD静电卡盘的研制，打破了国外对静电卡盘产品的工艺技术垄断，有望打破现有产业格局。相关数据表明，2019年我国进口产品规模为96.9%，未来国产产品进口替代空间大。2014-2019年我国晶圆的静电卡盘进口产品规模份额 二、国产静电卡盘技术突破 静电卡盘行业主要由美国AMAT、美国LAM、日本新光电气、日本TOTO等日、美国企业主导。我国静电卡盘参与企业相对较少，华卓精科静电卡盘产

3、品在国产制造商中处于领先地位。但国内很多高校、研究机构以及高新技术企业开始纷纷将目光投向静电卡盘的研究。其中较具代表性的研究高校包括清华大学、北京大学、大连理工大学、北京工业大学等，研究机构包括中国科学院微电子研究所、中国电子科技集团公司第四十八研究所等，参与静电卡盘研制开发的高新技术企业包括北方微电子公司、中微半导体设备有限公司、中芯国际集成电路制造有限公司、北京华卓精科科技股份有限公司等。 各方努力共同推动了我国静电吸盘（ESC）等半导体配套设备国产化稳步进行。静电卡盘从2014年的4台增长到了2018年的21台。除了北京华卓精密科技一家可以生产成熟的晶圆的静电卡盘产品外，其他企业如广东海

4、拓创新精密设备、北京软体机器人、浙江新纳陶瓷新材等公司的静电卡盘产品尚处于研发阶段，目前仅能进行静电吸盘的维修以及更换，生产方面尚不成熟。2014-2019年中国晶圆的静电卡盘行业产量情况 晶圆的静电卡盘行业客户主要是集成电路设备生产企业，需求也主要分布在下游较为集中的华东、华北地区。2014年我国晶圆的静电卡盘行业需求量约46台，到2019年增长到了131台。近几年我国晶圆的静电卡盘行业需求量情况如下图所示：2014-2019年中国晶圆的静电卡盘行业销量情况 未来产业趋于进一步集中 我国晶圆的静电卡盘行业发展时间不长，国内的技术水平与国际上的技术水平存在较大的差距。当前我国晶圆的静电卡盘技术突破有限，国内市场基本被国外龙头企业垄断。但随着中国静电卡盘技术研发的不断深入，预计未来中国有望实现技术突破，打破国外企业垄断的局面，实现进口替代。 未来，随着市场竞争进一步加剧，具有技术、品牌、人才和资金优势的厂商将通过资本运作的方式将成为潜在的行业整合者，行业内的兼并收购将不可避免。缺乏技术创新、服务能力和独特商业应用模式的企业将逐步被淘汰，竞争实力较弱的中小厂商数量将大幅减少，产业趋于进一步集中。