《ECVD教程》PPT课件.ppt

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1、工序培训教程工序培训教程2007年9月第一部分：安全知识氨气泄露紧急处理方案氨气泄露紧急处理方案硅烷泄露紧急处理方案硅烷泄露紧急处理方案一一.氨气氨气1.健康危害：健康危害：无水氨气是一种刺激性、无色、可燃的储存于钢瓶的液化压缩气体。氨气会严重灼伤眼、皮肤及呼吸道。当它在空气中的浓度超过15%时有立即造成火灾及爆炸的危险，因此进入这样的区域前必须排空。进入浓度超过暴露极限的区域要佩戴自给式呼吸器。大规模泄漏时需要全身防护服,并应随时意识到潜在的火灾和爆炸危险。2.中毒症状：中毒症状：眼接触：暴露在氨气中会对眼睛造成中度到重度的刺激。吸入 ：氨气强烈地刺激鼻子、喉咙和肺。症状可能包括灼伤感、咳嗽

2、、喘息加重、气短、头痛及恶心。过度暴露会影响中枢神经系统并会造成痉挛和失去知觉。上呼吸道易受到伤害并导致气管炎(封闭气路)。声带在高浓度下特别容易受到腐蚀，下呼吸道伤害会造成水肿和出血。暴露在5000ppm下5分钟会造成死亡。皮肤接触：接触蒸汽会造成刺激和灼伤。接触液体会造成组织冻伤并伴有碱性灼伤和脱水。皮肤长期或多次暴露会引起皮炎。3.急救措施：急救措施：眼睛接触：用大量的水冲洗，立即进行医疗处理。吸入：将人员移到空气清新处，若已停止呼吸，采用人工呼吸，若呼吸困难，则输氧，并迅速进行医务处理皮肤接触：用大量的水冲洗，立即脱掉被污染的衣服。如皮肤接触液体，脱掉被污染的衣服，用大量温水冲洗几分钟

3、，并立即进行药物处理。4.个人防护设备：通风：应有良好的自然通风或 强制排空，保证气体浓度低于暴露极限。呼吸系统的保护：当进入大规模泄漏区或浓度不明的区域时可用自给式呼吸器或接有正压气管的全面罩式呼吸器并随身携带紧急逃生用的钢瓶。对眼的保护:当搬运钢瓶时要佩戴安全眼镜。当连接、断开气路或打开钢瓶阀时需要防护眼镜和面罩。对皮肤的保护:当搬运钢瓶时要使用皮手套。当连接、断开钢瓶时需要橡胶或氯丁手套及化学防护服。当进入大规模泄漏区是需使用全身封闭防护服。紧急情况下需防火服和手套。其它防护 设备：当搬运钢瓶时建议穿安全鞋，现场需设有安全淋浴及洗眼器。5消防措施：立即撤离受影响的区域。移走所有可能燃烧的

4、物品并进行最大限度的防爆通风。如有可能,切断气源。隔离所有泄漏的钢瓶。若从容器内及泄压阀或其他阀门泄漏，则需与供应商联系。若泄漏来自用户系统，应关掉钢瓶阀门，在修复前一定要安全地泄压并用惰性气体吹扫。氨气可以用喷淋水来控制。然而，所用的水可能会被污染。所有救护人员都应有良好的保护。二二.硅烷硅烷 1危害性：危害性：硅甲烷为无色、具窒息性的气味、会与空气反应、有窒息性影响。与空气接触会自燃，燃烧时会释放出未结晶的二氧化硅浓烟。主要的健康危害是此气体在空气中会自燃且有潜在的剧烈燃烧危害。高温或火焰时，若钢瓶的释压装置故障可能引起钢瓶爆炸。若硅甲烷在高压下释放或在高流速下，可能与空气形成混合物而发生

5、延迟性的爆炸。2中毒症状中毒症状：吸 入：吸入高浓度的硅烷会引起头痛、头昏、昏睡、刺激上呼吸道。硅甲烷会刺激粘膜和呼吸系统。高度曝露在硅烷会引起肺炎和肺水肿。眼睛接触：硅甲烷会刺激眼睛，硅甲烷会分解产生二氧化硅。眼睛接触到微粒的二氧化硅会感到刺激。皮肤接触：硅甲烷会刺激皮肤，硅甲烷会分解产生二氧化硅。皮肤接触到微粒的二氧化硅 会感到刺激。3急救措施：急救措施：吸 入：施救前先做好自身的防护措施以确保自己的安全。如穿戴适当防护装备。将患者移至新鲜空气处，立即请人帮忙打电话求救，若意识不清将患者置于复苏姿势，不可喂食，检查呼吸维持呼吸道畅通，若呼吸停止由受过训练之人员施以人工呼吸，若心跳停止立即施

6、以心肺复苏术，或给予100%氧气，对患者保温，令其舒适，并不时监控其呼吸与脉搏，立即送医并告知医疗人员曾接触此物质。皮肤接触:脱掉受污染衣服，用大量水清洗患部，继续用水冲洗至少15分钟，若患者被灼伤，则以冷水冲灼伤局部，保持其凉爽，若患者之颜面、颈部、头部或胸部被灼伤，则需假设其呼吸道已灼伤，必须由合格医师紧急救助，结束时用干净衣物覆盖受伤部位，立即送医。眼睛接触：使用温水缓慢冲洗15分钟，并不时撑开眼皮冲洗，隐形眼镜必先除去或用水冲出来，用湿润棉棒将眼睛任何可移除之异物移除，冲洗完毕用干净纱布覆盖，并以纸胶布固定，立即送医。4消防措施：迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并隔离直至气体散尽，切断

7、火源。建议应急处理人员戴自给式呼吸器，穿一般消防防护服。切断气源，喷洒雾状水稀释，抽排（室内）或强力通风（室外）。如有可能，将残余气或漏出气用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱内。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。易燃易爆，在空气中能发生爆炸性燃烧，员工应迅速远离火场，如有条件下穿戴防护服，自给式正压呼吸器，切断气源，不可扑灭明火，如条件不允许，尽量用水冷却气瓶，防止气瓶爆炸5个人防护设备：呼吸防护：更换钢瓶时可使用正压，全罩式供气呼吸器具，紧急泄漏时，高浓度时吸入会引起窒息，在爆炸范围内禁止人员进入，紧急时使用自给式呼吸器。眼睛防护：全罩面镜、安全眼镜。皮肤及身体防护：

8、皮手套。紧急状况时穿防火手套及防火衣，泄漏时紧急处理时使用双层手套.其它保护设备：安全鞋、紧急冲淋器、紧急洗眼器。6泄漏紧急处理：疏散所有人员，切断电源及火源，如果没有风险关闭气源，打开紧急排风系统，再依据着火物质进行灭火。此气体在与空气接触时会自燃，释放出稠密的二氧化硅浓烟。使用水雾降低在空气中燃烧产物的形成。针对硅烷的火灾，水可能不是有效率的灭火剂。切勿将水柱直接喷向燃烧中的硅烷，因其可能形成可点火或爆炸之混合物，而增加危险。若有可能止住泄漏。未关闭泄漏之气源前，勿尝试灭火，这将可以避免混合的可燃性气体浓度累积或再点燃的可能性。若是微漏，又无法止漏，对人员有危险性不大，让泄漏之火焰自行烧完

9、毕。在适当的距离喷洒大量的水以冷却附近的钢瓶，及泄漏钢瓶本身，直到火焰自行烧完。大火时，必须在远距离以无人操作的洒水设备扑灭大火。灭火人员须戴安全眼镜、空气呼吸器、全身性的防护装备，包括防火衣。如有需要，灭火后的设备可用肥皂及水清洗.第二部分：工作流程及操作一、工序目的二、工艺描述三、操作过程一、工序目的：在硅片表面沉积一层起减反射和钝化作用的氮化硅膜。二、工艺描述 1.工艺原理 本工艺过程是使硅烷（SiH4）和氨气（NH3）在高频2.46GHz和低压条件下，变为等离子体，从而进一步生成氮化硅沉积于硅片表面，起到减反射和钝化的作用。反应如下：3SiH4+4NH3=Si3N4+12H2 （高频、

10、低压）。实际上生成物并不是完全的氮化硅（Si3N4），而是其中还有不定比例的氢原子（H），所以严格的分子式应为SixNyHz。2.工艺条件冷却水压强为0.4MPa,氮气压强为40psi,压缩空气压强5kg/cm2，硅烷压强为20psi,氨气压强为40psi.psi表示磅每平方英寸。3.工艺方案工艺内容包括：射频频率（2.46GHz）、射频功率、氨气流量、硅烷流量、传输速度、腔室压力、腔室温度。注：工艺方案会随车间的工艺调整而变化，车间工艺人员会及时通知。三、工作流程1、工艺准备：A.工艺洁净管理进入车间必须穿戴工作服，操作时戴洁净的手套、口罩。并且保证每班清理现场及设备卫生，以保证车间的洁净度

11、。B.设备准备确认设备正常运行,工艺温度、冷却水压力、特气压力及流量正常.C.原材料准备检查HF清洗后的硅片,将合格硅片用镊子放入石墨舟准备生产.不合格片不能投入.常见的不合格片包括崩边、缺角、裂纹、锯痕、斑点、斑痕、尺寸不合格等.D.工装工具准备备齐用于工艺生产的石墨舟、隔热手套、口罩、镊子等。E.确认设定的PECVD工艺程序，并开始自动运行工艺.2、工艺操作1.手动装片戴好清洁橡胶手套后一手拿片篮一手用镊子将合格的硅片依次平稳放入石墨舟内.注意事项:操作时务必轻拿轻放.以防止产生裂纹和碎片,并保证手不要接触硅片的两个表面,防止沾污。2.手动装舟两人戴好隔热手套,水平地端起石墨舟将其慢慢平稳

12、地放在入口处的转轮上,用手慢慢将其推到离预热腔室门大约10厘米处（指示灯亮起即可），等到预热腔室门打开后，将石墨舟慢慢推入预热腔室。尽量减少传输中的颠簸。3.工艺循环 重复2的操作，按照设定工艺程序进行工艺循环,此过程为自动运行，直至石墨舟从下部传输带传出。注意事项:工艺过程中应循环检查设备运行情况，气体流量、加热温度、微波泄漏等参数情况。4.手动卸舟设备自动出舟后，两人戴好隔热手套,慢慢拉出石墨舟水平抬起放在不锈钢桌台上。注意事项:刚出来的石墨舟温度较高，防止烫伤.5.手动取片首先用镊子轻压硅片一侧将硅片从石墨舟的卡槽里翘出，然后用镊子将硅片翻过察看颜色是否正常，是否有裂纹等，最后将合格的硅

13、片放入泡沫盒。注意事项：压硅片时一定要轻，防止将硅片压碎造成浪费。6.将合格硅片与随工单一齐转下工序。严禁不合格硅片转入下道工序。注意事项：常见不合格硅片有崩边、缺角、裂纹、碎片、变色、斑点、穿孔、颜色不均匀等。九.安全操作1.员工须经相关专业培训后方能上岗，且严格按照本工序设备安全操作规程和工艺操作规程作业。2.硅片的装卸应该在标准为三十万级的洁净环境下进行，注意保持车间及操作台洁净度，进车间前要风淋，进出车间时随手关门。3.员工操作时不可触摸硅片表面，装取片的镊子也要保持洁净。4.装取舟时必须戴隔热手套，两人配合将舟平稳放到操作台上。工作流程 1.班前会留出必要人员工作外，其他交接班员工和接班组长列队站立，由交班组长传达公司及车间命令，讲述生产和设备情况及其它需要注意得事项，做到简单明了，政令畅通。交接内容：交接记录本工作日志生产工具半成品环境卫生生产设备运行是否正常，都有哪些故障，维修进度如何。F、车间的各种指示G、生产任务的安排H、生产质量有何问题，在什么情况下发生的，有没有解决的方案I、工艺参数有无变化J、卫生状况如何。3.班前检查：检查氮气、硅烷、氨气、冷却水、设备主体、真空泵等是否处于正常工作状态。4.其它工作准备，如生产表格的打印、劳保用品的领用。5.操作流程