基于飞秒激光的表面微纳加工技术综述与展望.docx

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1、 年 月 第 卷 第 期装 甲 兵 工 程 学 院 学 报ral Aa Arr r Eiri l N文章编号：-（）-基 于 飞 秒 激 光 的 表 面 微 纳 加 工 技 术 综 述 与 展 望董世运， 刚肖， 闫世兴， 王斌（ 装甲兵工程学院装备再制造技术国防科技重点实验室， 北京 ）摘 要：飞秒激光脉冲宽度超短、峰值功率超强，在表面微纳加工领域得到了广泛的关注和应用。 简述了飞秒激光 诞生至今的应用概况，然后依据不同的加工对象（ 金属、透明材料、聚合物） 阐述了飞秒激光与其相互作用的机理， 从激光烧蚀、双光子聚合加工、飞秒激光微纳加工系统 方面对飞秒激光表面微纳加工技术进行了综述，最后探

2、讨 了待解决问题并进行了展望。关键词：飞秒激光； 表面微纳加工； 激光烧蚀； 双光子聚合中图分类号：N文献标志码：ADOI： i-Status and Prospects of Surface Micro-Nano Fabrication Technology Based on Femtosecond LaserN hi-， AN ia， AN hi-i， AN i（ Naial arar r aari hl， Aa Arr r Eiri， ii ， hia）Abstract：h lrahr l ih a rr a r lar ha il r a ali i h ir -a ariai ilh

3、 aliai a lar i ri i i i i ， a h irai hai arial a la - r i ri ari ir ri （ al， raar arial a lr ）h ra ir-a ariai hl lar i ari i hr a ： lar ala- i， -h lriai， lar ir -a ariai iall， h ial rl a ri ar i Key words： lar； ra ir-a ariai； lar alai； -h lriai表面微纳加工技术是在材料、机械、电气和生物 医学等基础上发展起来的前沿交叉技术，加工内容试提升激光的质量，其中最

4、主要的工作就是研究如 何缩短激光的脉冲宽度并提高峰值功率。 年， 包括特征尺寸在 之间的微纳米器件、人们首次在染料激光器中实现了飞秒（ ） 量级微纳米尺度的微结构和表面微纳织构等。 目前，已的激光脉冲输出。 作为典型的超短脉冲激光，飞 有诸多技术如微注塑成型技术、 高能束（ 电子束、 激光、等离子体等） 刻蚀技术和电气化学微加工 等得到了实际应用，但它们都受到技术本身及加工秒激光（ lar ） 在多个领域受到了广泛 关注，关于其应用的研究也从未间断。 目前，飞秒激 光技术已在视力矫正、白内障治愈手术 和超快过 环境的限制。 激光刻蚀是一种非接触式的微纳加工程探测 等领域展开了实质应用，在高爆危

5、险品切 技术，通过激光与材料相互作用产生热效应和光子割、激光引发核聚变和信息存储非线性晶体的超 吸收效应来去除作用区域的材料，进而实现对作用衍射极限微结构等领域取得了突破性研究进 对象的三维立体加工或表面形貌改变 。 自 世纪 年代激光诞生以来，人们不断尝展。 但事实上，基于飞秒激光脉冲宽度短、峰值功率 高等特点的微纳加工技术才是实现这些应用的基收稿日期： 基金项目：国家“” 计划项目（ ）作者简介：董世运（ ） ，男，研究员，博士。 装 甲 兵 工 程 学 院 学 报第 卷础，且其应用领域十分广泛，涵盖了生物医疗 、光 电信息 、机械制造 和 打印 等多个领域。基于此，笔者通过对比多种微纳加

6、工技术，归纳 了飞秒激光加工特性，进而对飞秒激光与金属材料、 透明材料和聚合物等相互作用的理论进行研究，总 结出飞秒激光表面微纳加工技术的国内外研究现 状，提出面临的问题及前景展望，以期为后续研究提 供建议和研究方向。1飞秒激光微纳加工特性飞秒激光微纳加工技术涉及激光、材料加工和 自动化控制等多个领域，是一种具有独特优势的微 纳加工新方法。 与其他加工技术和以往的普通激光 刻蚀技术相比，飞秒激光微纳加工技术具有如下加 工特性：） 加工精度高，尺寸小。 图 为飞秒激光微纳 加工突破衍射极限示意图 ，可以看出：飞秒激光 作用下可得到的最小烧蚀直径是中心波长的 甚至更小。 因此，可突破其衍射极限，实

7、现高精度、 高分辨率的微纳加工。） 热效应小 。 传统的光刻技术受技术或设 备局限，能量集中程度不够高，多产生较大的热影响 区，易造成热损伤。 飞秒激光的优势在于，其单脉冲 能量小且与材料的作用时间极短，因此产生热效应 很小，近似于冷加工。） 加工对象范围广。 经过聚焦之后的飞秒激 光具有超高的光强，远高于大部分材料的破坏阈值， 因而可加工材料不局限于光刻胶、金属材料等，几乎 适用于所有材料 。） 工艺简单且绿色环保。 该技术无掩膜、无需制 造模具，可对材料直接加工，工艺简单；同时，加工过 程产生废料极少，无污染，属于新兴绿色加工方法。图 飞秒激光微纳加工突破衍射极限示意图2与不同材料的作用机

8、理与长脉冲激光加工过程 不同，飞秒激光的平 均能量低，峰值能量高，以掺钛蓝宝石飞秒激光器为 例，经过啁啾放大技术和聚焦后的激光峰值功率密 度高达 。 超短脉宽、超高能量密度这 两大特性使得飞秒激光在与不同材料加工过程的作 用机理有别于长脉冲激光。21作用于金属 一般认为，飞秒激光作用于金属过程中发生了 线性吸收和雪崩电离现象。 激光的能量被自由电子 吸收，并演变为电子子系统（ ） 的加热过 程。 针对飞秒激光与金属作用的机理研究，科学家 们提出了多种模型和方法进行探索，如表 所示。表 1 针对飞秒激光与金属作用的几种理论模型与方法机理模型或方法代表性研究者 年份简单阐述 双温模型Aii，ali

9、ih 和 rla描述电子与晶格的温度变化阈值理论Mr能量密度达到一定值后才发生烧蚀现象热电子爆炸模型Aal 和 EMihh描述金属超快变形，揭示非熔融态在烧蚀过程占支配地位 液相爆破MNaha，laa 和 Mra材料以液体和蒸汽形式喷射泵浦探测技术aalia利用超快泵浦技术探测温度变化、热扩散率等 分子动力学模拟，Ar 和 i双温模型与分子动力学结合描述烧蚀材料内部原子位型等Aii 等 提出的双温模型是研究超短脉基于一维非稳态的热传导方程，针对光子与电子、 冲激光与材料相互作用机理的经典模型， 该模型电子与晶格之间复杂的相互作用过程列出了微分 第 期董世运， 等： 基于飞秒激光的表面微纳加工技

10、术综述与展望方程组。 假设激光能量为一定值， 则双温方程可 表示为种子自由电子吸收能量、碰撞电离，并产生新的 自由电子，依次循环往复，而自由电子相互碰撞发生抄 抄 抄 电离逐渐形成等离子体。 等离子体中的电子通过逆C 抄t T 抄xk 抄xT g（ T Ti ） A（ x，t） ， （）C 抄 T g（ T T ） 。（）i 抄t ii 式（） 描述电子系统的温度变化规律，式（） 描述晶 格的演化过程。 式中：T 、Ti 分别为电子与晶格的温 度；Ci 、C 分别为晶格与电子的比热容；k 为电子热 传导率； A（x，t） （ R） g（t） （ x） ，为激 光热源项，其中 R 为靶材的反射率

11、，为靶材的光学 吸收系数，g 为靶材的电声耦合系数。液相爆破理论 可能是解释飞秒激光加工金 属材料最合适的机理：飞秒激光引发高度激发的自 由电子和离子，产生微米尺寸的等离子体；随后，限 制在材料内部的等离子体膨胀至周围材料，产生爆 炸，形成冲击波，并产生气泡；同时，声波产生压力， 与中心气泡分离，中心气泡不断膨胀并最终塌陷，过 程结束。双温模型主要从电子和晶格等微观角度进行分 析，液相爆破和阈值理论则主要从能量输入角度展 开分析。 另外，也有学者从分子动力学角度进行模 韧致辐射吸收的方式吸收激光能量，逐渐被加热到 极高的温度。 随后，电子将能量传给晶格，晶格快速 升温成为过热液体，达到热力学临

12、界温度时发生爆 炸性的破裂，产生气体和小液滴组成的混合物而从 材料表面脱离，材料发生改性。 飞秒激光与透明材 料相互作用过程中呈现出多种强烈的非线性效应， 如自聚焦、自相位调制、群速色散和白光超连续谱 等 。23 作用于聚合物 聚合物中的多键吸收过多能量后发生断裂，由 此出现烧蚀现象 。 美国学者 arr 等 指 出激光烧蚀阈值有一个等价条件，即当所吸收的光 子数密度等于发色团密度时，标志着已达到阈值条 件。 日本学者 Naara 等 研究了四氟乙烯和六 氟乙烯对能流的依赖关系，运用钛宝石激光器改变 脉冲间隔参数进行实际操作， 发现 光子吸收在 时占据主要地位。 德国学者 aah 等 则 引入

13、累积模式，研究表明：烧蚀阈值与脉冲次数有极 大的关系，即单脉冲时能流值应较大，而多脉冲时应 拟研究，如：rihi 等预测了等离子体的膨胀 采用较低的能量伴以较多的脉冲次数才能达到烧蚀 速度、蚀除速度与光强化之间的规律；a 分析 了靶材空穴产生的原因，提出了一种阻止压力波反 射的新方法，即施加一半无限体于材料的底部边界。 刘璇等 采用该方法对飞秒激光与铜金属（ 面心立 方） 作用过程进行了描述，确定了蚀除阈值并且预 测出熔深随时间上升的基本规律和趋势，发现了过 热现象的存在。 但分子动力学的方法目前研究还不 够透彻，有待深入。 总体来说，飞秒脉冲激光加工材料为直接蒸发， 无需经过熔化阶段，因而与

14、固体熔点无关。 但限于金 属的不透明性，针对金属的微纳加工仍为二维 。 22作用于透明材料透明材料只能对飞秒激光能量进行非线性吸 收，其非线性光学过程有多光子电离和雪崩电离 种方式。 激光作用下，透明介质中的一个价电子同 时吸收光场中多个光子后，获得高于带隙的足够能目的。3飞秒激光微纳加工的研究现状假设聚焦后的激光束衍射极限光斑直径约 ，则降低光束光强后的实际加工范围理论上应小 于 ，精度提高了 个数量级 。 短脉宽、 高精度和低热输入等特点使得飞秒激光得到了广泛 应用，主要集中在激光烧蚀、双光子聚合微纳加工和 飞秒激光微纳加工系统 个方面 。31激光烧蚀飞秒激光烧蚀的常见对象有金属、石英和陶

15、瓷 等刚性材料 。 影响飞秒激光烧蚀质量的主要参 数有激光能量密度、波长、脉冲宽度和偏振形式等。 激光能量密度由激光功率密度的定义可知：激光功率密度 单脉冲能量 光 斑面积。 德国汉诺威激光中心的 量，从而摆脱束缚成为自由电子，此过程称为多光子hi 研究小组对比分析了纳秒、飞秒脉宽条 电离 。 该自由电子作为碰撞电离的种子电子而 发生雪崩电离，即自由电子密度犹如雪崩一样呈指 数增加的现象 。件下对铝、铁和铜等金属材料微细加工的效果，如 图 所示。 可以看出：激光能量密度更高的飞秒激 光具有更清洁的孔边缘和形貌。 装 甲 兵 工 程 学 院 学 报第 卷在此基础上，人们将飞秒激光诱导周期结构与

16、光干涉技术相结合，在合适的能量和脉冲参数条件 下可用来制备二维周期结构。 目前已经能够制备出 具有六角形、周期条纹、三角形和纳米颗粒等形貌的 周期结构，如图 所示。图 纳秒激光与飞秒激光的钻孔质量对比王禹茜等 以 i 陶瓷为对象对不同激光功 率密度条件下加工微孔的圆度和直径进行了分析， 结果表明：随着功率密度的增加，入口圆度均不低于 ，而出口圆度则随之提高并稳定在 左右； 同时，微孔直径也逐渐增大，但增幅较小。 研究 指出：当功率密度增加时，呈高斯分布的激光能量的 有效作用区域直径会变大，表明对材料去除能力更 强。 波长飞秒激光烧蚀金属、半导体表面可诱导形成周 期条纹结构。 针对这一现象，人们

17、试图利用一些模 型来解释表面微纳米结构产生的深层原因，其中包 括干涉模型、分子动力学模型、库伦爆炸 自组织模 型和氧化模型等 ，但结果都不太理想。 图 氧化锌表面双光束干涉制备二维周期结构 脉冲宽度脉冲宽度是区分飞秒激光、皮秒激光与纳秒激 光等脉冲激光的时间尺度。 张菁等 在综合考虑 了前人对电子密度衰减机制研究的基础上 ，对多 光子电离和雪崩电离过程进行了模拟计算， 分析ri 等报道了在多种复合半导体材料得出：脉冲宽度与多光子电离过程的自由电子比 表面，分别利用波长为 、 、 的飞秒 激光脉冲，均获得了小于入射光波长的周期性波纹。 波长对条纹周期有重大影响，条纹周期与激光波长例呈正比关系，

18、即脉宽越大，该比例也越大， 表明 多光子电离作用增强；反之，表明雪崩电离起主导 作用。的依赖关系 如图 所示。朱诗佳等 利用分子动力学方法，以、图 条纹周期与激光波长的依赖关系此外，飞秒激光的波长也会影响材料的光吸收、 的不同脉宽条件烧蚀 厚的 结 构镍钛合金，研究其相互作用机制，运行结果显示： 脉宽大小带来了热影响区的变化，脉宽越大，中心处 电子升温越慢，晶格温度峰值反而越大。 偏振形式常见的激光加工偏振形式有圆偏振和线偏振。 吴东江等 在石英玻璃上开展实验，通过调节扫描速度和线重叠率来研究 种偏振形式对烧蚀线宽的 影响规律，如图 所示。 结果表明：圆偏振条件下的 线宽要小于线偏振，且这一差

19、异随着激光功率的增 加更为明显；当线重叠率为 时，圆偏振光特性以及烧蚀结果。 陈洪新等 研究了可见光区，烧蚀后的表面粗糙度要大于线偏振光，且随重叠率和近红外区的 i 材料烧蚀阈值，结果发现：在可见 光区，烧蚀阈值随波长的增加而增加，而在近红外区增大而提高。 影响烧蚀加工形貌的参数还有脉冲次数 则基本不发生变化；依据计算结果分析得出光致电部气体环境 和入射角度 等。 如 ia 等分别 离和碰撞电离的作用导致了上述现象。研究了在酒精浸泡和空气环境下飞秒激光诱导硅的、外第 期董世运， 等： 基于飞秒激光的表面微纳加工技术综述与展望图 不同偏振形式下线宽随功率的变化规律周期性表面结构随入射激光脉冲个数

20、的变化规律， 但对该现象出现的原因并未作详细的解释。32双光子聚合微纳加工双光子吸收是指在光强足够强，物质与光相互 图 双光子聚合方法制备的部分二维及三维结构表征图33飞秒激光微纳加工系统 自飞秒激光出现以来，随着啁啾放大（ hir l Arliai，A） 技术、钛宝石晶体增益介质 和克尔透镜锁模（ rr Ml，M） 技术等的 发展，飞秒激光器也从最初的染料激光器发展到现 在的光纤飞秒激光器和全固态泵浦飞秒激光器 。 飞秒激光微纳加工系统由飞秒激光器（ 含振荡器、 展宽部分、放大器等），光路传输部分（ 光纤或光学 组件） 及配套的加工系统以及辅助设备组成。 为满足科研需求和工业应用，国外许多单

21、位在 飞秒激光器研制方面加大了研究力度，如：法国 A- li 公司、德国 r 公司、英国 ar a 公司和美国 Aal hi 公司等研制 生产的激光器范围基本上涵盖了几飞秒到几百飞作用过程中同时吸收 个光子的现象。 双光子秒，但真正达到 甚至更短的少之又少，因此这 聚合微纳加工分辨率高，热影响区小， 可无掩膜加 工，是真正的三维微加工 。 aa a 领导的研 究小组于 年将飞秒激光高度聚焦后照射到感 光聚合树脂材料上，成功地在树脂材料上光硬化出 长 、高 的三维立体公牛图。 此后，许多 科学家看到了双光子微纳加工的独特魅力，相继制 也是目前的研究重点。 此外，飞秒激光器的稳定性 也在逐步提升，

22、如 A 系列的激光器具有 年的种子光平均无故障使用时间，这使得其寿命大 大延长，间接地降低了飞秒激光的使用成本。在配套的飞秒激光微纳加工系统研制方面，国 内也主要以从事超短脉冲激光研究的科研院所为 造出了不同结构的微纳器件或形貌。 袁大军等主，如：陈国夫等研制了一套飞秒激光三维光存 和王新林 分别制作出了纳米级的齿轮、微型支撑 储写入装置；何飞等 发明了一套飞秒激光快速加 架和微型悬臂梁。 利用纳米印刷技术，先工装置；周明等发明了一种并行飞秒激光双光子 后加工出了二维的骏马造型和英格兰地区的地形轮 光聚合微纳加工方法及其装置。 这些发明装置对飞廓图。 i 等利用低于衍射极限的激光束，制备了秒激

23、光微纳加工技术具有极大的推动作用，同时也 大面积的复杂微纳结构，得到星形以及“ ” 形的结 构，该方法可同时生成 万个相同的结构。 贾雁 鹏等 利用飞秒激光双光子微纳加工技术与化学 镀工艺制备了三维金属微弹簧结构。 部分结构表征 图如图 所示。为后续工作给予启发。4展望利用飞秒激光进行表面微纳加工是当今研究热 点，也是今后发展重点。 目前，飞秒激光微纳加工依装 甲 兵 工 程 学 院 学 报第 卷然面临着工艺水平有待优化、设备昂贵和加工效率 较传统表面加工技术低等问题。 但随着激光技术发 展和激光器制造水平的提升，飞秒激光微纳加工技 术将在以下领域获得进一步发展：） 精密微纳器件的加工制造。

24、航天科技、高速 信息化技术等领域都需要更为精细、稳定的微纳零 件或器件，飞秒激光的优越性能将在其中得以发挥。 ） 大面积表面微纳结构的制备。 不同的材料 结合相应的表面微纳结构，可广泛应用于超疏水自 清洁表面、装备防污防腐、新型吸光材料等方面 。 ） 打印时代的新方式。 利用双光子光聚合 技术可进行微纳结构的 打印，同时飞秒激光的 峰值能量密度较高，有望在微金属器件 打印方面取得突破。） 绿色再制造行业。 利用飞秒激光的加工特 性去修复受损的零件微小部位，或者重新刻划修复 光波导、精密零件等。参考文献： 王立鼎，刘冲，徐征，等聚合物微纳制造技术 M 北 京：国 防工业出版社，： 陈果夫，程光华

25、，令维军飞秒激光产生与 放大技术 红 外 与激光工程， （） ： 陈锦泰飞秒激光 产 生 与 放 大 技 术 光 学 与 光 电 技 术， ， （） ： 韩永昌飞秒强激光场中双原子分 子电离与解离动力学研究 大连：大连理工大学， ， r ， ， ali a Mahii E- ri Marial ih a ar rlla， E- li，rhi， （ ） ： 林尊琪激光核聚变的发展 中国激光， （ ） ： ， ha r-a Elr-i ali rahr a Ali hi r，（）： i ， Maahir ， ， al ar-i rii Narr rai E ra r rlli ll rai Ali

26、 hi A， ，（ ） ： 李艳娜，陈涛，潘安，等利 用飞秒激光辐照结合湿 法腐 蚀 方 法制备高纵横比全硅槽的研究 中 国激光， ， （ ） ： 刘春生，李明星，齐 立 涛飞 秒 激 光 烧 蚀 不 锈 钢 的 实 验 研 究 机械设计与制造， ，（ ） ： ia ，h M ， ， al Malli Mir-ri ariai a -h Mir a ariai Mh a Elrl lai hi ai i a h- -hir， ，（ ） ： 王新林飞秒 激 光 烧 蚀 金 属 材 料 特 性 与 微 零 件 制 备 研 究 武汉：华中科技大学， 李岩飞秒激光微纳加工制备研究 长春：吉林大学， 杨

27、建军飞秒激光超精细“ 冷” 加工技术及其应用 激光 与 光电子学进展，（） ： 李亚宁，李嘉宁激 光焊 接 切 割 熔 覆技 术 M 北 京： 化 学 工业出版社， ： a ， Mi ， ia ， alE ial ii Mirrr ha a Mrhl i - ar Mli-l Alai Mal Ali r- a i， ，（） ： Aii ， aliih ， rla ， alElr Eii r Mal ra E lra -hr ar l h E， ，（） ： Mr ar Alai a Mir-ahii ih lrahr ar l EEE a Elr， ，（ ） ： al A， Mihh E El

28、r-lai ii Mal a lrahr ar l Al r i， ，（） ： Naha M， laa ， ra Mha Eli r lrahr l ar Alai： Mli ih Aali M- aal a Ml Ali ra i， ，（ ） ： aalia ， ia A， il ， alhral iii a Eii hi ar i i -ai hrrl- a hi i ， ，（ ） ： ， r A， i ， al -aa ai-i- ah ra i a Aii ilai ar rraiai A il- ra Ali hi A， ，（） ： rihi ， hiaa M， a ， alA aa

29、l Eir ar Alai i Erial a M ilai MhMar h h， ，（） ： a hral a hral Mhaial ha i i- ar r rai ri h AME-ME hral Eiri i r aaii， A： AME-ME， ： 刘璇，王扬飞秒激光蚀除金属的 分子动力学模拟 微细 加工技术， ， （ ） ： 王扬，刘璇，韩荣，第分 子动力学在研究激光蚀除机制中的 应用进展 微细加工技术，（ ） ： 张志刚飞秒激光技术M北京：科学出版社，： 蔡君古飞秒激光与透明晶体作用 机理及微加工可行性研究 曲阜：曲阜师范大学， hlr M， Mlla A i lrahr l

30、ar Ala-i Marial ar Ali，（） ： 石顺祥，陈国夫，赵卫，等非 线性光学 M 西 安： 西 安电 子 科技大学出版社，： 陈国夫飞秒激光与透明介质的 相互作用 物 理，（） ： 倪晓昌，王清月飞秒激光 烧蚀研究进展 激 光与光电子第 期董世运， 等： 基于飞秒激光的表面微纳加工技术综述与展望学进展， ，（ ） ： arr ， i hr r h Ehi rai Ma- rial lrail ar l Ali hi r， ，（） ： Naara ， Miriaa ， aai ， alE l rai Alai hararii ral-rhl - lr il i i： ahir a

31、r Ali hi， ， （A） ： aah ， ， riir ， allrahr l ar A- lai lara a lriai Ali ra i， ，（ ） ： 张兴权，周建忠，王 广 龙飞 秒 激 光 在 材 料 微 加 工 中 的 应 用 电加工与模具，（ ） ： 黄佑香，张庆茂，廖健宏， 等飞 秒激光微加工 技术 的评 述 与 展望 金属热处理，（） ： 杨海峰飞秒激光微纳加工技术与 应用研究 镇 江： 江苏 大学， 吴雪峰飞秒激光烧蚀金属的理论 与试验研究 哈 尔滨：哈尔滨工业大学， 王新林，戴能利， 李 玉 华， 等金 属 玻 璃 飞 秒 激 光 烧 蚀 特 性 中国激光， ，

32、（） ： Aaa A， Nia N Nar Alai Ni lrahr l： Mllar ai ilai Ali ra i， ，（ ） ： 王禹茜，张军战，刘永胜，等飞秒激光工艺参数 对加工 i 陶 瓷微孔的影响 中国激光，（） ： 姜涛，赵清亮， 董志伟， 等飞 秒激光与宽带隙材料相互作用 机理研究 红外与激光工程， ，（） ： 王文君飞秒激光金 属加工中的形 状 及形 貌 控制 研究 西安：西安交通大学， 黄永光飞秒 激 光 诱 导 金 属 表 面 微 纳 米 结 构 的 基 础 研 究 北京：北京工业大学， ri A， Ma alh il rai h ra ir rraia ih - ar l Ali hi r， ， （ ） ： 彭娜娜，霍燕燕，周侃， 等飞 秒激光诱导自组 织纳 米周 期 结 构及其光学特性的研究进展 物理 学 报， ， （ ） ： 陈洪新，贾天卿，黄敏，等 飞秒激光的波长对 i 材料烧蚀的 影响 光学学报，（ ） ： 陶海岩飞秒激光固体材料表面微纳 结构制备及其功能特性 的研究 长春：长春理工大学， 张菁，陈建国，冯国英，等飞 秒脉冲的破坏阈值研究 激 光杂志， ，（） ： Mi ， airia M， h N， allraa Elr a- i i ial ra