微电子专业各高校概况.doc

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1、微电子专业几所热门院校特色介绍从上世纪90年代后期逐步热起来的微电子专业，目前依然热度不减。各大高校顺应微电子产业的发展需要，纷纷成立独立的微电子系和学院，开办了许多与集成电路产业关系密切的二级学院(如北京大学的软件与微电子学院、电子科技大学成都学院等等)。以下将介绍国内数所开设有微电子研招专业的院校，以及它们的研究方向，供参考。 北京大学微电子学系国家大力支持的重点学科点北京大学微电子学系，又称微电子学研究所(院)，有着源远流长的学术传统。1956年，由著名物理学家黄昆院士在北大物理系领导创建了我国第一个半导体专业机构，之后在我国著名微电子专家王阳元院士的带领下，北京大学微电子学系发展成为我

2、国培养高水平微电子人才的一个重要基地，是国家的重点学科点。【硬件环境】三大重点实验室国内领先北大微电子学系有着国内一流的科研硬件设施，有微米/纳米加工技术国家级重点实验室、北方微电子研究开发基地新工艺新器件新结构电路国家计委专项实验室、北京市软硬件协同设计高科技实验室三大重点实验室，还有MPW(多项目晶圆)中心平台。【师资科研】科研小组特色明显北大微电子所下设SOI、SOC、ASIC、MPW中心、MEMS、新器件、可测性、宽禁带、纳太器件等多个研究小组。所长王阳元院士是中国微电子产业的奠基人之一，目前出任中芯国际的董事长。SOI研究组的研究领域有SOI技术、纳米量级新结构器件及制备工艺技术，以

3、及射频电路技术。黄如教授是北京市优秀教师，目前为IEEE EDS(Electron Device Society)和ADCOM (Administrative Committee)的成员，主要科研方向是SOI，但同时也指导学生进行射频方面的研究。廖怀林教授专门从事RF电路方面的研究，功底深厚。该研究组掌握了国内科研界最先进的加工技术(流片基本上采用0.13微米工艺)，研究生博士生已有多篇文章发表在国际高水平刊物上。SOC研究组在敦山教授领导下，拥有北京大学-安捷伦科技SOC测试教育中心和北京大学-安捷伦科技SOC测试工程中心两大平台。于老师虽然是研究微处理器，但在系统方面也有很深的造诣。重视工

4、艺是北大微电子所的传统，所里不少老师是学物理出身的，对于器件工艺十分重视，再加上最先进的微米/纳米加工条件，因此该所的微电子器件加工工艺一直保持着国内领先水平。新器件组在刘晓彦、康晋锋两位教授的带领下，主要进行新型半导体器件结构、材料、工艺、模型、模拟等方面的研究。他们成功研制了多种新结构半导体器件，在超精细栅、新型金属栅和高K栅介质结构、制备工艺、可靠性、高速互联方面都取得了一系列创新成果。在器件的模型、蒙特卡罗模拟以及新型存储器方面的研究都堪称一流。MPW是近两年新成立的一个研究组，是依托北大微电学研究院的技术力量建立的一个服务于各高校、科研、企业的平台，目前由盛世敏教授和张钢刚教授指导学

5、生开展工作。盛教授是当年王院士的同事，也是北大微电子所的奠基人之一。MPW组的研究生，有从事数电、模电工作的，也有从事ADC、提取参数、建立模型库方面工作的。MEMS组是目前北大微电子所里规模最大的一个组，有RFMEMS、MEMS陀螺、微流体芯片、生物MEMS、NEMS等多个研究方向。北大MEMS组的加工工艺在国内高校领先，组内的李志宏教授、张大成教授等多位老师对工艺有很深的研究。李志宏教授是MEMS研究所所长，在RFMEMS和微流体芯片方面都有研究；闫桂珍教授是国内MEMS陀螺研究方面的权威；张大成教授对微电子IC工艺和MEMS工艺都有丰富的实践经验，同时也是微米/纳米加工实验室的负责人。该

6、组的“基于MEMS 技术及应用研究”曾获得2006年度国家技术发明二等奖，是北京大学第一次以“第一完成人单位”获得的国家技术发明二等奖。【招生信息】北大微电子学专业2007年招收硕士生105人，其中校本部25人，深圳研究生院80人。从今年开始，没有达到微电子专业分数线的考生，只要过了北大研考理学类总分数线的都可以转报微电子工程硕士，工程硕士招生总人数为100人。清华大学微电子所全国微电子学领域首个重点学科点清华大学微电子学研究所成立于1980年9月，第一任所长由全国著名半导体物理学家、中科院院士李志坚担任。该所是国家重点支持的北方微电子研究开发基地的主要组成单位，是高素质微纳电子科技人才的培养

7、基地，1988年被定为全国微电子学领域第一个重点学科点。【硬件环境】两条集成电路工艺加工线清华大学微米/纳米技术研究中心拥有一条4英寸1微米级集成电路工艺线，具有完备的MEMS加工技术与设备，主要用于加工与MEMS器件相关的项目流片。另外还有一条集成电路开发与工业性试验线，主要进行各类新型SiGe微波功率半导体器件与集成电路以及其他特殊用途的硅集成电路的研究开发，并且可以提供MOSMPW(MOS多项目晶圆)服务。【师资科研】器件和设计实力最强清华大学微电子所主要分器件、工艺、设计和CAD四个研究方向。在这四个研究领域中，该所器件和设计实力最强，研究资金丰厚。器件方向，主要强在理论，其研究方向包

8、括新器件结构与模型、新材料与工艺、新概念与原理，其特点在于新材料和新器件方向结合、LIGA技术与传统IC方向结合、微纳米级器件设计与小尺寸器件模型建立相结合。微纳器件与系统研究室目前由任天令教授主管，研究方向包括MEMS、新型半导体存储技术、纳电子与自旋电子学和微纳电子技术新材料等。在MEMS研究方面，器件组是国内惟一重复出当年的静电微马达的科研单位。工艺方向，包括了研究传统的CMOS工艺技术以及一些新型的工艺技术如数模混合工艺等等。其中的集成电路开发与工业性试验线由刘志弘教授任主任，该组的主要研究方向是：深亚微米集成电路制造、SiGe技术、非挥发性存储技术、POWER器件及集成电路，以及集成

9、电路生产自动化控制等。设计方向更偏向于工程。在各大高校中，清华的电路设计是一流的，与各大公司、研究所以及国内外foundry都有较多的合作，研究课题涉及数字多媒体、神经网络及模糊电路、高层次综合技术(原大唐总裁魏少军在这个方向为北大清华的研究生开有任选课)、IC测试、多媒体VLSI、加密电路及CPU等等。集成电路与系统设计研究室由王志华教授领导，研究领域为集成电路与系统设计方法学、模拟和射频集成电路设计、通讯集成电路设计和高速实时信号处理。 CAD技术研究室的主任为王燕教授，该组的主要研究方向有：极小尺寸MOS器件输运机理研究、纳米级量子、电子器件结构和理论分析、微/纳米级器件的CAD软件研究

10、、微/纳米级新结构器件研究、建库方法学研究和用于SOC存储器类的IP核开发、射频(RF)电路版图设计的电路提取和验证，以及集成电路制造的计算机辅助管理系统(IC-CAM系统)研发等。 【招生信息】清华研究生微电子所难考的原因，在于他接收的考试生比较少(2007年仅招10人)，而保送生为3040人。清华大学在深圳也设有研究生院，但是一般只培养工程硕士(专业硕士的一种)。微电子所2007年在北京、深圳两地招收工程硕士人数总共为74名。复旦大学微电子研究院复旦大学微电子研究院是在国家教育部、国家计委、上海市政府的关怀下，经上海市计委批准，于2002年正式成立并落户于复旦大学浦东张江校区，是我国特别是

11、上海地区微电子人才培养和微电子技术研发的重要基地之一。研究院依托于复旦大学“微电子学与固体电子学” 学科几十年的深厚积累，有雄厚的技术和学术优势，是国家重点学科、“211工程”建设学科、复旦大学“985工程、重中之重”建设学科，其所在一级学科具有博士学位授予权和博士后流动站。1992年建立了全国唯一的“专用集成电路和系统国家重点实验室(复旦大学)”，具备国际一流的软硬件设计环境。2003年被批准成为国家首批9个“国家集成电路人才培养基地”之一。2004年启动教育部“985”二期项目，建设复旦大学微纳电子科学技术创新平台，集微纳电子科学前沿研究、集成电路关键技术综合开发、相关人才培养为一体。经过

12、几十年的努力，复旦大学在SOC设计，集成电路计算机辅助设计，半导体新工艺，新材料、新器件、微电子机械系统等研究领域取得了丰硕成果并形成了一支有丰富经验的教学、科研队伍。定位面向国家重大战略需求，应用研究达到国内领先水平；瞄准国际前沿科学问题，创新研究达到国际先进水平。研究院的运作以市场需求和提高国际竞争力为导向，走国际合作办学和与工业界紧密结合的道路。与数所世界著名高校联合办学，培养国际化人才。与国内外知名企业建立联合实验室与研发中心，使科研与应用紧密地结合，同时通过企业捐赠、经费支持等方式创造了先进的软硬件科研环境，极大地提高了开发能力和科研水平。研究院的发展目标是在微电子领域的学术研究、人

13、才培养和应用技术等方面达到国际先进水平，为未来10年我国从集成电路应用大国过渡到集成电路技术强国作出重大贡献。【硬件环境】复旦微电子研究院有着国内一流的科研硬件设施，有ASIC国家重点实验室，工艺实验室，IC实验室，ICCAD实验室，还有微纳平台，人才培养基地等。【招生信息】复旦研究生微电子一般招收8090人，其中保送的占50%。中科院微电子所、微系统所和半导体所以研究员为科研主力中科院和微电子领域关系最密切的研究所有3个：微电子所、半导体所和微系统所，这3个所的师资、资金实力在国内同行中处于领先水平。微电子所 核心设备国内一流中科院微电子所的核心设备是一流的，它有一条用于0.8微米IC工艺研

14、究的实验线，“高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”为国家“863”集成电路装备重大专项；微细加工与纳米技术实验室装备了分辨率30nm的JEOL JBX-5000LS电子束光刻系统，分辨率0.35u的MEBES 4500电子束制版系统以及和微细加工有关的反应离子刻蚀机、电子束镀膜系统、光学制版系统、LPCVD以及JBX-6A2电子束制版系统。在北京地区，目前惟一能做电子束光刻的科研单位就是微电子所。该所目前共有7个研究室，分别为硅器件与集成技术、专用集成电路与系统、微细加工与纳米技术、微波器件与集成电路、通讯与多媒体SOC、电子系统技术和总体电子设计平台与共性技术。各个研究室的研究方向基本涵

15、盖了器件电路设计开发的各块领域，互补而又不冲突，相互之间的师资分配也很合理。【招生信息】微电子所2007年计划招生43人。据相关老师介绍，2008年微电子所要争取硕士招生人数达到60人。微系统所两室五组，科研领域广中科院微系统所拥有：传感技术国家重点联合实验室与微系统技术国家级重点实验室(隶属MEMS组)、信息功能材料国家重点实验室(隶属材料组)。微系统所主要有5个研究组：王跃林教授的MEMS组，下有微系统工艺平台和微系统封装平台，研究方向包括MEMS传感器和执行器技术研究、光通信微系统研究、生物芯片等；宋志棠的材料组，拥有化合物半导体器件工艺平台和纳米半导体薄膜材料加工测试平台，主要研究相变

16、存储器、光电子和微波材料与器件、太赫兹半导体器件和物理；另外3个组是SOI组、无线组和能源(电池)组。除了这5个主要的研究组外，还有两个单独的课题组是RF和DNA。微系统所在科研成果的产业化方面很有特色，在不久前揭晓的国家科学技术奖评选中，该所的“高端硅基SOI材料研发和产业化”项目获2006年度国家科技进步一等奖。微系统所的一个最大特点在于研究涉及的领域很广，各个研究室之间相对独立而又不乏合作。整个微系统所是一个很完善的系统，部门之间又有EDA与网络信息中心作为公共支撑。该所给学生提供的助研金比较多，差不多是其他科研院所的两倍，甚至其硕士生的助研金比别的单位的博士生都高。【招生信息】微系统所

17、每年招生75人左右，其中大部分在微电子与固体电子学(47人)和通信与信息系统(20人)，毕业生主要就业方向是国内外的大公司，如AGILENT、华为等。半导体所 主要研究物理器件微电子专业最初是从半导体专业中分离出来的，目前的中科院半导体所依然保留有微电子研究和发展中心，该中心主要从事同微电子相关的半导体器件和电路的研究，包括抗辐射CMOS/SOS及CMOS/SOI集成电路、SiC高温半导体器件、微电子机械系统(MEMS)、磁存储器(MRAM)、共振隧穿二极管(RTD)和系统集成芯片(SOC)设计及应用。可以看出，半导体所的主要优势在于深厚的物理理论基础，主要研究领域还是器件方向，擅长半导体光电

18、子和微电子器件。半导体所微电子中心每年招收的研究生不多，但毕业去向都很不错，主要去向为国内外知名公司，成为如北京华虹NEC、上海先进半导体等公司的IC设计部门的技术骨干。电子科技大学微电子与固体电子学院排头兵中的尖兵电子科技大学位于具有“天府之国”美誉的成都，是“211”和“985”名校之一，在2006年中国高校国际学术会议排名中名列第四，被誉为“我国电子类院校的排头兵”。其微电子与固体电子学院拥有一支以中科院院士陈星弼领衔的包括16名博士生导师、27名教授在内的雄厚师资力量，与国内外相关公司、高校和研究机构有着广泛的合作关系。【硬件环境】新建FAB工艺线电子科大微固学院的硬件设施相当不错，有

19、国家重点实验室电子薄膜与集成器件实验室、集成电路设计中心和纳米技术中心，还有最新建成的FAB工艺线微细加工基地(6英寸，线宽为0.35um)。【师资科研】功率器件和功率电路研究突出电子科大微电子专业最主要的特色在功率器件和功率电路方面，科研方向主要有功率器件与智能功率集成电路、微电子器件与集成电路、ULSI集成电路设计/ASIC设计与应用。功率器件与智能功率集成电路方向，由陈星弼院士和张波教授分别领导的小组研究，但侧重点有所不同：陈院士的科研小组主要研究功率器件、功率电路、电源管理和相关的一些模拟电路；张波教授科研小组的研究方向有电源管理(功率器件功率电路)和功率器件(传统硅基器件以及新材料比

20、如SiC基的功率器件)。微电子器件与集成电路方向在年轻的于奇教授的带领下，主要集中开发模拟电路，也有锗硅器件、ADDC等研究方向。李平教授近年来的研究项目有电源管理、汽车电子、单片机芯片设计、铁电存储器、FPGA等，更集中于数电。【招生信息】微电子专业最近两年的招生人数保持在110人左右，其中保送生约占15%。报考该专业的考生，如果发挥不好，则有优先权可以转到固体电子专业，另外也可以转到工程硕士的集成电路方向，相应的录取分数线可以降低6070分。据悉，近两年转到集成电路方向的学生比较多。东南大学射光所和微电子所优势互补，各有所长东南大学的微电子研究比较特殊，既有以射频闻名的射光所，又有在MEM

21、S方向颇具实力的微电子所。射光所下属于在无线电系，而微电子所则下属于电子工程系。两个研究所各有所长，优势互补。射光所 国内知名的高技术研究中心射光所，即射频光电集成电路研究所，是由教育部和东南大学在1997年联合筹建的高技术研究所，属“211”工程项目。在国家教育部、科技部等有关方面的支持下，如今已发展成为国内外知名的射频与超高速光电集成电路人才培养和高技术研究中心。东南射光所的前任所长，同时也是创建人的王志功教授，是从德国归国工作的微电子光电子专家，在国内射频和光电集成电路方面的造诣首屈一指，在学术界也享有盛名。射光所的主要研究方向包括射频集成电路、微波毫米波集成电路、光电集成电路、光纤通信

22、集成电路、ULSI、生物用集成电路等等。射频集成电路方向主要由李智群博士负责，研究内容包括移动通信及无线接入系统用射频集成电路，包括低噪声放大器、混频器、振荡器、功率放大器等。微波毫米波集成电路设计方向由王志功教授亲自负责，研究内容涉及HEMT移相器、GaAs HBT 压控振荡器和单片集成电路上的关键元件的研究等。光电集成电路方向，是射光所的一大特色，主要是关于光电转换一系列集成电路技术的研究。生物用集成电路技术，是将集成电路技术和生物学医学相结合的一个方向，射光所在这方面的研究也是很有优势的。微电子所 MEMS教育部重点实验室东南大学微电子所建有国家专用电路系统工程技术研究中心和微电子机械系

23、统教育部重点实验室，其MEMS实验室属于教育部重点实验室。黄庆安教授的硅微机械加工技术，到目前为止还是国内最好的MEMS中文参考书。由于没有自己的生产加工线，黄老师把研究重点放到了不太耗资金但前景不错的MEMS CAD方向，具体包括VLSI器件物理与新型器件研究、超大规模集成电路与系统CAD设计与应用、智能传感与微电子机械系统研究和微电子系统与专用集成电路设计和固态电子学及其技术。【招生信息】综合来看，射光所强在电路，而微电子所强在器件，一个学校两个部门都具有相当实力，不能不说是东南大学的一大特色。2003年依托于两个研究单位的合力，东南大学IC学院成立，该学院已于2004年开始招收工学硕士、

24、工程硕士和博士研究生。西安电子科技大学微电子学院 国家集成电路人才培养基地西安电子科技大学微电子学院是在原微电子研究所及技术物理学院微电子系的基础上组建而成，是科技部资助的5个国家集成电路人才培养基地之一。【硬件环境】3个部级重点实验室该学院现有3个部级重点实验室，即“宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室”、“微电路可靠性技术”和“新型半导体材料与器件”信息产业部重点实验室，另设有EDA实践中心、超净工艺实验室等。【师资科研】五主多从的研究小组该学院的主要科研方向是宽禁带半导体(GaN、SiC)材料与器件、VLSI/SOC 设计技术、超深亚微米器件可靠性与可制造性、新型半导体工艺与新结构器件

25、。大体分为5个研究组：702教研室，由张义门教授挂帅，主要研究方向为器件和工艺，副院长张玉明教授也在该组，从事RF电路方面的研究；张鹤鸣老师的研究小组主要研究应变硅、高速器件等；院长庄奕琪带领的研究小组主要从事电路、系统级的研究，如嵌入式电路、IP核、蓝牙电路等等，另外还有一些对操作系统、解码之类的研究，似乎已经跟计算机通信联系起来了；杨英堂老师现任发展规划处处长，他所挂帅的小组从器件、工艺到系统都涉及，项目很多，而且由于杨老师的活动能力优势，也很容易接到各种项目；另一个比较大的组由郝跃老师带领，主要做GaAs器件的研究。西电的一大特色就是师资力量雄厚，过去有号称“四大金刚”的庄奕琪、杨英堂、郝跃、张义门老师，如今更有许多年轻有为的教授加入，从2007年的研究生招生目录上面可以看出，单就招生的教授和副教授的人数来看就有好多，研究的方向也非常广，实力不可小觑。【招生信息】2007年，微电子学院共有309人报考，录取180人；其中微电子专业有269人报考，最终录取58人。