8英寸集成电路芯片生产线项目环境影响报告书.pdf

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1、 8 8英寸集成电路芯片生产线项目环境影响报告书英寸集成电路芯片生产线项目环境影响报告书 阜康同创（北京）微电子有限公司阜康同创（北京）微电子有限公司 （缩写本）（缩写本）信息产业电子第十一设计研究院有限公司信息产业电子第十一设计研究院有限公司 二零零六年四月二零零六年四月 0.前言前言集成电路是现代信息产业和信息社会的基础，是改造和提升传统产业的核心技术。随着全球信息化、网络化和知识经济浪潮的到来，集成电路产业的战略地位越来越重要，它己成为事关国民经济、国防建设、人民生活和信息安全的基础性、战略性产业，也是衡量一个国家综合国力的重要标志。我国的半导体制造业虽然起步较早，但发展缓慢，远不能适应

2、国民经济发展的需要。近年来，在国家大力发展信息产业的政策扶持下，特别是自 2000 年国务院 18 号文件公布后，国内集成电路产业掀起了一轮前所未有的热潮，我国半导体制造业的发展加快了步伐。2001年3月，全国人代会通过国家“十五”规划，把电子信息产业提到了战略的高度，强调将重点发展集成电路产业。2005年 10 月，中国共产党第十六届中央委员会第五次全体会议上通过的“十一五”规划建议，提出坚持以信息化带动工业化，信息产业，要根据数字化、网络化、智能化总体趋势，大力发展集成电路、软件等核心产业，重点培育数字化音视频、新一代移动通信、高性能计算机及网络设备等信息产业群，加强信息资源开发和共享，推

3、进信息技术普及和应用。国家为加强我国集成电路产业的发展，不仅指导和支持先进的、大型的超大规模集成电路企业建设，而且还设立了专项如集成电路产业研究与开发专项资金等来强化对集成电路产品设计、产业化的扶持。所有这些表明，发展微电子技术是推进我国现代化、信息化建设全局的战略举措。在国家产业政策的大力扶植下，加上亚洲地区尤其是中国大陆拥有人力资源和劳动力成本优势，吸引了世界大量集成电路工厂开始向这一地区转移，而中国也借此开始了发展自己集成电路业的又一次冲击。到 2004年，集成电路业投入资金高达 100 亿美元，超过了过去 50 年投资总和的 3 倍。2005 年我国信息产业全行业收入达 3.8 万亿元

4、人民币，到“十一五”末预计将达到 8 万亿元人民币，年均增长超过17。2005年中国集成电路销售收入同比增长20%，超过了600 亿人民币。GDP 的占有率在2005年为7%，而到2010年预计将达到 10，预期上涨三个百分点。另外，2008 年奥运会的潜在机会也是集成电路增长的一个强大引擎，据专家预测中国半导体的强劲增长至少会持续到2008年。为了抓住这一发展良机，进一步促进我国集成电路产业的发展，阜康国际投资公司(Fullcomp International Invest-ment Corp.)拟在北京市林河工业开发区注册成立阜康同创（北京）微电子有限公司并投资兴建 8 英吋集成电路芯片生

5、产线项目。阜康同创（北京）微电子有限公司 8 英寸集成电路芯片生产线项目，一期总投资 3 亿美元，生产线按 8 英寸、线宽 0.35m0.13m 的工艺技术进行配置，采用 CMOS 与 DMOS 工艺，建设规模按月投片 30000 枚进行设计，产品主要用于 LCD 电视和显示器、手机、机顶盒以及数字多媒体产品、消费类产品、音频产品、数字控制类产品、医疗电子、汽车电子等领域。根据 中华人民共和国环境影响评价法 和 建设项目环境保护管理条例 等有关法律法规，阜康同创（北京）微电子有限公司委托信息产业电子第十一设计研究院有限公司为其8 英寸集成电路芯片生产线项目编制环境影响报告书。电子十一院在充分研

6、读有关文件和资料后，通过对该项目的工程分析和对建设地区环境现状及影响的监测、调查、评价，编制出本环境影响报告书（送审稿），现呈环境保护管理部门审批。1.总则总则1.1 编制依据编制依据1.1.1 环保法律、法规、文件环保法律、法规、文件(1)中华人民共和国环境保护法，1989.12.26(2)中华人民共和国水污染防治法，1996.05.15 修订(3)中华人民共和国大气污染防治法，2000.04.29 修订(4)中华人民共和国环境噪声污染防治法，1996.10.29(5)中华人民共和国固体废物污染环境防治法，2004.12.29 修订(6)中华人民共和国环境影响评价法，2002.10.28(7

7、)中华人民共和国清洁生产促进法，2003.01.01 施行(8)建设项目环境保护管理条例，国务院令第 253号，1998.11.29(9)国务院关于环境保护若干问题的决定，国发1996 31 号文(10)国家危险废物名录，国家环保总局、国家经贸委、对外贸易经济合作部、公安部，1998.01.04(11)关于加强节约工业用水的规定的通知，国家经贸委、水利部、建设部、科技部、国家环保总局和和国家税务局六部委联合通知，国经贸资源2000 1015 号文，2000.11(12)工业节水“十五”规划，国家经贸委，国经贸资源20001017号，2001.10.10(13)北京市实施建设项目环境保护管理办法

8、细则，北京市环保局，1998.3(14)北京市实施中华人民共和国水污染防治法办法，2002.09.01施行(15)北京市实施中华人民共和国大气污染防治法办法，2001.01.01施行(16)北京市环境噪声管理暂行办法，北京市人民政府第12号令（修改）1997.12.31(17)北京市城市节约用水条例，1991.11.1(18)环境影响评价技术导则总纲（HJ/T2.1-93），1993.9.18(19)环境影响评价技术导则大气环境（HJ/T2.2-93），1993.9.18(20)环境影响评价技术导则地面水环境（HJ/T2.3-93），1993.9.18(21)环境影响评价技术导则声环境（HJ/

9、T2.4-95），1995(22)建设项目环境风险评价技术导则（HJ/T 169-2004），2004.12.111.1.2 与项目有关的文件、资料与项目有关的文件、资料(1)阜康国际投资公司，8英寸芯片项目基础资料(2)阜康国际投资公司，阜康同创（北京）8 英寸微电子项目环评任务委托书1.2 评价目的与工作原则评价目的与工作原则1.2.1 评价目的评价目的(1)通过对项目所在区域环境现状的调查和监测，掌握该地区环境质量现状。(2)通过对拟建工程情况和对有关技术资料的分析，掌握工程的一般特征和污染特征，分析本项目建成和污染治理后的排污水平，选择适当的模式预测本项目建成投产后排放的污染物可能对环

10、境造成影响的程度和范围，并提出相应的防治措施。(3)从环保角度论证本项目建设的可行性，为工程环保措施的设计与实施，以及投产运行后的环境管理等提供科学依据。1.2.2 工作原则工作原则坚持“清洁生产”、“达标排放”和“总量控制”的原则，制定切实可行的污染防治措施，确保本项目建成后的“三废”排放量满足总量控制规划指标的要求，项目建设满足北京市城市发展总体规划、环境保护规划和环境功能区划的要求。1.3 污染控制与保护环境的目标污染控制与保护环境的目标1.3.1 污染控制的目标污染控制的目标1、项目建设阶段对污染物的控制、项目建设阶段对污染物的控制(1)控制和减轻施工建设期所造成的水土流失；(2)控制

11、施工期噪声对周围环境的影响，不扰民；(3)严格控制施工期扬尘，妥善处置施工建筑垃圾和弃土；(4)施工期产生的污水须经处理后排放。2、项目建成投产后对污染物的控制、项目建成投产后对污染物的控制(1)废水达标排放；(2)废气有组织达标排放；(3)噪声对厂界影响值达标；(4)固体废物和废液能妥善处置，不产生二次污染和不影响环境；(5)总量控制污染物的排放能满足北京市环保部门总量控制的要求。1.3.2 环境保护目标环境保护目标本项目位于北京市林河工业开发区内，环境敏感点主要为拟建厂址周围的学校、村镇、住宅小区、食品厂和研究单位等。主要敏感点和环境保护目标见表 1-1。表表 1-1 主要环境保护目标主要

12、环境保护目标环境要素敏感点名称方位距离（米）保护目标保护级别环境空气(1)顺义区仁和中学西北1200居民(2)港馨花园顺义城区北850居民(3)胡各庄北850居民(4)燕京啤酒厂东北500食品(5)临河村东南850居民(6)北京光明键能乳业公司南500食品(7)顺义城区北2000居民环境空气质量标准GB3095-1996二级声环境(1)北京中科生物技术公司东70居民(2)临河村北端东南100居民城市区域环境噪声标准GB 3096-93 2类标准水环境 顺义区污水处理厂尾水受纳水体小中河开发区雨水受纳水体月牙河地表水环境质量标准GB3838-2002 V类标准 1.4 评价标准评价标准1.4.1

13、 环境质量标准环境质量标准(1)(1)地表水：地表水：地表水环境质量标准GB 3838-2002 V类水域标准(2)(2)大 大 气：气：环境空气质量标准GB 3095-1996 二级标准工业企业设计卫生标准TJ 36-79 居住区大气中有害物质最高允许浓度(3)(3)声环境：声环境：城市区域环境噪声标准GB 3096-93 3类标准，周边居民区执行2 类标准（工业混杂区）1.4.2 污染物排放标准污染物排放标准(1)(1)废废 水：水：水污染物排放标准（DB11/307-2005），排入城镇污水处理厂的水污染物排放限值(2)(2)废废 气：气：大气污染物综合排放标准GB 16297-1996

14、中的新污染源大气污染物排放限值，二级标准，恶臭污染物排放标准GB 14554-93（氨）(3)(3)噪噪 声：声：营运期执行 工业企业厂界噪声标准 GB 12348-90 III类标准，施工期执行建筑施工场界噪声限值GB12523-901.5 评价工作重点评价工作重点本项目产生的污染物主要是生产废水、废气、固体废物和噪声，根据北京市严重缺水的现状，本次评价工作的重点为：(1)工程分析。(2)水资源利用合理性分析。(3)清洁生产分析，尤其是节水措施分析。(4)环境保护措施技术经济分析。1.6 评价因子评价因子(1)(1)环境空气环境空气现状评价因子：TSP、NO2、SO2、氟化氢、氯化氢、氨、硫

15、酸雾预测评价因子：氟化物、HCl、NH3、硫酸雾(2)(2)地表水环境地表水环境现状评价因子：PH、CODcr、BOD5、SS、DO、石油类、氨氮、氟化物、总磷、Pb、As、Cu废水排放影响分析因子：氟化物、氨氮、CODCr、磷酸盐(3)(3)声环境声环境现状评价因子：环境本底噪声 LAeq预测评价因子：厂界噪声LAeq(4)(4)地下水地下水现状评价因子：氨氮、氟化物、总磷、Pb、As、Cu、Hg(5)(5)土壤土壤现状评价因子：F、Pb、Sn、As、Cu(6)(6)固体废弃物固体废弃物废水处理污泥及生产过程中产生的废光刻胶、废酸、废异丙醇等1.7 评价工作等级评价工作等级1.7.1 地表水

16、环境地表水环境工程生产废水排放量1950 m3/d，经厂内生产废水处理站处理；生活污水排放量 170 m3/d，经化粪池、隔油池处理，分别经公司生产废水总排口、生活污水总排口排放进入林河工业开发区市政污水管网，然后纳入顺义区污水处理厂进行二级处理，最终进入小中河。由于项目生产废水和生活污水不直接排入地面水体，故本评价重点放在对水资源利用的合理性进行分析，并对工程废水进行污水排放纳管可行性分析。1.7.2 环境空气环境空气本项目排放的废气主要污染物有氟化物、H2SO4雾、HCl等，根据HJ/T 2.2-93 中推荐的大气评价工作等级划分原则，通过计算主要污染物的等标排放量，结果表明，本项目的各主

17、要污染物Pi均小于 2.5108。由于项目选址位于城市郊区，厂址周围地区地形平坦，参照 HJ/T 2.2-93 中的等级划分原则，确定大气评价工作等级为三级。1.7.3 声环境声环境采用 HJ/T 2.4-1995 中声环境评价工作等级划分方法，本项目位于 GB 3096-93规定的 3类地区，建设前后噪声级增加较小，且受影响人口变化不大，确定本次声环境评价工作等级按三级进行。1.7.4 环境风险环境风险采用 HJ/T 169-2004 中风险评价工作级别划分方法，本项目危险化学品年用量和储存量均很小，未超出导则所列临界量，属非重大危险源，风险评价按二级进行。1.8 评价范围评价范围(1)环境

18、空气：以拟建厂区为中心、主导风向为主轴、边长4 km的区域，评价面积16 km2。(2)声 环 境：评至厂界外 100 m。2.建设项目概况建设项目概况2.1 建设项目基本情况建设项目基本情况2.1.1 项目名称项目名称阜康同创（北京）微电子有限公司 8 英寸集成电路芯片生产线项目2.1.2 建设地点建设地点北京市顺义区双河大街8 号（林河工业开发区内）。工程区域位置见图2-22.1.3 建设性质建设性质外商投资，新建2.2 生产规模及产品大纲生产规模及产品大纲一期工程拟建一条8 英寸、0.35-0.13m，月投片量30000片集成电路芯片生产线。2.3 投资总额投资总额项目总投资3 亿美元，

19、其中环保相关投资为800万美元，占总投资的2.7%。2.4 占地面积及建筑面积占地面积及建筑面积项目总占地面积117993.48m2，建筑占地面积 40373.38m2（一期：23703.69 m2），总建筑面积 130521.42m2（一期：71546.56 m2），总容积率 1.07，总建筑系数 34.22%；道路面积 27522m2，道路系数 23.33%；绿化面积为 39475 m2，绿化系数33.45%。2.5 项目组成及配套工程项目组成及配套工程2.5.1 项目组成项目组成项目由生产设施、建筑物、建筑服务系统、工艺服务系统、电气系统、环保与安全设施、消防设施、生产服务与管理设施组成

20、。一期工程组成、主要建设内容表 2-1。表表 2-1 一期工程组成及建设内容一期工程组成及建设内容序号工 程 项 目指 标一、主体工程主体工程1.1芯片生产厂房/生产支持厂房（Fab1）核心净化厂房，钢筋混凝土框架结构，共4层，1、2层为回风及设备层，3层为洁净室，4层为设备层。二、辅助工程二、辅助工程2.1中央动力厂房(CUB1)地上2层地下一层结构，1层布置纯水制造、废水处理、变配电站等用房，2层为冰机/冷却水系统，地下层为水泵房。2.2变电站（PS）1层2.3化学品库（CW1）1层2.4气站区（GY）由专业气体公司建设三、公用工程三、公用工程3.1行政中心（OB1）5层3.2倒班楼（DM

21、）6层3.3门卫1(GH1)1层3.4门卫2(GH2)1层3.5门卫3(GH3)1层3.6连廊及管桥 3.7室外道路道路系数23.33%3.8绿化绿地系数33.45%3.9自行车棚1层四、四、环保工程环保工程4.1废水处理设施建设废水处理站一座，位于CUB1一层，包括含氟废水处理设施、含氨废水处理设施、CMP废水处理设施和酸碱废水中和处理系统，总处理废水量1950m3/d。4.2废气处理设施包括酸碱废气和有机废气处理系统，共9套设备，3套备用，位于FAB1四层，总处理废气量30.4万m3/h。4.3废液收集系统包括硫酸、磷酸、IPA、废有机溶剂收集系统4.4生活污水处理系统盥洗间粪便污水采用化

22、粪池处理，食堂含油废水采用隔油池处理。4.5噪声处理设施风机、水泵、冷冻机、压缩机、发电机房等的减震、隔声、吸声处理。2.5.2 资源、能源配套工程资源、能源配套工程本项目给水水源为城市自来水；电力供应由开发区引入 2 路10KV 高压电供本项目使用，厂区内设配电站，供应 FAB 厂房和 CUB 动力站使用，并设 2 台380V、1800 KVA自备柴油发电机组作为应急电源。项目热能由林河工业开发区提供蒸汽集中供热，厂区内设换热站将蒸汽热能转换为热水。2.6 员工人数及工作制度员工人数及工作制度项目职工总数为 1000 人，项目建成后生产线将实行 24小时运转，各类人员将根据生产线运行的需要，

23、按4班 2轮制倒班，年工作日360天。2.7 建设进度建设进度该项目计划从 2006 年 5 月开工建设，建设期为 15 个月，预计从 2007 年 9月份开始试生产。项目建成投产后，将逐步提升产量，从 2007 年 4 季度开始量产，到2010 年达到满产月投片30000枚的规模。2.8 发展规划发展规划规划从 2010 年开始，启动第 2 期月投片 30000 枚的厂房及配套（办公楼、动力厂房等）设施的扩建，并于2012年将第 2期扩建完成并投入量产。3.工程分析工程分析3.1 生产工艺生产工艺3.1.1 主要生产工序简介主要生产工序简介本项目主要集成电路芯片制造（前工序），典型的前工序工

24、艺流程如图 3-1 所示。图图 3-1 芯片生产工艺流程图芯片生产工艺流程图(简化简化)CVDCVD 沉积沉积 溅射溅射 入库入库 检测检测 清洗清洗 氧化、扩散氧化、扩散 硅片硅片 湿法腐蚀湿法腐蚀 离子注入离子注入 光 刻光 刻 干法刻蚀干法刻蚀 去胶去胶 CMPCMP 抛光抛光 3.2 主要原辅材料及用量主要原辅材料及用量集成电路芯片生产所需主要原材料包括硅片、光掩模、石英制品、大宗气体、烷类特殊气体、化学试剂、光刻胶、显影剂等几大类。除极少数要求很高的材料需进口外，绝大多数材料均已国产化。（材料表略）3.3 水量平衡水量平衡本项目用水主要分为生产用水和生活用水，用水量为 3315 m3

25、/d，其中生产用水 3190 m3/d，生活用水 125 m3/d。水量平衡情况见表3-1。表表 3-1 工程用水量平衡表（工程用水量平衡表（m3/d）用水设施名称用水设施名称总用总用水量水量用水量用水量循环循环水量水量重复重复水量水量回用回用水量水量新鲜新鲜水量水量蒸发蒸发损耗损耗排水量排水量清净清净排水排水生产生产废水废水生活生活污水污水纯水系统超纯水4700450252017301730RO纯水空调系统168168工 艺设 备冷 却28846288004646洁 净服 清洗2424420RO浓缩水废 气洗 涤塔25025030220浇洒绿化555555常温冷却37537585019045

26、常温冷却159110158400710生活用水1704512520105合计合计193698187818452520331510051901950170 从水量平衡结果可以看出，本项目水资源利用情况为：重复用水量=2520+450+168+28800+158400+45=190383 t/d新鲜水用量=3315 t/d总用水量=重复用水量+新鲜水用量=190383+3315=193698 t/d水重复利用率=重复用水量/总用水量=190383/193698=98.3%3.4 污染物排放及治理措施污染物排放及治理措施集成电路芯片的生产过程中，产生的主要污染物有：(1)废水：包括含氟废水、含氨废水

27、、酸碱废水、CMP废水；(2)废气：包括酸性废气、碱性废气、有机废气、工艺尾气；(3)固体废物及废液：包括废水处理污泥、光刻胶废液、有机溶剂废液、废酸等；(4)噪声：主要为动力设备噪声。3.4.1 废水排放及治理措施废水排放及治理措施本项目建成投产后，产生的废水主要分为生产废水和生活污水两大类。3.4.1.1 生产废水产生及治理措施生产废水产生及治理措施本项目产生的生产废水主要包括工艺酸碱废水、含氨废水、含氟废水、CMP废水、废气洗涤塔排水、纯水制备废水和冷却塔循环水排水等，排放量为2140 t/d。1 1工艺酸碱废水工艺酸碱废水 排放方式为连续排放，排放量为650 t/d。主要污染物为酸、碱

28、等，废水的pH值较低，一般pH4。酸碱废水的处理，采用中和法简化处理流程如下：酸碱废水废水调节池中和池中和池排放酸碱废水废水调节池中和池中和池排放 2.2.含氟废水含氟废水 排放形式：连续排放，排放量150 t/d。主要污染物为氟化物、氨氮、磷酸等。废水中F浓度约为600 mg/L左右。采用氟化钙絮凝沉淀法进行处理，处理后出水溢流至中和处理系统调匀池，与酸碱废水一并中和处理后排放。含氟废水处理流程如下：在采用氟化钙絮凝沉淀法处理含氟废水的同时，亦可去除废水中大部分磷。3 3、含氨废水：、含氨废水：排放量为200 t/d，排放方式为连续排放。本项目在工艺中使用氟化铵和氨水，产生的含氨废水属高浓度

29、的含氨废水。拟采用“吹脱电氯化法”进行处理，处理出水再纳入含氟废水处理系统进一步除氟，流程如下：4 4、BG/CMPBG/CMP研磨废水研磨废水 排放方式：连续排放，排放量80 t/d。高浓度含氟废水高浓度含氟废水 CaClCaCl 2 2、NaOHNaOH 絮凝剂 聚合剂絮凝剂 聚合剂含氟废水泵调节槽 反应槽 凝聚槽絮凝槽沉淀槽监控 至中和系统含氟废水泵调节槽 反应槽 凝聚槽絮凝槽沉淀槽监控 至中和系统 污泥处理系统污泥处理系统 废气洗涤塔水 吹脱尾气 硫酸溶液吸收装置 硫酸铵废气洗涤塔水 吹脱尾气 硫酸溶液吸收装置 硫酸铵 含氨废水收集槽氨泵吹脱装置反应罐泵含氟废水处理系统含氨废水收集槽氨

30、泵吹脱装置反应罐泵含氟废水处理系统 盐水罐盐水罐盐水泵电解装置盐水泵电解装置背面减薄（BG）/化学机械抛光（CMP）废水及过滤反冲洗废水，主要污染物为悬浮物，浓度约为350 mg/L，采用絮凝沉淀法进行处理。5 5、废气洗涤塔排水、废气洗涤塔排水 排放方式：间歇排放，排放量 220 t/d。芯片加工过程中排放的HF、HCl、硫酸雾、NH3等酸碱废气，工程上设置有碱（酸）液喷淋吸收塔吸收处理，排放的废水为吸收塔中多次循环使用的吸收废液。废气洗涤塔废水中因含有氟化物和氨，因此先汇入含氨废水处理系统进行氨去除，然后再进入含氟废水处理系统进行处理。6 6、纯水制备废水、纯水制备废水 排放方式：连续排放

31、，排放量为 650 t/d。主要为离子交换再生酸碱废水，废水中主要污染物为酸、碱，拟汇入中和处理系统处理后由公司废水总排口排放。7、循环冷却排水 排放方式：间断排放，排放量为 190 t/d。冷却塔中循环水经反复多次使用后，盐分增高，需要定期外排。排水中主要成份为原自来水中浓缩的盐类、SS，因水质较为清洁，无需处理，直接经厂区雨水口排放。3.4.1.2 生活污水生活污水生活污水包括厂区职工生活污水和倒班宿舍生活污水。主要有生活洗刷水、卫生间污水、餐厅废水以及生产线洁净服清洗水等，排放量170 t/d。卫生间粪便污水拟采用化粪池预处理，餐厅污水拟设置隔油池作撇油处理后由公司生活污水总排口排放。3

32、.4.1.3 废水排放统计废水排放统计本项目各类废水排放量、排放方式、处理方法及排放去向统计见表 3-2。表表 3-2 公司各类废水排放统计公司各类废水排放统计废水名称废水名称排放量排放量（t/d）排放方式排放方式处理方法处理方法排放去向排放去向酸碱废水650连续排放酸碱中和处理含氨废水200连续排放吹脱电氯化法处理含氟废水150连续排放氟化钙絮凝沉淀法处理CMP废水80连续排放絮凝沉淀法处理废气洗涤塔废水220间断排放进入含氨、含氟系统处理纯水制备废水650连续排放酸碱中和处理生活污水170连续排放化粪池、隔油处理 排入开发区污水管网，然后进入顺义区污水处理厂进行二级处理，最终去向为小中河。

33、冷却塔排水190间断排放 直接排入月牙河合计合计2310年废水排放量：年废水排放量：83.16 万吨万吨经过处理后的各类生产废水汇合后经公司生产废水总排口，生活污水经公司生活污水总排口进入开发区污水管网，然后进入顺义区污水处理厂进行二次处理。生产废水总排口各类污染物排放指标统计见表 3-3。表表 3-3 生产废水总排口污染物排放情况生产废水总排口污染物排放情况废水排放量(万t/a)名 称污染物名称氟化物(以F计)NH3-N磷酸盐(以P计)CODC rSSpH70.2排放浓度(mg/L)8.838.270.60117.443.969年排放量(kg/a)619958054218240430818排

34、放标准(mg/L)1050040069达标情况达标达标达标达标达标达标注：1.pH 无单位；2.排放标准为 水污染物排放标准（DB11/307-2005）“表2 排入城镇污水处理厂的水污染物排放限值”生活污水总排口各类污染物排放指标统计见表 3-4。表表 3-4 生活污水总排口污染物排放情况生活污水总排口污染物排放情况废水排放量(万t/a)名 称污染物名称NH3-N磷酸盐(以P计)CODC rSSPH6.12排放浓度(mg/L)20.73.82201686.59年排放量(kg/a)12672331346410282排放标准(mg/L)50040069达标情况达标达标达标达标达标注：1.PH 无

35、单位；2.排放标准为 水污染物排放标准（DB11/307-2005）“表2 排入城镇污水处理厂的水污染物排放限值”从表3-3、表3-4 中可见，公司排放的生产废水和生活污水经处理后均能达到水污染物排放标准（DB11/307-2005）“表2 排入城镇污水处理厂的水污染物排放限值”要求。3.4.2 废气排放及治理措施废气排放及治理措施3.4.2.1 废气污染源分析废气污染源分析本项目建成投产后，各种废气的排风量见表 3-5。表表 3-5 废气处理系统排风量统计表废气处理系统排风量统计表一般废气（废热）（m3/h）酸性废气（m3/h）碱性废气（m3/h）有机废气（m3/h）144000210000

36、3250061500 一、一般废气（废热）排风系统一、一般废气（废热）排风系统该系统排放一般的废气和高温排风，不需经处理而直接排放。共设置了4台排风机，其中3 用1 备。总排风量为144000 m3/h。二、酸性废气二、酸性废气酸性废气主要来源于工艺流程中使用各种酸液对芯片的腐蚀、清洗过程，主要污染物为氟化物、硫酸雾、HCl 等；拟设置5套（1套备用）酸性废气处理装置进行处理，系统总排风量 210000 m3/h，排气筒 4 根，直径 1400 mm，处理达标后排入大气，排放高度30 m。三、碱性废气三、碱性废气碱性废气主要来源于刻蚀工序和工艺过程中使用氨水、氨气等过程，主要成分为氨。拟设置

37、2 套(一套备用)碱性废气处理装置进行处理，系统总排风量32500 m3/h，设排气筒 1 根，直径 900 mm，处理达标后排入大气，排放高度 30 m。四、有机废气四、有机废气有机废气主要来源于各工序使用有机溶剂清洗过程，主要成份为异丙醇等有机物，拟设置2 套（一套备用、一套再生）活性碳纤维吸附塔进行处理。系统排风量为61500 m3/h，排气筒 1 个，直径1400 mm，处理达标后排入大气，排放高度 30 m。本项目各种废气中主要污染物处理及排放情况见表 3-6。从表中可见，经采取处理措施后，各排气筒主要污染物指标均能达到相应排放标准要求。表表 3-6 工艺废气主要污染物处理及排放情况

38、表工艺废气主要污染物处理及排放情况表废气种类排放参数排气筒数量高度(m)排气 总量(m3/h)污染物名 称处理前处理后排放速率(kg/h)排放 浓度(mg/m3)排放 速率 (kg/h)排放 浓度(mg/m3)处理效率评价标准排放 速率(kg/h)排放浓度(mg/m3)达标 情况酸性废气430210000 氟化物0.773.670.0690.3391%0.599.0达标HCl0.1240.5910.0120.0690%1.4100达标硫酸雾1.175.560.180.8385%8.845达标NOX0.050.240.010.0485%4.4240达标碱性废气13032500NH31.3541.

39、60.0682.0895%20/达标有机废气13061500异丙醇0.95815.60.11.5690%/非甲烷总烃9.21500.921590%53120达标注：1.除氨执行 恶臭污染物排放标准 GB 14554-93外，其余均执行 大气污染物综合排放标准（GB 16297-1996）中二级标准(第二时段)。2.氮氧化物以 NO2计，氟化物以F 计.3.4.3 噪声产生及防治措施噪声产生及防治措施本项目生产设备位于洁净厂房内，声级较小。产噪设备主要为冷冻机组、空压机、真空泵、风机、水泵等动力设备。本项目在工程设计上拟采用的减噪措施有：(1)水泵基础设橡胶隔振垫，以减振降噪；水泵吸水管和出水管

40、上均加设可曲绕橡胶接头以减振。(2)柴油发电机房的进风道与排风道采取消声措施，对柴油发电机房的排烟系统加装消声器，柴油发电机组加装防振垫圈。(3)空调设备所有空调器的风机带减振底座，空调系统均采取消声措施。(4)大部分动力设备安装在密闭的动力厂房内，四周加吸声材料；(5)空压机四周加隔声板；设备基础设计减振台基础，所有空调净化排风系统的主排风管和通风机的进出风管均安装消声器；管道进出口加柔性软接。3.4.4 废弃物产生及处置方案废弃物产生及处置方案本项目废弃物产生量1852 t/a，分为固体废物和废液两大类。处置方法和处置去向见表3-7。表表 3-7 废弃物、废液处置与排放情况统计表废弃物、废

41、液处置与排放情况统计表类别废弃物名称排放量（吨/年）处置去向废液废光刻胶、废显影液105混合有机溶剂废液65废酸、废硫酸铵（废硫酸、磷酸等）880小计1050具有危险废物处理资质的单位-北京红树林环保技术有限责任公司进行收集处置固体废物废活性碳3含砷废物4废化学试剂瓶50废水处理污泥500具有危险废物处理资质的单位-北京红树林环保技术有限责任公司进行收集处置废包装材料等一般事业废弃物65废品回收商办公及生活垃圾180城市垃圾处理场小计802 合 计1852 4.建设地区环境概况建设地区环境概况4.1 地理位置地理位置阜康同创（北京）微电子有限公司 8 英寸芯片厂项目拟建于北京市林河工业开发区。

42、林河开发区位于北京市东北郊顺义区境内首都机场东北部，地处东经11635，北纬4004，西临101 国道、京承铁路，北有顺平公路，距北京市区 25 公里，距首都机场5 公里，距顺义城区2公里。拟建厂址位于林和开发区的东北角，占地面积约 204.132 亩，为开发区规划的微电子产业发展用地。厂址处于双河大街南侧，东靠顺泰路，西接顺康路，南与拟建中的世纪宇恒厂址一墙之隔，西北面紧邻的国泰半导体厂已建成投产。4.2 自然环境概况自然环境概况4.2.1 地形、地貌地形、地貌本项目拟建于顺义区境内的林河开发区，顺义区地处燕山南麓，华北平原北端，位于燕山山前冲洪积扇的中上部，区内东北、东南和西北部有零星山丘

43、，平原面积占95.7%，地形呈北高南低，坡度为6/10000，平均海拔 35米。境内发育规模最大的水系为潮白河，由北向南贯通全区，形成广泛的河流冲积、堆积地貌。开发区地处平原区，为潮白河右岸的二级阶地，自然地面标高在34.81米36.19 米之间，总的趋势自西向东逐渐变低。本项目拟建场地，地势平坦，海拔高度为 35m，地质基础压强 15-18 吨，地基深度为 1.8-4 米，冬季冻层深度 44 厘米。地震最大在 7-7.5 级，建筑物抗震设计按地震烈度8 级设防。4.2.2 地质地质（略）4.2.3 气候、气象气候、气象顺义属暖温带半湿润大陆性季风气候，四季分明，日照充足，天高气爽，空气清新。

44、主要气象条件为：年平均气温 11.4 摄氏度，日最高 34 摄氏度，日最低-10摄氏度。雪量为年平均60mm，月最大80mm。多年平均降水量610.9mm，年平均水 面蒸发量744.3mm。平均湿度58%，日最高79%，最低41%。年日照时数2430.3 小时，日照率55%。盛行风向一般夏季东南、冬季西北风。年平均风速2.5m/s。采暖期(1、2、3、11、12)的多年降水量平均值为4.9mm，多年气温平均值差为正负 0.5摄氏度，多年风速为 2.5m/s。雷发生频度为36次/年。4.2.4 水文水文顺义境内分布主要河流15 条，分属北运河、潮白河、蓟运河3个水系，河道总长 232 公里，年径

45、流总量1.7 亿立方米，京东第一大河潮白河纵贯中部。地表水可用量年平均为 4300万立方米。地下水资源丰富，年平均可开采量约为4 亿立方米，上层滞水埋深2.82.9 米，水位标高 32.933.3米。地下水埋深在 100150米，取水点在潮白河西岸，且水质较好，无污染、无腐蚀性，每年可为北京市区提供生活用水2 亿立方米。小中河为接纳顺义区污水处理厂尾水的受纳水体，属北运河水系，位于顺义县城西，纵贯县境南北，发源于怀柔县的孙家史山和顺义县的李家史山交界地区，流经顺义县9 个乡，至小葛渠村南入通县境内，汇入温榆河。全长 39公里，流域面积135 平方公里。共建有拦河闸8座，交通桥22座。引用怀柔水

46、库和向阳闸蓄水，可灌溉 5 万亩农田，被北京市政府划归为农业用水区及一般景观要求水域。4.2.5 植被、生物多样性植被、生物多样性（略）4.3 社会环境概况社会环境概况4.3.1 顺义区顺义区（略）4.3.2 北京林河工业开发区北京林河工业开发区（略）5.废水排放影响分析废水排放影响分析5.1.1 废水排放途径废水排放途径本项目排水管网按“清污分流制”进行设计：清下水从厂区雨水总排口排放，经由开发区市政雨水管网排入月牙河；生产废水和生活污水分别处理后，输送到厂区生产废水总排口和生活污水总排口，接入开发区市政污水管网，经顺义水处理厂集中处理，尾水排入小中河。根据工程分析，本项目总排水量=2310

47、 m3/d，其中：生产废水排放量=1950 m3/d，生活污水=170m3/d，清下水=190m3/d。工程废水排放纳管可行性分析5.1.2 工程废水达标排放分析工程废水达标排放分析本项目所在地属北京顺义污水处理厂的报务区范围。顺义区污水处理厂将于年内建成投入使用。本项目工程按工程进度计划预计在 2007 年 9 月份建成投入试生产。根据北京市地方标准 水污染物排放标准（DB11/307-2005）的3.1.6条规定，本项目排放的生产废水和生活污水应当执行该标准的表2限值。本项目建成营运期生产废水总排口和生活污水总排口的水质预测值与排放标准对比情况见表5-1-1。表表 5-1-1-1 生产废水

48、总排口水质指标与排放标准的对比生产废水总排口水质指标与排放标准的对比污染物污染物pHSSCODCr氨氮氨氮氟化物氟化物(以以F计计)磷酸盐磷酸盐(以以P计计)排放浓度6943.9117.48.278.830.60排放标准6940050010达标情况达标达标达标达标达标达标注：除pH无单位外，其它项目浓度单位为mg/L；排放标准为北京市地方标准水污染物排放标准DB11/307-2005的表2排放限值。表表5-1-1-2 生活污水总排口水质指标与排放标准的对比生活污水总排口水质指标与排放标准的对比污染物污染物pHSSCODCr氨氮氟化物氟化物(以以F计计)磷酸盐磷酸盐(以以P计计)排放浓度6916

49、8.222020.63.82排放标准6940050010达标情况达标达标达标达标达标达标注：除pH无单位外，其它项目浓度单位为mg/L；排放标准为北京市地方标准水污染物排放标准DB11/307-2005的表2排放限值。从表可见：本项目工程外排生产废水和生活污水中主要污染物指标均能够达到北京市地方标准水污染物排放标准（DB11/3072005）表2的标准限值要求，本项目工艺废水污染物排放浓度能满足顺义污水处理厂的接管水质要求。6.大气环境影响预测与评价大气环境影响预测与评价6.1 预测模式预测模式大气环境影响预测采用 GB/T 13201-96，HJ/T 2.293 推荐的点源模式和扩散参数。6

50、.2 预测评价内容预测评价内容(1)不同稳定度、小风、熏烟条件下主要废气污染物地面浓度预测与分析。(2)敏感点典型日平均浓度和长期平均浓度预测与分析。(3)事故性排放时地面浓度预测和分析。6.3 预测结果及分析预测结果及分析6.3.1 典型气象条件下污染物浓度预测分析典型气象条件下污染物浓度预测分析不同气象条件下，各主要污染物的最大落地浓度及出现距离预测结果见表6-1。表表 6-1 污染物最大地面浓度及离源距离污染物最大地面浓度及离源距离稳定度风速（m/s）最大落地浓度最大离源距离(m)不稳定1.95氟化物 g/m30.187545氯化氢 g/m30.032545硫酸雾 g/m30.48754