2022年2022年夹杂物分析系统技术说明最新 .pdf

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1、Carl Zeiss SMTAttachment-1/14全自动夹杂物分析系统技术文件仪器型号：INCASteel 2013年 月 日名师资料总结-精品资料欢迎下载-名师精心整理-第 1 页，共 14 页 -Carl Zeiss SMTAttachment-2/14目 录附件一、品牌介绍附件二、设备用途附件三、技术指标附件四、供货范围及报价附件五、计划进度及培训附件六、环境要求附件七、质保及其它服务名师资料总结-精品资料欢迎下载-名师精心整理-第 2 页，共 14 页 -Carl Zeiss SMTAttachment-3/14附件一：聚焦 CARL ZEISS 世界可见光及电子光学的领导企业

2、-德国蔡司公司始创于1846年。其电子光学前身为 LEO（里奥）,更早叫 Cambridge（剑桥）和 Zeiss。积扫描电镜领域 40 多年及透射电镜领域60 年的经验，ZEISS 电子束技术在世界上创造了数个第一：第一台静电式透射电镜(1949)第一台商业化扫描电镜(1965)第一台数字化扫描电镜(1985)第一台场发射扫描电镜(1990)第一台带有成像滤波器的透射电镜(1992)第一台具有 Koehler 照明的 200kV 场发射透射电镜(2003)第一台具有镜筒内校正Omega 能量滤波器的场发射透射电镜(2003)CARL ZEISS 其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就

3、了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有广泛的专有技术，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案。其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS 将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。北京欧波同光学仪器有限公司做为Carl Zeiss SMT 下属的纳米技术系统部的合作伙伴，在北京，上海，广州，鞍山，济南设有营销公司和维修服务站，致力于蔡司电镜的技术咨

4、询，销售和售后服务工作。名师资料总结-精品资料欢迎下载-名师精心整理-第 3 页，共 14 页 -Carl Zeiss SMTAttachment-4/14附件二：设备主要用途传统能谱仪及电镜只能判断夹杂物的元素，现在夹杂物分析系统通过电镜中能谱仪对夹杂物的元素分析，更可依据“系统数据比对分析功能”自动得到该夹杂物的物相种类，判断夹杂物矿物属性，这样就得到了该夹杂物的物理化学性质。该软件可以在夹杂物的可能来源、夹杂物的形成机理、各物相间的连带关系、各物相的含量及含量关系、夹杂物的改性等进行深入研究。该分析系统可以一次放入多个样品，所有分析都是自动完成。因此，该分析系统在钢铁行业中有很重要的意义

5、。简述如下1、可以对炼钢精炼炉、大包、中间包等不同期次的夹杂物取样分析，用于判断钢水的质量、温度对夹杂物的影响、渣子及合金对夹杂物的影响、钢包中不同部位夹杂物的类别数量及尺寸，不同夹杂物生成条件及先后顺序及特点，从而可以通过夹杂物的研究间接得到炼钢的气氛、合金元素、钢及钢渣的温度期次等参数。2、在结晶器内提取试样，分析保护渣对夹杂物的影响机理，及钢水中夹杂物的变化规律。3、判断钢中初生夹杂物及次生夹杂物的类别、含量、及其相互包裹关系和形成条件。4、判别初生夹杂物及次生夹杂物结合程度及机理，用于帮助合理加入合金的类别和时间，建立更有效和节约的冶炼工艺。5、对夹杂物类型、大小、分布进行判定和统计，

6、用于帮助调整中间包冶炼及结晶器冷却工艺。6、对夹杂物类型包裹种类进行判定和统计，用于合金配比及夹杂物改性研究。7、对钢中夹杂物含量进行判别和统计，可以判定夹杂物的危害程度及危害机理。名师资料总结-精品资料欢迎下载-名师精心整理-第 4 页，共 14 页 -Carl Zeiss SMTAttachment-5/148、由于可以对夹杂物的物相可以准确判定，因此在钢铁失效分析中有很重要的应用附件三：技术指标INCASteel 全自动夹杂物分析系统是一款由蔡司应用型扫描电子显微镜、大面积高速能谱探测器及相关配套软件为一体的综合性分析系统。该系统采用多接口的大样品室和完备的电子光学系统于一体的扫描电子显

7、微镜 EVOMA10，可对各种金属材料进行表面形貌观察，并结合业界领先的X射线分析技术，将自动实现对于夹杂物的综合研究分析。其产品的高性能、高质量、高精度以及高稳定性能已得到全世界广大用户的信赖与认可。系统功能介绍1、可精确检测亚微米级别至1um以下的夹杂物2、直观显示各种分类方法中夹杂物的形貌表征与元素组成。3、对夹杂物进行分类统计、尺寸分布、位置分布等各类信息。4、对复合型夹杂物进行相识别，结合INCAEnergy对该夹杂物用 SmartMap相分析。5、符合各类夹杂物标准的要求，并出具评级报告。权威的标准保证品质控制美国 ASTM E2141;瑞典 SS111116;德国 DIN 506

8、02;国际标准 ISO 4967 倍耐力标准等。主要参数：1、光学系统 1.1、光源：钨灯丝。预对中式灯丝，灯丝具有自动加热、自动对中功能。1.2、聚焦：具有手动及自动聚焦功能。1.3、光阑：三级可调物镜光阑，能快速对光阑孔定位，并可作电子束自动对中名师资料总结-精品资料欢迎下载-名师精心整理-第 5 页，共 14 页 -Carl Zeiss SMTAttachment-6/14 1.4、加速电压：200V30kV，10V步进连续可调。1.5、图像电平移：50m。1.6、放大倍数：51000,000，连续可调。1.7、分辨率：高真空二次电子像3.0nm（30kV）；1.8、探针电流范围：0.5

9、 pA 5 A，连续可调。1.9、聚焦工作距离：2mm 145mm。2、真空系统 2.1、真空泵系统：涡轮分子泵+机械泵，不需要冷却水。2.2、真空度：最高真空度：优于0.1mPa；低真空压力范围：10Pa400Pa 在 10Pa133Pa范围内无需安装压差光阑就可实现高低真空自由切换。2.3、在低真空条件下，保持8.5 的工作距离，并且可以做能谱分析。3、样品系统 3.1、样品室内部尺寸：310mm(直径)x 220mm（高）。3.2 可放置的最大样品尺寸：直径200mm，高度 100mm 3.3、最大允许样品重量：不小于5kg。3.4、样品台移动方式：五轴马达驱动。3.5、样品台移动范围：

10、X轴 80mm,Y轴 100mm,Z轴 35mm,-10+90倾斜，360旋转。3.6、样品台移动精度：重复性2 m；最小步长 90nm；漂移 3,000,000cps 5.6、最在输出计数：1,100,000cp 6、夹杂物分析软件 6.1、设定采集区域，可设定多个样品，多个区域，实现自动分析。6.2、多种分类方法供用户选择。6.3、可根据某几个元素/含量、几何信息、谱图和几个条件的组合来建立标准，建立后可重复调用。6.4、所有信息一次性得到，每个夹杂物均可重新定位观测。6.5、丰富的报告模板。6.6、符合美国 ASTM E2141;瑞典 SS111116;德国 DIN 50602;国际标准

11、 ISO 4967 及国标要求的夹杂物评级报告，新增倍耐力标准。名师资料总结-精品资料欢迎下载-名师精心整理-第 7 页，共 14 页 -Carl Zeiss SMTAttachment-8/14附件四、供货范围及报价Item 项目Product Description 产品说明Price(USD)价格（美元）1 EVO MA 10 Scanning Electron Microscope EVO MA 10 扫描电子显微镜Basic Unit MA10.Tungsten emission system,air admittance to 400 Pa,5-axis motorised sta

12、ge with software joystick,SE-detector,and multilingual Win 7 MA10 主机。钨灯丝发射系统，空气导入可达400 Pa，具有软件操纵杆的5 轴马达样品台，二次电子探测器，以及多种文字的Win 7 215,000 2 19 colour flat panel display monitor 19 彩色平板显示器480 3 Dual Joystick Controller 双操纵杆控制器2,132 4 LM 4QBSD diode 透镜上安装的四象限背散射电子探测器12,740 5 Chamber scope with IR illumi

13、nation displayed to full screen(stage door mounted)带有红外照明的样品室观察4,238 6 Centre Point and Centre Feature.To bring a point,or area,to the centre of the field of view 中心点与中心特征软件。把一个点或区域移到视场的中心1,040 7 External scan input and video output cable.Includes Remote Control using RS232(REMCON)外部扫描输入与视频输出电缆（能谱仪接

14、口）1,950 8 Spare Parts 备件Rotary pump oil 旋转泵油2 升Carbon conductible adhesive tape 碳导电胶带4 卷Filament 灯丝20 粒Wenol Metal Polish 抛光膏,100ml 1 支2,000 9 Oxford X-MAX-20 EDX 牛津电制冷能谱仪X-MAX-20 48,000 CIP Airport(含一年保修，运输费）287,580名师资料总结-精品资料欢迎下载-名师精心整理-第 8 页，共 14 页 -Carl Zeiss SMTAttachment-9/14附件五、计划进度及培训Attachm

15、ent 5:Plan&Training 交货期为收到 L/C 后六个月.System delivery:6months after receipt of L/C 供方与需方配合进行：1设备到达需方地址后，供方在接到需方安装通知十四日内派工程师到达现场进行安装调试。After system arrives,seller will start installation within 14 days upon arrival notification.2安装调试完毕后，马上对用户人员进行培训。After completion of installation,on-site training will

16、 commence.培训内容：-电镜及附件的操作Microscope Basic Operation-电镜及附件的日常维护Microscope daily maintenance-样品观测、分析、获取图象Sample Analysis and image taking 3培训时间 3-5 天或可针对用户情况延长时间。Standard training takes minimum one week and can be extended if necessary.名师资料总结-精品资料欢迎下载-名师精心整理-第 9 页，共 14 页 -Carl Zeiss SMTAttachment-10/14

17、附件六、环境要求Power100-240V 50/60 Hz Single Phase 电源100-240V 50/60 Hz 单相Consumption 2kVA 3kVA(dependent on accessories fitted)功耗2kVA 3kVA（取决于安装的附件）The incoming single-phase supply should preferably be a spur that feeds the SEM.A 13Amp power socket will be required for the SEM,plus one for the rotary pump(

18、two if the system is an EP with two rotary pumps).Power sockets for accessories should be connected to the same phase.It should not supply neighboring equipment likely to generate an abnormal amount of line-borne interference.A safety ground of less than 0.25to earth is required.A 5-meter long earth

19、 cable is supplied with the EVO and should be connected to a separate M8 earth stud.进来的单相电源最好是供给SEM的支线。对于 SEM需要一个13安培的电源插座，另加一个用于旋转泵的插座（如果系统是带有两个旋转泵的EP，则另加两个插座）。用于附件的电源插座应连接到同一相上。它应不供给附近可能产生异常干扰的仪器。需要一个小于0.25 接地电阻的保护接地。一根5 米长的接地线与EVO 一起提供，并将连接到独立的M8 地线螺栓上。Ambient Temperature 环境温度20-30oC.It is recomm

20、ended that for operator comfort the room temperature is maintained between 22 oand 24 oDeg C.20-30oC。为了操作者的舒适，建议室温保持在22oC 和24oC 之间Relative Humidity 相对湿度Less than 65%小于 65%Compressed Nitrogen 压缩氮气Dry nitrogen is highly recommended for chamber and pump ventilation during specimen exchanges.The minimum

21、 pressure should not be less than 0.2 bar;otherwise,ventilation time for the chamber would be too long.The maximum pressure must be limited to 0.3 bar.With the chamber opened nitrogen consumption is approximately 3 l/min.at 0.2 bar above ambient pressure.The purity of the nitrogen should be about 99

22、.996%.The pipe supplied is 名师资料总结-精品资料欢迎下载-名师精心整理-第 10 页，共 14 页 -Carl Zeiss SMTAttachment-11/144mm internal diameter and 6mm external diameter.强烈建议，在样品更换期间用干燥的氮气对样品室与真空泵进气。最低压力应不小于0.2 bar；不然，对样品室进气时间将太长。最大压力必须限制在0.3 bar。在高于周围压力 0.2 bar 时，在样品室打开时氮气的消耗量大约是3 l/min。氮气的纯度应约为99.996%。提供的管子为4mm 内径和 6mm 外径。R

23、otary Pump Exhaust 旋转泵排气The rotary pump produces oil mist during pump down,this can contaminate the environment and create a health hazard when used in enclosed surroundings.The oil mist filter supplied and/or an external exhaust must be connected to the rotary pump.The pipe should be a plastic tube

24、 with an inner diameter of 10 mm.在抽真空期间，旋转泵产生油雾，在封闭环境中使用时，它能污染环境并危害健康。旋转泵上必须连接提供的油雾过滤器和/或外部排气。管子应为内经为10mm的塑料管。Vibration 震动Velocity level:速度水平：Less than 6 m/sec rms.from 0-30Hz.Less than 12 m/sec rms.above 30 Hz.Measurement directions:X Y and Z 小于 6 m/sec rms。从0-30Hz。小于 12 m/sec rms。30 Hz以上。测量方向：X、Y、

25、Z Stray Magnetic Field 杂散磁场The maximum permissible stray field in the room is 3 x 10-7T(peak to peak)=3 mG(peak to peak).室内最大允许杂散磁场为3 x 10-7 T（峰-峰值）=3 mG（峰-峰值）。The environmental and utility requirements are the responsibility of the customer and shall be provided at the time of installation.Failure

26、to comply with these conditions may adversely affect the performance figures quoted in this specification.环境与实用要求是用户的责任，并应在安装时提供。如果不满足这些条件，可能会对技术规格中给出的性能产生不利的影响。ZEISS Technical Support will be happy to suggest suppliers of anti-vibration platforms and AC field cancellation systems should these be re

27、quired.ZEISS技术支持建议使用减震台和AC 磁场消除系统。尺寸及重量：The following data is provided as a guide only:-下面提供的数据只作为指导：-名师资料总结-精品资料欢迎下载-名师精心整理-第 11 页，共 14 页 -Carl Zeiss SMTAttachment-12/14The ZEISS EVO?is supplied in two containers.ZEISS EVO?用两个包装箱来提供。Container 1:Re-Usable Wooden Box 包装箱 1：可重复使用的木箱Overall Dimensions

28、整体尺寸140cm x 122cm x 135cm Overall Weight 整体重量110kg Container 2:Cardboard box on Euro Pallet 包装箱 2：欧洲推荐的硬纸板箱Overall Dimensions 整体尺寸191cm x122cm x 110cm Overall Weight 整体重量102kg Plinth Un-crated 基体（无包装）Overall Dimensions 整体尺寸98cm deep x 78.4cm wide x 158cm high 98cm 深 x 78.4cm 宽 x 158cm 高Overall Weigh

29、t 整体重量600kg 名师资料总结-精品资料欢迎下载-名师精心整理-第 12 页，共 14 页 -Carl Zeiss SMTAttachment-13/14附件七、质保及其它服务A.规范化的服务体系：ZEISS产品售后服务具有ISO9001服务体系认证资格，执行ISO9001售后服务标准。B.贴近用户的服务网点：ZEISS在中国设立直属专业维修中心，下设有北京、上海、广州、无锡四个专业维修站负责售后服务工作。近在咫尺的专业人士为您提供快捷、周到的服务。1固定维修站：在北京有 10 位维修工程师、无锡有 3 位维修工程师，上海有 5 位维修工程师及1 位应用专家，广州有3 位维修工程师.向目

30、前 ZEISS 的用户提供服务。2流动维修站：目前在新加坡有 4 位资深工程师及4 位维修工程师，如有需要将随时协助ZEISS中国境内工程师包括安装、检修工作等，以弥补由于ZEISS 用户数量短期内的急剧增加而需要的安装调试及维修工作。3 远程遥控服务：根据我们多年在世界各地的经验，80%以上用户提出的“技术问题”都是由于用户本身，特别是电镜新用户还没有完全熟练掌握电镜的操控，或对于某些样品的测试方式不熟悉而产生的，并非电镜本身出现故障。针对此点，我们设立了远程遥控技术服务，我们的技术人员每天24 小时提供热线电话技术服务，即时协助、解答操作员提出的问题C.完善的呼叫服务中心：ZEISS在中国

31、设有统一的售后服务电话，对用户提出的技术及质量问题8 小时内答复，如要求现场维修则24 小时内到达解决。在保修期内，非人为故障免费负责修理。D.全国领先的保修政策：ZEISS产品保修期一年，终身维护酌情收费。保修期外出现质量问题，厂家每天收取 500 美元差旅费，如需更换部件酌情收费。E.免税备件服务：为了保障设备的正常运作，缩短维修的时间，ZEISS 将储存零备件于上海，它将包涵 ZEISS 电镜重要的备换件。如需要由海外ZEISS 总厂或 ZEISS 新加坡备件中心空运零配件，名师资料总结-精品资料欢迎下载-名师精心整理-第 13 页，共 14 页 -Carl Zeiss SMTAttachment-14/14运输时间将不超过8 个工作日。F.维修保证：对于所有 ZEISS SEM 产品，供方将提供技术维修服务和最少10 年的备件供应。G 升级保证：在硬件允许的条件下，保证软件免费升级。耗材一览表名称数量单位单价使用时间灯丝1 只300 元200 小时泵油1 升200 元12 个月导电胶带1 卷350 元6 个月名师资料总结-精品资料欢迎下载-名师精心整理-第 14 页，共 14 页 -