蚀刻补偿(3页).doc

《蚀刻补偿(3页).doc》由会员分享，可在线阅读，更多相关《蚀刻补偿(3页).doc（3页珍藏版）》请在得力文库 - 分享文档赚钱的网站上搜索。

-蚀刻补偿-第 3 页个人总结蚀刻补偿.17 内外层预大与蚀刻：（线宽公差为：20%）。.17.1 外层：下表根据公司工艺能力列出不同底铜厚度所需补偿数值等参数。底铜蚀刻量（预大值）补偿后最小线隙补偿后PAD与线最小间隙原稿最小线宽补偿后最小RING mmOZmmmm1OZmm0.08mm2OZ0mm2mm3OZ0mm0.15mm0.15mm0.30 4OZmm0.15mm0.15mm0.35 5OZmmmm0.40 6OZmmmm0.40 备注：A: RING含义：指PAD边缘到钻孔孔边的距离。B: 当补偿后小于最小线隙时，则在原稿线宽90%的基础上补偿蚀刻量，如还不行则在80%基础上补偿蚀刻量，且注明工艺特别跟进。C: 补偿后PAD与PAD最小间隙 同 补偿后PAD与线最小间隙。PAD特指开窗的PAD。D: 金板时：底铜为和1OZ时预大，2OZ时预大。E: 上表中补偿后最小RING零件孔（右边为金板数值。左边为非金板数值）。.17.2 内层：下表根据公司工艺能力列出不同底铜厚度所需补偿数值等参数。底铜蚀刻量（预大值）补偿后最小线隙原稿最小线宽补偿后最小RING备注所有内层都用负片制作。1 OZ2 OZ3 OZ4 OZ备注：当补偿后小于最小线隙时，则在原稿线宽90%的基础上补偿蚀刻量，如还不行则在80%基础上补偿蚀刻量。且注明工艺特别跟进。