SAT-原理-检测方法及识别介绍ppt课件.ppt

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1、12316Hz - 20,000Hz4PropagationVibration5PropagationVibration6Air100%100%DieEMC7 MaterialsAirEMCSiliconEpoxyGold42 alloyCopperAlSteelNickelGlassWater(20c)(for IC)for D/A(quartz)(20c)Acoustic impedance06.7620.043.1262.5340.9141.8316.945.4349.5415.041.48(10 kg/m s)Air (20c)0-100100100100100100100100100

2、100100Resin(for ic)6.76100-49.636.880.571.672.242.974.1763864.1Silicon20.0410049.6-73.151.534.235.28.538.842.414.386.2Epoxy resin3.1210036.873.1-90.585.886.168.887.188.265.635.7Gold62.5310080.551.590.5-20.919.857.515.811.661.295.442 alloy40.9110071.634.285.820.9-1.141.55.29.546.293Copper41.8310072.2

3、35.286.119.81.1-42.44.18.447.193.2Aluminum16.910042.98.568.857.541.542.4-45.849.15.883.9Steel45.4310074.138.887.115.85.24.145.8-4.350.393.7Nickel49.541007642.488.211.69.58.449.14.3-53.494.2Glass(quartz)15.041003814.365.661.246.247.15.850.353.4-82.1Water(20c)1.4810064.186.235.795.49393.283.993.794.28

4、2.1-R(%) = X 100Z2 + Z1Z2 - Z18910rough surfacebubbles1112DieEMCDie SurfaceDie BottomPackage SurfaceUltrasonic超超声声波波Transducer超超声声波探波探头头Water 水水Transducer for Thru-Transmission接收探接收探头头用于透射用于透射13DelaminationPKG CrackVoidPKG CrackChip Crack1415PKG SurfaceDie Surface波的強度1650%50%50%50%Air100%100%DieEMC黑

5、色紅色17uQA正常monitor的圖像Normal紅色的負波正波黑色的Fail波的強度波的強度100%18PKG BottomPKG CrackPad Bottom19uQA正常monitor的圖像20Package CrackDie CrackDelamuPackage Crack：掃橫向容易掃到，縱向不容易掃到uDie Crack：灰、黑、白的部分形狀有變異uDelam：正常是灰、黑、白NormalDelam灰黑白白黑灰21TiltInner VoiduTilt：灰、黑、白的部份傾斜uInner Void：灰、黑、白的部分某一個地方會跑到上方22EMCEMC23u可檢測的缺點可檢測的缺點

6、 : Peeling、Crack 、Void、Delam2431 Cuts31片片Swordsman剑侠剑侠31 inspection layersof TAMI-ScanTAMI-Scan 的的31层层测试层测试层PaddleEMCSilicon Chip31 Gates for TAMIPackageSurface封装表面封装表面Die Top& BottomDie的顶端的顶端与底部与底部PaddleSurface焊料表面焊料表面25u超声波断层显微成象扫描的超声波断层显微成象扫描的31张图片张图片26水水接收器接收器探頭探頭u探頭傳遞訊號穿過待測樣品，接收器接收訊號u因為超音波預到空氣，

7、無法傳遞訊號，所以檢測樣品任何一層有脫層，下面接收器將收不到訊號，所以呈現黑色區域 u水泡未清除乾淨也會影響穿透判定u可使用 A-Scan 證實檢驗結果u穿透式的缺點是不能確切的知道那一層有缺陷, 必須要用反射式再次檢驗27u圖A：接收器有接收到探頭穿過待測樣品傳遞的 訊號，所以會有波的反應u圖B：接收器沒有接收到探頭穿過待測樣品傳遞 的訊號，所以會沒有波的反應，反射呈現 黑色有波的強度沒有波的強度28NormalDelam反紅白、黑、灰負波反紅波強度:100%29正波30Void31Finger 變形Finger 32Scanning Acoustic Microscope(S.A.M.) is a very useful tool to locate invisible internal fine defects 超声波扫描显微镜超声波扫描显微镜 (S.A.M)是一种用于检测不可见的内在细微缺陷的非是一种用于检测不可见的内在细微缺陷的非常有用的工具常有用的工具