集成电路用磷铜阳极.doc

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1、靶材技术成熟度等级划分及定义靶材技术成熟度等级划分及定义编编制制说说明明（讨讨论论稿稿）标准编制组二一七年十月靶材技术成熟度等级划分及定义编制说明1 工作简况1.1 任务来源集成电路、平面显示和各种电子元器件等电子制造业是信息产业的硬件基础，其技术和产业水平是衡量国家信息技术竞争力的重要标志之一。近年来，随着我国电子信息产业飞速发展，电子元器件、集成电路制造、TFT-LCD 平面显示、磁记录以及薄膜光伏太阳能等生产线均有大量高技术企业出现；高纯溅射靶材是这些高科技行业镀膜用关键配套材料之一。溅射靶材市场规模日益扩大，已蓬勃发展成为一个专业化新材料产业，我国成为了世界上高纯溅射靶材的最大需求地区

2、之一，这也为中国靶材制造业的发展提供了机遇和挑战。我国政府高度重视电子制造业新材料产业的发展，在“十三五”国家战略性新兴产业发展规划、中国制造 2025和新材料产业发展指南等国家层面的相关规划中都将“高纯金属及合金等新材料”，作为重点领域急需突破的材料。但迄今为止，中国在电子元器件、集成电路和平面显示等高端领域应用的溅射靶材缺乏系统深入研究，各类靶材产品的质量参差不齐，靶材技术成熟度指标等级缺乏统一标准，严重制约了国内外靶材用户对靶材制造商的产品实力，技术成熟度的评判。技术成熟度反映的是技术对于项目预期目标的满足程度。技术成熟度评价是为了适应新技术发展而产生的一项管理工具，是基于技术发展成熟的

3、客观规律，对其成熟程度进行量化评价的一套系统化标准、方法和程序。“建立新材料技术成熟度评价体系，制定新材料技术成熟度通用分级标准，完善行业管理”是工业与信息化部、发展与改革委、科技部、财政部四部委联发的关于加快新材料产业创新发展的指导意见和新材料产业发展规划（2016-2020 年）中明确提出的重点任务。2017 年工信部明确提出了要大力推进重点新材料规模化发展，其中金属靶材制备技术达到国际先进水平是工作的重中之重。本标准的研究内容同时符合国家科技重大专项极大规模集成电路制造装备及成套工艺专项立项的超高纯系列溅射靶材开发与产业化项目的相关内容。靶材技术成熟度研究，首先是靶材制造技术成功的保证；

4、通过成熟度研究，确定靶材制造中的关键技术是否达到应用标准，有利于规范产品的设计与制造。其次也有助于风险管理，管控风险。第三，可以作为企业制定战略的重要参考尺度。通过对照靶材制造技术的目前成熟度与要求的成熟度，明白有待完成的空间，从而制定相应的行动计划。靶材技术成熟度等级划分及定义是国内首个靶材技术成熟度国家标准，开展本项目的研究，建立靶材技术成熟度评价国家层面的统一标准，可以协助企业对研发产品进行技术成熟度评价，指导企业的靶材研发和生产。同时还可以依据标准提出的技术成熟度量化分级标准，有利于指导社会投资，提高投资效率；依据此标准，可以使企业院所在自行开展或申请科研建设投资的时候，判断其技术所处

5、的总体水平，进一步明确投资方向；在此基础上对全国靶材制造行业技术发展状况进行全面科学量化的评价，为国家相关部委提供决策与规划参考，规范和引导我国靶材制造产业的健康发展和优化布局。通过该项目的实施，建立靶材技术成熟度分级的明确标准，对进一步推动靶材技术领域的标准化、系列化、通用化具有重要意义。1.2 起草单位有研亿金新材料有限公司，简称有研亿金，2014 年 1 月由“有研亿金新材料股份有限公司”更名为“有研亿金新材料有限公司”，隶属于北京有色金属研究总院。有研亿金属于中关村科技园高新技术企业、“十百千工程” 重点培育企业，拥有北京市企业技术中心, 2012年公司被评定为“国家级科技创新型示范企

6、业”。公司是中国半导体行业协会支撑分会理事单位、中关村集成电路产业联盟理事单位、上海黄金交易所综合类会员、中国有色金属学会贵金属学委会副主任单位和全国有色金属标委会贵金属分标委会副主任单位。经过 10 多年的发展，有研亿金已成为具备一定产业规模在微电子领域内具有良好影响力的快速成长型企业。有研亿金拥有 30 多年专业从事稀有和贵金属材料研究、开发和生产经验，获得并积累了一大批国家和部级科研成果，培养造就了大批科研、生产人才。有研亿金是国内率先开展磁控溅射用靶材的单位，在微电子领域用高纯金属靶材制备加工领域具有国内领先的优势。多年来，有研亿金利用具有自主知识产权的高性能金属材料制备技术，开发了独

7、具特色的靶材产品，产品涉及各种材料 Al、Cu、Ti、Ru 及其合金，各种难熔金属等，形成了具有年产值近亿元的产业基地，如先进镀膜用半导体材料、光学材料、稀土材料、集成电路相关材料、磁存储相关材料等，具备一大批对高纯金属材料制备加工技术具有坚实理论基础和丰富实践经验的专家和技术人员。有研亿金历年承担国家级、省部级科技开发项目近百项，其中“十一五”、“十二五”期间，公司承担了国家 02 专项、国家国际重点合作项目、国家高技术产业化项目、国家科技支撑项目、863 项目等 36 项国家重点项目，为我国新材料产业的发展起到巨大支撑作用。公司共获国家科技进步奖特等奖子项奖 1 项、国家科技进步奖 3 项

8、、国家发明奖 9 项、全国科学大会奖 2 项、部级奖 56 项；累计申请专利 218 项，授权专利 125 项；主持和参与国家/行业/军用标准起草共 60 项，颁布 52 项。公司先后有 23 项产品被认定为北京市新产品。有色金属技术经济研究院成立于 1983 年 3 月，为国家全额拨款科研事业单位，1999年 7 月转制成科技型企业，是中央所属 242 家转制科研院所之一。有色金属技术经济研究院是中国有色金属行业专门从事信息服务与咨询、标准质量专利研究与服务、有色金属发展战略研究的综合性服务机构，既是“中国有色金属工业信息中心”，又是“中国有色金属工业标准计量质量研究所”。有色金属技术经济研

9、究院是北京市的高新技术企业，现隶属于中国有色金属工业协会。有色金属技术经济研究院为国内外有色金属生产商、贸易商、消费用户及其他机构提供全方位、多渠道的信息服务，为政府制定政策和企业经营决策提供支撑；负责组织我国有色金属国家标准、行业标准、军用标准项目的立项、制修订与复审，提供标准化、质量、计量服务与咨询，开展专利代理、查新检索服务。出版国内外公开发行的世界有色金属、中国有色金属、中国金属通报三个国家一级刊物。本标准主要起草人： 1.3 主要过程和内容本标准主管部门为中国有色金属工业协会，技术归口单位为全国有色金属标准化技术委员会，起草单位为有研亿金新材料有限公司和有色金属技术经济研究院等。有研

10、亿金新材料有限公司接到标准制定任务后，组织起草人员查阅和检索了国内外有关技术标准和资料，并征求了相关生产和使用企业的意见，作为建立本技术标准的技术依据，也考虑了国内生产、加工能力和分析水平等实际情况于 2017 年 10 月完成草案稿。2 编制原则和依据本标准起草单位自接受起草任务后，本标准编制组收集了生产国内外客户要求、国内厂家实际生产水平等信息，初步确定了靶材技术成熟度等级划分及定义标准起草所遵循的基本原则和编制依据：1）查阅相关标准和国内外客户的相关技术要求；2）根据国内外磁控溅射靶材用户、制造商及原料供应商具体情况，力求做到标准的合理性与实用性；3）广泛适用，操作可行的原则；4）有利于

11、创新发展与国际接轨的原则。本标准完全按 GB/T 1.1-2009标准化工作导则 第 1 部分 标准的结构和编写及目前已发布的国内外主要相关标准：（1）国际标准航天系统技术成熟等级及评价准则定义（ISO16290）；（2）国家标准科学技术研究项目评价通则（GB/T 22900-2009）；（3）国军标装备技术成熟度等级划分及定义（GJB 7688-2012）来制定。3 主要内容的分析综述3.1 主要内容与适用范围项目研究的预期目标是建立靶材技术成熟度分级标准，界定开展技术成熟度评价工作所需的等级条件、评价要素、考核指标等。主要研究范围及内容：（1）确定技术成熟度等级及定义；（2）调研收集国内外

12、技术成熟度相关资料，开展相关定义研究；（3）细化技术成熟度评价要素、量化考核指标；（4）行业内研讨，修改完善评价要素及指标；（5）征求行业单位和专家意见，选取典型单位开展现场验证；（6）形成靶材技术成熟度等级划分及定义。 3.2 规范性引用文件本标准完全按 GB/T 1.1-2009标准化工作导则 第 1 部分 标准的结构和编写及目前已发布的国内外主要相关标准：（1）国际标准航天系统技术成熟等级及评价准则定义（ISO16290）；（2）国家标准科学技术研究项目评价通则（GB/T 22900-2009）；（3）国军标装备技术成熟度等级划分及定义（GJB 7688-2012）来制定。3.3 技术要

13、求靶材技术成熟度标准是所有靶材开发的通用标准。通过大量资料的查阅和靶材生产的调研，总结出的靶材生产各个阶段应满足的条件，为客户选择靶材、行业间交流合作提供了统一参考标准，划分靶材技术等级。根据靶材开发的过程，将其划分 9 个等级，每个等级的研究内容依次为明确靶材化学成分、纯度、微观结构、物理性能、结构设计原理与制备的基本原理；评审靶材生产原理的可行性，提出靶材主要技术指标要求；设计靶材生产工艺、过程图纸，获得试用靶材；验证试用靶材的结构和性能，获取反馈信息；改进反馈内容，试用靶材结构性能通过验证；量产靶材结构性能通过验证，具备稳定生产工艺；量产靶材通过多次成功执行并验证，具有稳定的市场；优化靶

14、材生产工艺和成本，开拓新市场；开发突破新产品，制定产品标准。根据已有的靶材生产制备经验方法，对每一个技术环节做严格的等级划分，针对各个等级明确设定判定条件以判断是否达到要求、处于何种阶段，并对判定条件在生产上进行验证，确保其判定的合理性。研究靶材生产制备流程：靶材型号不同，客户要求不同，靶材在生产流程和判定标准也会不同。针对不同靶材和客户，在流程细节上设置不同的评价标准。收集分析行业内同款靶材的不同标准：对比不同技术标准的靶材对使用性能的影响，在满足使用要求的前提下制定统一的产品标准。3.4 术语和定义本标准使用了以下术语与定义：（1）技术成熟度 technology readiness技术满

15、足预期的设备应用目标的程度。（2）技术成熟度等级 technology readiness level用于衡量技术成熟程度的尺度。（3）使用环境 operational environment靶材实际使用时的环境，包括外部接口条件、环境条件和使用条件。（4）相关环境 relevant environment模拟使用环境关键因素的试验环境，一般用于验证靶材的关键性能或其主要组成部分的关键性能。（5）实验室环境 laboratory environment仅演示技术原理和功能的试验环境。（6）原理样品 bread board 仅演示技术原理和功能，不考虑性能数据获取的试验靶材。其内部组成通常包括替

16、代件、特殊件、新研件，不考虑靶材的最终形式。（7）模型样品 brass board对技术关键性能和功能进行测试的试验靶材。其内部组成是真正的配套件，并初步考虑了靶材的最终形式，具备部分工程特征。（8）产品 product可演示靶材产品全部功能特性和物理特性的最终形式。4 标准水平分析4.1 标准水平简析技术成熟度作为一种先进的技术管理工具，通过将技术成熟过程划分等级，可准确地评价技术发展状态，提高管理决策的科学性，降低新技术在工程中的应用风险。目前，技术成熟度评价方法在国内外得到了越来越广泛的应用，特别是欧洲、美国等国家或地区在国防采办过程中尤其注重对技术的成熟度进行评估。技术成熟度的概念起源

17、于上世纪70年代的美国，1995年，NASA发布了技术成熟度白皮书，将起初的七级技术台阶调整为九级台阶，是技术成熟度概念成熟的标志。技术成熟度及其评价相关标准的制定工作尚处于起步阶段，进入到新世纪以来，美国审计署、国防部、能源部，英国和澳大利亚的国防部，北大西洋公约组织，欧空局，国际标准化组织等相继将技术成熟度评价推向应用。首个国际标准是2012年立项，2013年11月出版的，由欧洲宇航局/欧洲空间研究与技术中心（ESA/ESTEC）编制，航天系统：技术成熟度等级及评价准则定义，编号是ISO16290，这个标准对国际航天领域的技术成熟度活动进行了规范，是世界范围内的第一份国际性的技术成熟度标准

18、，是技术成熟度方法在世界各国科研管理中推广应用的重大事件，标志着技术成熟度思想与方法已在世界范围内得到广泛认可。在我国，技术成熟度的应用也是从国防领域开始的，本世纪初开始，我国航天的飞行器与武器型号、航空的飞机与发动机型号等领域的重大工程开始试行技术成熟度评价工作。我国还在节能减排领域、信息技术领域等一些新兴的技术领域开展了技术成熟度评价方法的研究，也得到了一些实践应用。但是目前无论是评价方法还是工程应用都还处于初级阶段。当今掌握高纯金属溅射靶材制造技术的国家也只有少数几个国家，靶材制造技术的成熟度标准也都是由各个靶材生产厂家自己规定，目前还没有统一的标准。该靶材技术成熟度标准的制定，有利于统

19、一靶材制造企业的研发和生产管理的决策，有利于统一靶材制造企业的靶材产品标准，在产品用户和靶材制造企业间明确了产品标准，提高了管理决策的科学性，降低了新技术新产品在工程中的应用风险。技术成熟度评价作为一个行之有效的管理工具，被国内外广泛认可，它的概念已经成熟，但相关标准的制定工作尚处于起步阶段。目前已发布或正处于研究阶段的国内外主要的相关标准有：（1）国际标准航天系统技术成熟等级及评价准则定义（ISO16290，由欧空局编制）；（2）国家标准科学技术研究项目评价通则（GB/T 22900-2009）；（3）国军标装备技术成熟度等级划分及定义（GJB 7688-2012）（4）国家军用标准航天飞行

20、器技术成熟度评价等级划分及定义（标准制定中）；（5）国家标准新材料技术成熟度等级划分及定义（标准制定中）。目前美国材料协会标准、日本电子协会标准、欧盟标准中均没有靶材技术成熟度的相关标准。该标准项目目前也没有相关的国家或行业标准。不涉及知识产权问题。4.2 标准创新点（1）通过从技术与工艺、条件保障、原材料、生产管理、安全与环保、产品验证、市场这七个方面划分靶材制造的成熟度等级，制定统一的靶材技术成熟度标准，为客户选择靶材、行业间交流合作提供了统一参考标准。（2）通过本标准的制定，为全面制定微电子领域用电子材料系列标准奠定了基础，为磁控溅射用靶材制造商对客户要求和产品理解提供了依据，对靶材制造

21、具有广泛的借鉴意义和推广价值。（3）本标准在编制过程中，有研亿金、有色金属技术经济研究院多次对国内多个具有代表性的客户、靶材制造商、原材料供应商整个供应链进行摸底和调研，收集了大量的磁控溅射靶材的参考数据，使得标准在起草过程中始终具有代表性，是对标准编制方法的创新。4.3 标准的覆盖面本标准从制定之初就对磁控溅射用靶材上下端客户和原料链进行了大量的调研，覆盖了国内外大多数的磁控溅射用靶材制造商和使用客户，对磁控溅射用靶材的技术成熟度等方面进行了全面说明。因此，本标准在磁控溅射用靶材制造领域具有较强的覆盖性。5、与现行相关法律、法规、规章及相关标准，特别是强制性标准的协调性本标准属于磁控溅射用靶

22、材专业基础产品标准，没有现行的法律、法规、规章制度等对其要求，本领域没有强制性标准。6、专利及涉及知识产权本文件起草过程中没有检索到专利和知识产权问题，如果涉及到专利和知识产权时请使用单位与专利和知识产权方协商，本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。7、分歧意见的处理经过本标准属于磁控溅射用靶材领域专业基础产品标准，编制组根据起草前确定的编制原则进行了标准起草，标准起草过程中未发生重大分析意见。8、标准作为强制性或推荐性国家（或行业）标准的建议鉴于目前国内没有统一的靶材技术成熟度等级划分及定义标准，而靶材制造业厂家所处状态不同，调整任务艰巨，建议该标准作为推荐性国家标准发布实施9、贯彻标准

23、的要求和措施建议。本标准属于磁控溅射用靶材技术的基础标准，全面覆盖了磁控溅射用靶材的成熟度等级要求，建议相关单位组织专项标准宣贯会进行系统的学习与贯彻实施。10、废止现行有关标准的建议无11、其它应予说明的事项本标准属于磁控溅射用靶材的基础标准，全面覆盖靶材技术成熟度的一般性通用要求，适用于国内大部分靶材制造企业，不一定满足极少数特殊靶材的制造企业，建议针对特殊靶材的制造应供需双方之间起草技术协议。12、推广应用的预期效果集成电路、平面显示和各种电子元器件等电子制造业是信息产业的硬件基础，其技术和产业水平和是衡量国家信息技术竞争力的重要标志之一。随着我国电子信息产业飞速发展，电子元器件、集成电

24、路制造、TFT-LCD 平面显示、磁记录以及薄膜光伏太阳能等生产线均有大量高技术企业出现；高纯溅射靶材是这些高科技行业镀膜用关键配套材料之一。溅射靶材市场规模日益扩大，已蓬勃发展成为一个专业化新材料产业，我国成为了世界上高纯溅射靶材的最大需求地区之一，这也为中国靶材制造业的发展提供了机遇和挑战。但是目前中国国内靶材制造水平参差不齐，相差很大。该标准发布与实施是为了推进靶材制造技术的成熟度划分，规范加工生产，促进先进生产工艺的提高，保证产品性能，从而全面提高我国靶材制造企业的产品质量和市场竞争力。13、修订过程记录2017 年 10 月，送审讨论稿：进行国内外相关标准资料、国内靶材制造商及典型客户需求等收集汇总，起草标准项目建议书、标准编制说明。14、参考文献ISO16290 航天系统技术成熟等级及评价准则定义GB/T 22900-2009 科学技术研究项目评价通则GJB 7688-2012 装备技术成熟度等级划分及定义靶材技术成熟度等级划分及定义编制组2017 年 11 月 06 日