温度控制系统外文翻译.doc

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1、【精品文档】如有侵权，请联系网站删除，仅供学习与交流温度控制系统外文翻译.精品文档.毕业设计(论文)外文资料翻译学 院： 机械工程学院 专 业： 机械设计制造及其自动化 姓 名： 学 号： 指导老师： 附 件： 1.外文资料翻译译文；2.外文原文。 指导教师评语： 签名： 年 月 日附件1：外文资料翻译译文光刻投影镜头多闭环温度控制系统聂宏飞 1，李晓平1，何艳2。1国家重点实验室，数字制造装备与工艺，华中科技大学,武汉430074，中国大学2天华学院，上海师范大学，上海201815，中国2008年5月27日收稿； 2009年1月8日修订； 2009年1月22日定稿；2009年2月6日电子出版

2、摘要：图像质量是光学光刻工具的最重要指标之一，尤其易受温度、振动和投影镜头（PL）污染的影响。本地温度控制的传统方法更容易引入振动和污染，因此研发多闭环温度控制系统来控制PL内部温度，并隔离振动和污染的影响。一个新的远程间接温度控制（RITC）方案，提出了利用冷却水循环完成对PL的间接温度控制。嵌入温度控制单元（TCU）的加热器和冷却器用于控制冷却水的温度，并且，TCU必须远离PL,以避免震动和污染的影响。一种包含一个内部级联控制结构（CCS）和一个外部并行串联控制结构（PCCS）的新型多闭环控制结构被用来防止大惯性，多重迟滞，和RITC系统的多重干扰。一种非线性比例积分（PI）的算法应用，进

3、一步提高收敛速度和控制过程的精度。不同的控制回路和算法的对比实验被用来验证对控制性能的影响。结果表明，精度达到0.006规格的多闭环温度控制系统收敛率快，鲁棒性强，自我适应能力好。该方法已成功地应用于光学光刻工具，制作了临近尺寸（CD）100纳米的模型，其性能令人满意。关键词：投影镜头，远程间接温度串级控制结构，并行串连控制结构，非线性比例积分（PI）的算法1 简 介由于集成电路缩小，更小的临界尺寸（CD）要求，生产过程的控制越来越严格。作为最重要的制造工艺设备，先进的光学光刻工具需要更严格的微控制环境1，如严格控制其温度、洁净度、气压、湿度等。温度波动，特别是导致图像失真和平面图像转变，成为

4、了光学光刻工具对图像质量影响的一个关键因素。投影镜头(PL)内的温度精度要求一个光刻工具在接近0.01制造一个小于100 nm的模型。另外需要PL内部温度收敛率快以降低光刻技术的所有权（CoD）的成本. 然而，实现这些目标是一个很大的挑战，因为加热器和冷却器控制温度要求操作远离PL2, 否则其性能将被它们的振动和污染所破坏。另一个原因是，PL内部结构复杂，它包含数十个镜头，会导致几个小时惯性，所以PL内部的温度反应相当缓慢，并需要很长时间去调整适应。因此，一个新的结构和控制算法是PL内部温度控制的必要和重要部分。许多温度控制结构已经被提出了。著名的经典方法之一是被广泛应用于简单或低精度温度控制

5、系统的单闭环回路控制结构【3】。当被控对象变得更加复杂或产生分布式干扰时，串级控制结构（CCS）的提出改善了精度和收敛率【4，5】。预测前馈控制结构已被证明具有更好的滞后系统性能。另一种有效的方法，并行串级控制结构（PCCS），也开发了具有延迟分布式干扰的系统。但是上述使用方法，很难实现PL内部温度控制的高精确度和快收敛率。在此，本文提出了一种新的方法，即多闭环温度控制系统，含有一个内部CCS和一个外部PCCS。本文大致分为四个部分。第一部分解释了一个远程间接温度控制方法的应用。第二部分是一个多闭环回路温度控制结构的分析。第三部分，一个双进双出非线性比例积分（PI）算法的提出用来提高控制过程的

6、收敛速度和精度。在文章的最后一部分，对比实验验证了系统的有效性这种显示，最后，给出了结论。2 远程间接温度控制方法为了防止震动和污染影响PL的性能，一个远程间接温度控制的方法被提出来控制PL内部温度。不同于传统的直接加热和冷却控制对象的方法，它借助于冷却水和冷却套间的热交换使PL内部温度恒定。冷却水通过长距离管道由TCU输送至冷却外壳。TCU由水箱、温度传感器、温度控制器、加热器、冷却器和泵组成。它用于调节冷却水的温度以达到需求值。TCU和光刻工具放置在不同的洁净室，如图1所示。理论上，这种方法属于开环结构。除了PL，其他光刻技术的部分，如晶圆阶段、标线的阶段、标线交接、晶圆移交等，都在操作时

7、产生热量。TCU中的冷却水还用于冷却光刻技术的其他部件。循环系统回收冷却水，节省最大能量，是很必要的。图1展示了包括TCU、分离器、冷却套和管道的循环系统。从储水中抽出冷却水通过管道和分离器进入冷却套，最后通过合成器、管道和冷却器流回储水箱。对冷却水循环系统的分析表明了影响PL内部温度的三个主要因素：干扰多，迟滞多，还有惯性大。干扰多，包括冷却水温度波动，PL内部热量散失，PL和外部介质之间的热交换。冷却水温度波动是多种因素造成的，其中包括TCU内部自励温度震荡造成的非线性加热冷却，管道和周围气体之间的热传递，以及光刻工具其他地方产生的热量。在这个循环系统中，冷却水温度波动达到0.1是最差的情

8、形。PL内部热量散失有两个原因，一个是当激光穿过透镜时，内部辐射和导热交换，另一个是在镜头和内部净化氮之间的导热和对流热交换。至于激光，它的散热量大概是15W。PL与外部介质之间热交换来自两个方面，一方面来自PL与其相邻零件之间的相互热交换，另一方面来自PL外部箱体和周围空气的导热和对流热交换。但是，PL和外部介质之间交换的热量由于其复杂性，故难以计算。迟滞多主要包括TCU 加热和冷却3秒迟滞，冷却水交换3分钟迟滞，还有PL和冷却套间热交换10分钟迟滞。此外，PL的复杂结构导致不平衡热交换，而由于其体积大导致惯性在和小体积物体相比时，温度波动较小。上述分析表明，仅仅通过开环结构使PL内部温度控

9、制精度高和收敛速度快是非常难以实现的。此外，在开环结构中还有很大的稳态误差。在以下部分中，我们将介绍一个提高PL内部温度控制的控制结构，并解释如何提高温度控制精度和收敛率。3 多闭环控制结构多闭环温度控制结构由一个内部CCS和一个外部PCCS组成。3.1 串连控制结构PL温度控制的内部CCS如图2所示。有两个分别带有两个控制器的反馈回路。主要回路用来控制PL内部的温度(T1)。 TCU水箱中的冷却水温度控制(Tw)形成了第二条回路. 分析这个系统的运作质量是很容易。如果PL内部温度偏离期望值(Ts), 嵌入主控制器中的控制算法会通过比较温度的测量值Tl和期望值Ts之间的偏差而计算一个新的冷却水

10、温度设定值（Tt）。然后，发送新的设定值Tt给TCU的温度控制器。随后根据温度测量值Tw和新的设定值Tt间的偏差，TCU中的控制算法计算加热器和冷却器的输入值，并对TCU中水箱里的冷却水进行加热或者降温，直到温度达到新的设定值。PL内部温度期望设定值通过一台机器连续地给出。Ti 控制回路是一个慢控制回路。Tw控制回路是一个快速控制回路，能快速跟随主回路设定值Tt。当一个新的设定值Tt发送到TCU，它需要几分钟时间去调整TCU水箱中的水温至设定值。二次回路具有很强的抗内部干扰的能力。此外，还可以减少对主回路非线性和迟滞的影响。图3显示了关于上述描述串级控制系统的控制原理图。在下面的图表和方程式，

11、Gt(s)表示加热器和冷却器传递函数,Gp(s)表示管道传递函数，Gl(s)表示PL传递函数。Gm(s) Gm(s)表示主控制回路传递函数，Gs(s)表示二次控制回路传递函数。Hm(s) 表示测量设备主回路传递函数，Hs(s)表示测量设备二次回路传递函数。表示TCU水箱中冷却水迟滞，表示通过管道的冷却水迟滞，表示PL内部热交换迟滞，Nt(s) 表示TCU外部扰动,Np(s)表示管道外扰动,Nc(s)表示PL外部扰动,Nn(s)表示PL内部扰动,Rl(s)表示PL内部输入温度，Rt(s)表示TCU水箱中冷却水的输入温度，C1(s)表示PL内的输出温度，Ct(s)表示TCU水箱中冷却水的输出温度。

12、二次回路中的输入输出函数如下所示：根据二次回路的稳态，输出Ct(s)近似等于输入Rt(s)。因此，主回路的输入输出函数可表示如下：在此早期的研究表明，PL的时间常数约为4h。传递函数G1(s）为传递函数Gp(s)为对于简单的闭环系统CCS，很容易消除它的稳态误差。然而，根据方程式(2)和（3)，PL 里温度的收敛率从开始到稳态变慢，因为和的延迟。而且，很难获得PL里面很精确的温度，因为和的扰动。在定态的状态之下，由于的作用，当瞬时温度变动超过冷却水温度0.1时，PL 里的温度变动超过 0.O 1。需要几个控制周期才达到下一个稳定状态。因此介绍PCCS来提高控制特性。3.2 并行串联控制结构 图

13、4是扩展的PCCS。这个图省略了操作系统，在系统的框中确定了主要组成环。与 CCS 相比较，也有两个控制环和两个控制器。一个是PL里温度的主环，另一个是结合处冷却水温度的副环。它们之间的不同是主控制对象和副控制对象之间是并行的。副控制对象的输出不是主控制对象的输入。在这个系统中，控制运算法则是主要的控制器根据和之间的偏差决定一个新的冷却水的最佳温度值。然后辅助的控制器中的控制运算法则依照和之间的偏差计算TCU的输入。控制环是一个慢的控制环。控制环是一个快速控制环，它过去一直快速的预测结合处的冷却水最佳温度值。当PL内的温度是想要的值时，结合处冷却水的温度就是最佳温度。这个最佳温度将会保存为一个

14、常数。从扰动抑制的观点看，根据前馈控制相同的原则来控制辅助环。他们之间的不同是扰动必须是可测量的前馈结构，而PCCS可应用于不可测量的扰动。PCCS的另一个优点是它可加速主环的收敛率。 图5显示了上面提到的并行串联控制系统的详细原理图。在下面的图表和方程式中，代表结合处冷却水的传递函数，代表副控制器的传递函数。代表辅助环测量装置的传递函数，代表结合处冷却水的输入温度，代表结合处冷却水的输出温度。 副环的输入输出的传递函数如下： 在副环的稳定状态下，输出和输入近似相等。所以主环的输入和输出的传递函数可以简化为： 比较方程（2）（3）和（7），我们可以得出扰动和延迟时间常数从主环分离，只有扰动和延

15、迟时间常数仍在主环内。所以辅助环获得了物理结构中互相延迟和互相扰动的分离，且隔离了主控制对象的非线性，互相延迟和互相扰动的影响。这种结构也控制器设计的困难。即使冷却水有温度的变动，他也能通过副控制器补偿。因此，PL内的温度控制可具有高精度和快收敛率。4 非线性比例积分算法 为了进一步提高系统的收敛率和精确度，一种具有非线性PI算法的二重输入和二重输出智能控制器被设计出来，如图六所示。PL里的温度偏差和结合处冷却水的温度偏差都是控制器的输入端。控制器的输出端是TCU里面冷却水温度值和结合处最佳冷却水温度值。 控制器里嵌有智能算法。它包括两级且根据理想的动态响应分为五个控制阶段。高级算法决定从我们

16、先前介绍的五个阶段中选择10。非线性PI算法在低级算法中使用，它将在后面的段落中介绍。 考虑到温度控制系统的相互扰动特点，PI算法代替了不同比例积分算法（PID），因为不同项目将引起高频率振动和增加系统稳定性误差。 图七显示了非线性PI算法的原理图，在接下来的图表和方程中，代表TUC内冷却水的温度值，代表结合处最佳冷却水的温度值，代表PI控制法对的影响，代表PI控制法对的影响，代表PI控制法对的影响，代表PI控制法对的影响，和代表数据融合系数。控制算法可以被描述如下：其中i=1，2，j=1，2，是基本不相关的增加的PI控制算法：其中，代表比例系数，代表积分系数，代表取样结果，和分别代表在k-1

17、和k时刻的控制输出，e（k-1）和e（k）分别代表（k-1）和k时刻的信号偏差。 数据混合系数由已有的规则得出。详细规则如下：其中代表由PL内温度的的稳态误差决定的偏差值，代表由PL内温度的暂态误差决定的扰动值，代表由结合处冷却水温度的稳态误差决定的偏差值，代表由结合处冷却水温度的暂态误差决定的扰动值。根据已有的规则和控制过程的输入信息，可以获得十六种不同的算法。根据输入数据控制器可以灵活的选择任何一种算法。这不仅能提高算法的适应性和收缩率，还能增强系统的稳定性和反干扰能力。5 实验验证控制结构与算法如图8所示，建立了一个实验平台来验证该方法的有效性，其中包括一个仿制PL，温度传感器，温度测量

18、系统，TUC，工程计算机，隔热室，光源等。仿制的PL与实际的PL具有相同的温度特性。隔热室模仿光刻表面隔离热的作用。用一个20W的白炽灯作为暴露光源。三个温度传感器具有高精度的负温度系数，的校准精度是用来检测PL内的温度，结合处冷却水的温度和热隔离室外环境的温度。温度测量系统由1590模型超温度计和一个具有分辨率的扫描器组成。TCU配置了的精确度。工程计算机上具有智能算法。 用四个实验来检测控制系统和算法：（a）是用开环结构，（b）使用具有PI算法的CCS，（c）使用具有PI算法的PCCS，（d）使用具有非线性PI算法的PCCS。在这些试验中理想的PL温度是22，非线性PI算法的参数是：是0.

19、01，是0.005，是0.02，是0.05。 实验结果如图9所示。图9（a）展示了开环结构的温度曲线。正如图9所示，PL里的温度在21.75稳定且没有达到TCU设置的22.由于开环系统中存在三个大的稳定性误差，使用闭环系统是非常必要的。图9（b）显示了使用闭环系统CCS在20小时后代到了稳定。图9（c）显示了温度收敛比图9（b）快，但PL内温度的精确度并没有得到很大的提高。图9（d）显示了具有非线性PI算法的PCCS系统的温度曲线。它只用了4.5小时达到了稳定。即使外部温度在内摆动，PL内的温度仍可以达到的稳定性。很明显新的方法大大的增加了收敛率，精确性和抗干扰能力。6 结论通过使用闭环交互系

20、统可以提高光刻PL的温度控制准确性。通过分析和实验揭示了具有PI算法的PCCS系统具有预测和滚动最优的能力。它在收敛率，控制精确性，抗干扰能力方面比开环结构和闭环CCS更好。它用于光学领域生产100nm工具。经过简单的改进，它也可以控制其他的需要远程遥控的非直接温度控制，尤其是侵入液体的侵入式光刻等复杂对象的温度控制。参 考 文 献简 介聂宏飞，生于1978年，目前是中国华中科技大学机械科学和工程学博士。他的研究包括高精度温度控制，先进的工艺控制等。李晓平，生于1966年，目前是中国华中科技大学科学与技术学院教授。他于1992年获得华中科技大学机械科学和工程学硕士。他主要研究是光学刻录工具的电

21、子控制。何艳，生于1979年，目前是中国上海大学天华学院的一名老师，她于2004年获得武汉大学机械工程硕士。它的主要研究是先进工艺控制。附件2：外文原文上文已完。下文为附加公文范文，如不需要，下载后可以编辑删除，谢谢！在全县建制村合并工作动员大会上的讲话 同志们： 今天的会议非常重要，主要任务是对我县建制村合并工作进行动员部署、鼓劲加油，确保此项改革任务紧锣密鼓铺开、雷厉风行推进，不折不扣完成。县委、县政府高度重视这项改革，已开展了一系列前期工作。去年11月，专门成立以*同志为组长的县建制村合并工作领导小组，组织调研组深入各乡镇开展了合村调研，多次听取情况汇报，明确了原则方向，并经多次会商、反

22、复细化，完善了工作方案及相关政策文件；县政府常务会议、县委常委会议对建制村合并工作方案及配套政策进行了专题研究，对全县及各乡镇的合村目标任务进行了明确。可以说，县委、县政府对这项改革的决策是慎重的、考虑是细致的、目标是明确的、方案是成熟的、态度也是极其坚定的。刚才，*同志对全县建制村合并工作进行了安排部署，*同志宣布了相关工作纪律，希望大家认真学习领会，切实抓好落实。下面，我强调三点意见。 一、必须高度统一思想，切实增强推进建制村合并工作的责任感和紧迫感 推进建制村合并改革，是贯彻落实党的十八大和十八届三中全会精神的重要举措，是创新基层社会治理体系、提高社会治理能力的客观需要，也是进一步保障和

23、改善民生、畅通联系服务群众“最后一公里”、推进城乡居民公共服务均等化的迫切要求，对于推动基层民主管理、激发农村发展活力、统筹城乡发展具有重要意义。 （一）推进建制村合并改革是必须完成的政治任务。优化行政区划设置，深化乡镇行政体制改革是党中央从推进国家治理体系和治理能力现代化的战略高度作出的重大决策部署。党的十八届三中全会决定明确提出，优化行政区划设置，促进城镇化和新农村建设协调推进。根据我省实际，省委、省政府将推进合乡并村、优化和调整乡镇区划作为改善农村公共服务、促进农村经济发展、推进新型城镇化建设，加快全面小康建设的重大改革举措来抓，进行了全面动员部署，下达了明确工作任务；市委、市政府常委会

24、迅速跟进落实，出台了实施意见和工作方案，对各县、市、区下达了乡镇行政区划调整和建制村合并任务。因此，进行建制村合并改革是贯彻落实中央、省市决策部署的重大政治任务，没有任何借口可找，没有任何条件可提。今天参加会议的同志，都是这场改革的组织者、实施者，决不能成为旁观者，甚至阻碍者。我们一定要站在讲政治、讲全局、讲长远的高度，认认真真落实，扎扎实实推进，不折不扣完成。 （二）推进建制村合并改革是城乡统筹的奠基工程。合理的行政区划也是一种生产力。我县现有建制村1143个，其中1500人以下的有890个、1000人以下的有521个、500人以下的有74个，数量多、规模小，管理效率较低，行政成本过高，公共

25、服务滞后，自身发展受限。通过合理调整建制村数量，适度扩大建制村规模，促进布局由“量多面散”向“优化集中”转变，有利于各乡镇在较大区域范围内合理配置各种要素资源，加快打造中心村和特色村，促进集聚集约发展，有利于降低行政成本，推进我县新型城镇化和城乡一体化进程，促进城乡统筹协调发展。对此，我们一定要清醒地看到，建制村合并改革不是简单的村与村之间的撤与并、分与合，而是农村经济结构的一次重大调整，是推动我县农村经济发展，加快全面小康建设的重大战略之举。 （三）推进建制村合并改革是优化基层治理的重要途径。合理的建制村规模能够使布局更加合理、发展更加科学、运行更加高效、服务更加优质，更有利于统筹推进基础设

26、施和社会事业建设，优化农村公共服务，满足群众的公共需求。大家要清醒地认识到，减少建制村的数量，减掉的是多余负重、换来的是轻装上阵，减掉的是瓶颈制约、拓展的是发展空间，减掉的是制度藩篱、提高的是治理能力，必将极大地推动基层治理创新和脱贫攻坚进程，带动农村经济发展，让全县农民在全面小康社会建设中不落伍、不掉队。总之，我们要切实把思想统一到中央和省委、市委的目标要求上来，统一到县委、县政府的安排部署上来，努力实现建制村合并改革和经济社会发展的良性互动。 二、必须紧扣目标任务，切实抓好建制村合并各项工作的落实 为高效推进这次并村改革，县委、县政府按照优化结构、合理布局、规模适度、有利发展的原则，从历史

27、沿革、风俗习惯、自然条件、区域发展等因素出发，制定了xx县建制村合并工作方案，对建制村合并数量、时间进度、工作步骤、工作要求等作了具体规定，按乡镇人口、面积、现有建制村数量的加权平均法，对各乡镇科学分配了建制村合并任务。全县上下务必按照县委、县政府的部署要求，按时间节点和工作步骤抓好落实。 （一）决心要坚定不移，调整合并任务必须不折不扣完成。从数量上来讲，这次我县建制村调整合并的力度比较大，全县需撤并不少于463个建制村，完成后全县建制村总数控制在680个以下，减幅为40.51%，平均每个村预期人口规模控制在1500-2500人。从时限上来讲，县委、县政府决定建制村合并工作时间比省市要求稍微提

28、前，在2016年6月20日以前完成，到2017年上半年选举产生新一届村委会。调整合并的数量和时限，这是两个硬指标，必须不折不扣落实到位，谁也不能讲价钱、打折扣，什么叫改革攻坚、什么叫“割肉”、什么叫涉险滩、啃硬骨头，这次建制村合并改革就是。这么大的调整，不可能没有困难、没有阻力，尤其是调整任务重的乡镇。但千难万难，改革攻坚就应该一往无前，否则就会一步迟疑、步步被动。大家一定要以坚定不移的决心、破釜沉舟的勇气、雷厉风行的作风,全面完成建制村合并改革任务。 （二）步骤要环环紧扣，重点工作必须积极稳妥落实。这次建制村合并改革，涉及的内容很多，大家一定要按照工作方案的部署，把握好时间节点、突出重点、统

29、筹安排，确保整个工作环环紧扣、有序推进、圆满完成。一是要抓紧制定好实施方案。各乡镇要根据自身承担的工作任务，按照因地制宜、有利发展、方便群众等原则，尽快拿出操作性强的实施方案，用以指导本乡镇工作有力有序开展。各乡镇要在按时限要求尽早将方案报到县里，尽量把工作做在前。二是要扎实做好资产清理和债务处理。对建制村的资金、资产、资源清理和债权债务处理工作，相关部门要提前介入、全程跟踪，妥善处置好村级集体资产债权债务，全部登记造册，明晰关系，严禁集体资产流失和闲置浪费。三是要认真做好公共服务设施的撤并与建设。坚持方便群众生产生活原则，合理规划布局好学校、卫生室等公共服务设施，该保留的保留、该整合的整合、

30、该建设的建设，通过区划调整促进提升农村公共服务水平。四是要全面落实好财政奖补政策。县里专门研究制定了财政奖补政策，对超额完成任务的乡镇和在并村考核中获得前三名的乡镇给予重奖。县委、县政府的态度十分明确，总的原则就是不让改革者流汗又流血、要让先行者得名又得利。 （三）引导要入脑入心，社会大局必须保持和谐稳定。建制村合并改革涉及人员多，政策性强，直接关系一些干部群众的切身利益，有的群众对过去的村有感情，撤并了可能办事不方便，有可能出现不稳定因素；有的村干部可能还面临去留转退，难免会引起思想波动。在并村改革期间，能不能保持社会大局和谐稳定，是对各乡镇、各部门尤其是各乡镇党委、政府的严峻考验。要加大宣

31、传引导，通过多种有效形式，把并村的意义讲深讲透，把情况和政策讲清讲明，把利害关系讲细讲全，把纪律要求讲严讲实，以此来教育引导村干部、村民把思想统一到县委、县政府的决策部署上来，自觉服从大局、服从组织决定，不以任何借口影响和干扰改革；要组织干部进村入户、一对一、面对面宣传，帮助群众打消思想顾虑。各乡镇党政主要领导要切实履行维护稳定“第一责任”，对改革期间出现的苗头性、倾向性问题，要提前介入、及时处理，绝不允许因工作不到位而引发群众上访和不稳定问题。严禁镇村干部参与和散布不利于并村改革的言论，凡违反组织原则的，坚决给予组织处理。总之，要采取扎实有效的措施，努力营造稳定和谐的改革氛围，确保改革的平稳

32、推进和社会大局稳定。 三、必须强化责任担当，切实确保建制村合并工作积极有序推进 这次建制村合并任务重、时间紧、难度大。能否按期完成改革任务，关键在领导干部，关键看责任担当。各级各部门特别是领导干部一定要强化责任意识，把这次改革作为一次检验领导干部党性作风的“试金石”，作为一次检验领导干部改革发展能力水平的竞技台，以“逢山开路、遇水搭桥”的决心和勇气确保按期顺利完成并村改革任务。 （一）强化组织领导，落实工作责任。各级各单位要把建制村合并工作作为当前的一项重要工作来抓，党政一把手要亲自抓、负总责，分管领导要具体抓、抓具体。县里已经成立了建制村合并工作领导小组，由县委副书记海强同志任组长。各乡镇作

33、为改革实施落实主体，要迅速成立领导小组及其办公室，按照“确保稳定、顺利交接、平稳过渡、促进发展”的要求，全力抓好并村的组织实施，切实履行组织领导、统筹协调、方案把关、舆论引导、防控风险、把握动态等职责，认真做好各项具体工作，主动承担改革落实主体责任。村支两委要发挥战斗堡垒作用，当好并村改革的主力军。刚才海强同志已经讲了，在此我要再一次强调，并村工作将作为乡镇主要负责人交流、提拔的重要依据，对并村工作未按规定时间验收合格或发生群体性上访事件的，乡镇主职领导不纳入今年的换届考察人选。 （二）加强协调联动，形成改革合力。县并村领导小组要建立健全协调联动机制，做好统筹协调工作，构建部门配合、上下联动的

34、工作格局。各相关部门要一切服从大局、一切服务大局，打破原有的思维定势、原有的工作思路、原有的方式方法，特别是与建制村合并紧密相关的改革办、民政、组织、财政、经管等部门，一定要加强协同配合，破除改革中的“中梗阻”“肠梗阻”，打通最后一公里、最后一步路，真正形成改革合力。 （三）严明改革纪律，严肃违纪查处。建制村合并改革是一项十分严肃的政治任务，必须以党纪政纪做保证，县里为此制订了各项纪律：一是政治纪律，严禁干扰建制村合并工作，对各类扰乱改革工作的谣言和行为要严肃查处，依法依纪追究责任；二是组织纪律，严禁擅离职守、失职渎职；三是财经纪律，加强资金管理，严防国有集体资产流失，严禁借机突击花钱、转移财

35、物，严查侵占、挥霍国家和集体资产等违法违规行为；四是廉政纪律，遵守廉政准则，严禁以权谋私。广大党员干部一定要讲政治、讲规矩、讲纪律，不不利于改革的话不要讲，不利于改革的事不要做。对违反纪律，阻碍改革的，要坚决查处、严肃追责。 （四）加强业务指导，强化督查考核。县并村领导小组要对建制村合并工作的全过程加强业务指导，要成立由各乡镇挂点的县级领导任组长的并村工作指导组，包干指导挂点乡镇开展并村工作。县委、县政府将把建制村合并工作纳入今年绩效考核内容，县委改革办和县委、县政府督查室要加强对并村工作的督查力度，重点督查方案是否按要求制定出台、社会风险防控是否到位、工作任务是否按要求完成，对不作为、缓作为

36、等行为依法依规依纪进行问责，切实保障各项工作按期按质推进到位。 同志们，建制村合并工作是一项事关发展全局的基础性重大改革。全县上下一定要以高度的政治自觉和行动自觉，服从大局、坚定信心、周密部署、真抓实干，高质量、高效率地完成这项改革，为创新乡村治理体制、激发乡村发展活力、加快我县全面建成小康社会奠定更为坚实的基础。同志们：这次全县基层党委换届工作会议，是县委召开的一次十分重要的会议。会前，县委常委会认真学习了省、市委有关换届工作的文件和会议精神，研究讨论了我县换届工作的有关事项。省、市委对我县换届工作高度重视，省委巡回督查组和市委督查组专程参加今天的会议。下面，围绕贯彻落实省、市换届工作会议和

37、有关文件精神，就做好我县基层党委换届工作，我讲三点意见。一、提高认识，切实增强做好换届工作的政治责任感根据党章规定，按照省、市委的部署和要求，今年我县11个乡镇、22个县直党委将进行集中换届，这是全县政治生活中的一件大事。这次基层党委换届，正处于“十三五”规划的开局起步期、全面建成小康社会的攻坚决胜期、落实全面从严治党要求的重大转折期、领导班子建设的新老交替期，搞好这次换届工作意义非同寻常。第一，搞好换届是实现全面建成小康社会、推进县域经济发展的重要保证。县委十三届十一次全会明确提出，“十三五”时期，全力打造“工业强县、旅游大县、文化名县、农业特产县、生态宜居县”，努力建设实力雄厚、环境优美、

38、人民幸福的新XX，确保如期实现全面建成小康社会的奋斗目标。兑现向全县人民作出的庄严承诺，关键靠干部、核心在班子。通过换届，把那些政治上靠得住、工作上有本事，作风上过得硬、群众信得过的优秀干部选拔到基层党委领导班子，能够引领和带动广大党员干部群众始终围绕XX县“十三五”经济社会发展目标，进一步凝聚正能量、释放精气神、全力促振兴，共同夺取全面建成小康社会的新胜利。第二，搞好换届是落实全面从严治党要求的重要实践。党的十八大以来，我县通过扎实开展党的群众路线教育实践活动、“三严三实”专题教育，党风政风和干部作风进一步转变。这次换届，既是对我县全面从严治党成果的集中检验，又是深入落实从严管党治党要求的重

39、要契机。习近平总书记强调：“要严明换届纪律、坚决整治不正之风，特别重要的是抓主体责任落实、抓问责，对一些人冲底线的风险不要低估，坚持零容忍，绝不姑息迁就。”在整个换届过程中，我们要坚决贯彻落实习近平总书记的重要讲话要求，始终绷紧政治纪律、政治规矩和组织纪律这根弦，落实好党委的主体责任和各方面的具体责任，进一步把全面从严治党各项要求落到实处，真正使换届的过程成为巩固拓展从严治党成果的过程。第三，搞好换届是加强基层党委领导班子建设的重要契机。乡镇、县直党委领导班子，是把全面建成小康社会各项任务落实到基层的直接组织者、推动者。近年来，县委坚持正确的用人导向，严格干部教育管理，全力打造“四型”干部队伍

40、。但也必须清醒地看到，少数党员干部还不适应发展新常态，责任意识不强，工作状态不佳，存在不作为、不担当现象。集中换届，是加强领导班子和干部队伍建设的重要契机。通过换届，一个班子一个班子、一个干部一个干部地分析研判，可以说是一次集中会诊、集中建设。把换届工作做扎实了，基层党委班子就会有一个格局性、整体性的改善提升，收到平时调整难以收到的功效。总之，我们必须要把这次换届提升到前所未有的高度去认识，迅速把思想和行动统一到省、市、县委的部署要求上来，共同把这件关系全县发展振兴全局的大事抓实抓好。二、把握关键，高标准高质量地做好换届工作换届工作政治性、政策性、法律性、程序性都很强，做好这次换届工作，总的遵

41、循，就是坚持以习近平总书记系列重要讲话为根本指针，认真贯彻中央和省、市、县委关于做好换届工作的要求；目标任务，就是实现“四个好”，即推动基层党委绘出思路清措施实的好蓝图、选出忠诚干净担当的好干部、配出结构优功能强的好班子、换出心齐气顺劲足的好面貌；基本要求，就是把加强党的领导贯穿换届全过程，落实全面从严治党要求，发挥党委总揽全局、协调各方的作用，严格依法按章办事，严肃政治纪律和组织纪律，营造风清气正的换届环境，确保换届工作健康有序、圆满完成。第一，要形成一个好的工作报告。起草好党代会工作报告，是换届工作的一件大事。在起草报告过程中，要注重把握以下四个原则。一是要注重聚焦发展大局。谋划未来五年发

42、展的思路目标和重大举措，必须着眼经济新常态的特点和规律，切实把本单位、本地区发展放在全县、全市乃至全省发展的大格局中来思考和谋划。二是要注重树立新的发展理念。必须把“五大发展”理念和“四个着力”要求，作为谋划未来五年经济社会发展的根本遵循，着力保障和改善民生，让发展成果更好惠及人民群众。三是要注重坚持问题导向。必须在解决瓶颈问题上做实功，对于“七个不平衡”、 经济结构不优、创新创业不足、居民收入偏低、精准脱贫难度大等方面的问题，要在未来五年全力解决，切实增强发展的协调性。四是要注重调查研究与集思广益相结合。各基层党委要深入调查研究，广泛征求意见，党委书记要亲自主持起草报告，党委一班人要认真讨论

43、，严格审核把关，会议修改完善，使起草和审议报告的过程，成为贯彻中央和省、市、县委精神、研究当地实际、明确发展思路的过程，成为解放思想、形成共识、凝聚力量的过程。第二，要始终坚持正确用人导向。选好干部是换届成功与否的关键。在换届中，必须把正确的用人导向更加鲜明的树立起来，坚持德才兼备、以德为先，认真贯彻好干部标准，落实“忠诚干净担当”和“三严三实”要求，大力选拔政治强、懂专业、善治理、敢担当、作风正的干部。一是要把好“四关”。要牢牢把好政治关、作风关、能力关和廉政关，把对党绝对忠诚，律己严、干事实、做人实的干部选上来。坚决不用“四种人”，即坚决不用与党离心离德的“两面人”，坚决不用漠视纪律、不守

44、规矩、虚言虚行的人，坚决不用不愿干、不敢干、不会干的人，坚决不用权欲膨胀、利欲熏心的人。二是要改进干部考察工作。在换届考察中，要坚持采取先个别谈话推荐、后会议推荐的方式进行，防止简单以票取人。要多渠道、多层次、多侧面地把干部考准考实，特别是对考察对象的干部档案“凡提必审”，对个人有关事项报告“凡提必核”，纪检监察机关意见“凡提必听”，线索具体的信访举报“凡提必查”，坚决防止“带病提拔”“带病上岗”。三是要推进干部能上能下上。要以集中换届为契机，认真贯彻落实中央关于推进领导干部能上能下若干规定，加大调整不适宜担任现职干部力度。结合换届考察，对不作为、不胜任、不适应、不在状态的干部坚决进行调整，形

45、成能者上、平者让、庸者下的良性机制，营造敢于负责担当、争相干事创业的浓厚氛围。第三，要强化党委班子整体功能。换届配备的领导班子一干就是五年，能力强不强关系重大。一是要选好配强党委书记。班子强不强，关键在班长。这次换届，要突出选好配强党委书记这个重点，按照政治素质过硬、能够驾驭全局、善于抓班子带队伍的要求，好中选优、优中选强，把那些公道正派、胸襟开阔、严以律己、经过多岗位锻炼、领导经验比较丰富的优秀干部选拔到党委书记岗位上来。二是要坚持老中青相结合的梯次配备。统筹把握不同年龄层次干部配备比例，不简单以年龄划线，不搞领导成员任职年龄层层递减和“一刀切”，对那些经验丰富、事业心强、工作得力、年龄较大

46、的干部，要注意发挥好他们的作用，努力实现班子成员知识结构相长，经历经验互补、性格气质相容，达到班子团结和谐、共同干事创业的目标。三是要做好年轻干部、女干部、少数民族干部配备工作。换届是培养选拔年轻干部、女干部、少数民族干部的重要时机。要选配好优秀年轻干部，打破在一些特定群体中选人、在少数人中选人积弊，加大跨地区、跨部门、跨行业交流力度。要在更大范围内统筹考虑女干部、少数民族干部配备，充分考虑人选成熟度和岗位匹配度，在保证质量的前提下做到应配尽配。四是要提高领导班子专业化水平。着眼于优化领导班子知识结构和专业结构，要按照不同单位、不同地区的功能定位、资源禀赋、产业结构、发展重点，实事求是、按需配

47、备。要坚持以事择人、人岗相适、用其所长，防止一个班子中同一类型干部过于集中。第四，要认真做好党代表推选和大会选举工作。党代表的产生是搞好换届的基础工作，组织好大会选举是搞好换届的关键环节。各级党委一定要高度重视，把这项基础工作做扎实、做到位。一是要严格组织把关。在推荐、提名、考察等环节，必须严把“五道关”，确保党代表质量。要严把政治标准关，党代表人选要体现先进性和纯洁性，理想信念坚定，对党绝对忠诚，模范遵守党章党规党纪。要严把素质能力关，注意推荐有议事能力和联系党员群众能力、道德品行和社会形象较好、能够充分发挥先锋模范作用的优秀党员作为党代表。要严把推荐提名关，坚持人选的标准和条件，广泛听取广

48、大党员群众、基层组织和纪检、审计、综治、信访等方面意见，在充分酝酿基础上，由党委集体研究决定，并尽量减少党代表与人大代表、政协委员的交叉。对于省委明确的9种情形，一律不得推荐提名或继续提名为代表人选。要严把身份认定关，代表身份应以参加选举时所从事的职业为准，具有多重身份的，按代表性和工作性质主次认定，避免出现身份失真失实，或变换身份规避审查，防止挤占工人、农民、专业技术人员名额。要严把组织考察关，同级党委对党代表必须进行严格考察，并在一定范围内公示。二是要优化代表结构。适当提高基层一线代表特别是工人、农民代表比例，保证妇女代表、少数民族代表比例，注意从优秀基层党组织书记和党务工作者中产生人选，进一步